ZIP архив

Текст

313824 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республикением заявкис присоеди Приоритет Опубликов Дата опуб Комитет по делам изобретеиий и открыт при Совете Мииистро СССРно 07.1 Х.1971. Бюллетень27икования описания 18.Х 1.1971 ДК 621.783.244 (088.8 Авторыизобретения В, В, Анохин, В, И. Иванов, Н, М. Мытарев и Г, А. Фомин аявитель ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОЙРАБОТКИ МЕТОДИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОПЕ ТЕРМИЧЕСКОЙграфита с различнылюминия и т. д. а предлагаемая печь, фиг. 2 - то же, погысокочистого кварца, ми покрытиями, окисиНа фиг. 1 представлепродольный разрез; на 5 перечный разрез. Изобретение относится к методическим печам для прецизионной обработки преимущественно полупроводниковых материалов при производстве интегральных схем и может быть использовано в процессах диффузии, окисления и других, требующих высокой точности поддержания температуры, чистоты процесса и определенной скорости перемещения изделий в рабочем пространстве.Известна методическая печь для прецизионной термической обработки, содержащая термическую камеру с реакционной трубой и у стройство для перемещения изделий через рабочее пространство печи, выполненное в виде конвейера. Однако с точки зрения термической обра. ботки полупроводников в этой печи из-за наличия трущихся механизмов возникает недопустимая для обработки полупроводников запыленность.Цель изобретения - обеспечение возможности проведения прецизионной обработки полупроводниковых материалов при высоких температурах и в агрессивных средах.Для этого устройство для перемещения изделий выполнено в виде подвижной трубы, имеющей продольный паз. Труба может быгь изготовлена из стойкого к высоким температурным и агрессивным средам материала, из Пе:ь имеет основание 1 и термическую камеру 2 с реакционной трубой (муфелем) 3, Внутри реакционной трубы 3 проходит по движная труба 4, жестко связанная черезстойки 5 с устройством перемещения б, которос условно представлено в виде эксцентричных валов. Шлюзы 7 соединены с концами реакционной трубы и обеспечивают герметич ность рабочего пространства печи, подачу кассеты 8 с размещенными в ней изделиями 9 в реакционную трубу 3 и на опорные кромки паза подвижной трубы 4. Ввод стоек 5 в шлюзы 7 осуществлен через сильфоны.20 Устройство б через опорные стойки передает подвижной трубе 4 движение в вертикальной продольной плоскости по замкнутому циклу заданной формы (окружность, прямоугольник и т. д,). При этом оси труб 3 и / 25 остаются параллельными. Совершая движсгн е, труба 4 поднимает кассету 8 за выступы кромками своего паза от пода реакционной трубы 3, перемещает ее на определенное расстояние вдоль оси печи, затем опускает 30 на под печи, освобождается от нагрузки и313874 Предмет из обре гения Составители О. Михайлова Редактор Т. Фадеева Техрсд Т, П. (урилко Корректор Д. А. ЦарьковТираж 473 Подписноекрытий при Совете Министров СССР и нао., д. 4/5 М 1,"яО изоорстсний и о )К, Раушск Заказ 3275/12 Изд. 11 НИИП 1 Кс мптста по делам МоскваТипографии, пр Сапуновавозвращается в исходное положение, Повторение циклов приводит к перемещению кассет 8 по всей длине печи, При индивидуальном перемещении пластин вместо кассеты на под печи в паз трубы 4 укладывают неподвижи уО пр Одол ьнуО тр у о у,Учитывая, что труба 4 совершает перемещение по замкнутому циклу на несколько миллиметров в данном случае транспортирующее устройство не вносит извне примесей и дополнительных тепловы.; возмущений в рабочее пространство печи, не искажаст ес температурного поля.,Методсская электропечь для прецизионной терми.вской обрабогки, со-ержащая терГгптгССКУго КалСРК С РеаКЦИОННОЙ ТРУООй, УСТ.Ойстзо для перемещения изделий через раоо-сс пространство печи, отгииагоигаяся тем, и;о, с цельо обеспения возможности проведения прецизионной обработки полупроводни ковых материалов при высоких температурахи г агрессивных срсдах, устройство для перемещения изделий выполнено в виде трубы с :гОдо г.ныг пазом для обеспечения шагового срсмещеппя издечий,

Смотреть

Заявка

1355267

МПК / Метки

МПК: F27B 5/04, F27B 5/12, F27B 5/13, F27B 9/14

Метки: 313874

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-313874-313874.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">313874</a>

Похожие патенты