289665

О П И С А Н И Е 289665ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик,ЧПК В 011 17/08 Комитет по делам изобретений и открытиСовете Министре СССР тДК 669 054-172 002вторызобретения Рыбин и А. Н. Киргинцев титут неорганической химии Сибирского отделения А аявител СТРОЙСТВ НОКРИСТАЛ Я ВЪРА 1 ЦИ ВАНИ Предлагаемое устройство может использоваться для выращивания 1 из расплава моно- кристаллов полупроводников.Известное устройство для выращивания монокристаллов из расплава включает трубчатый контейнер, установленный под углом 0 - 5 к горизонту, в полость которого помещена затравка. Контейнер снабжен приводом вращения вокруг продольной оси.Отличием предлагаемого устройства является то, что контейнер снабжен с торцов шлпфами, имеющими пустотелые керны с выступами,по продольной оси, герметично закрытые в полости контейнера, причем в,полости кернов введены неподвижно установленные по оси контейнера трубками, соединенные с источником охлаждающей среды, а затравка укреплена на выступе керна.Выполнение устройства создает условия лл 1 кристаллизации материала, подвергаемого зонной плавке, вне контакта со стенками контейнера, в связи с чем улучшается качество выращиваемых монокристаллов.На чертеже изображено предлагаемое устройство.Оно включает трубчатый контейнер 1, соединенный с приводом 2 вращения его вокруг продольной оси и установленный под углом О - 5 к горизонту. Коаксиально контейнеру установлен зонный нагреватель 3, который может перемешаться вдоль контейнера. С обоих торцов контейнер снабжен шлнфами 4, имеющими пустотелые керны 5 с выступами 6 и 7, герметично закрытые в полости контей нера. Через выступы 7 в полости кернов 1 пооси контейнера введены неподвижно установленные трубки 8, соединенные с источником охлаждающей среды, Для создания в полости контейнера вакуума он снабжен отростком 9 10 с вакуумным краном 10, расположенным возле одного из шлифов.Выращивают монокристаллы следующимобразом.На выступе керна олного из шлнфов 15 укрепляют затравку 11, имеющую диаметр,близкий к диаметр контейнера. Исходную загрузку в виле стержня помешают в полость контейнера, На выступе керна другого шлпфа укрепляют стаканообразный приемник 12 заг-о рязненного материала. Контейнер эвакуируют,по трубкам 8 полают воду в полости кернов шлифов и сообщают контейнеру вращательное движение. С помощью нагревателя 3 созлают зону в контакте с затравкой после чего -"5 нагреватель приводят в лвнжение вдоль контейнера.По окончании прокола зоны контейнер наклоняют в сторону, приемника 12 и сливают в него часть расплава. Проходы мажино асу- ЗО ществлять многократно ло достижения нуж289665 Предмет изобретения Составите ть Т. ФирсоваРедактор Т, Баранова Техред 3, Н, Тараненко Корректор О. С, Зайцева Изд. М 164. Заказ 51/278 Тираж 473 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытии при Совете Министров СССРМосква, Л(-35, Раушская наб., д. 4/5 Тип. Харьк. фил. пред. Патент ной степени очистки. Для легирования выращенного кристалла приемник загрязненного материала удаляют, и на его место устанавливают второй затравкодержатель с затравкой, которую вплотную, подводят к монокристаллу. Между монокристаллом и затравкой помещают лигатуру или роль лигатуры выполняет затравка. Контейнер снова эвакуируют, и осуществляют проход в обратном направлвнии, в результате чего легирующая примесь распределяется,по монокристаллу. Контейнер выполняется из материала, не смачиваемого расплавом, или покрывается изнутри слоем такого материала. На описываемом устройстве были получены монокристаллы германия длинной 200 - 250 мьм и диаметром 10 - ЗО мм,Устройство для выращивания монокристаллов из расплава .на затравке, включаю шее трубчатый контейнер, установленный подуглом 0 - 5 к горизонту, и привод вращения контейнера вокруг продольной оси, отличак) щьеся тем, что, с целью создания условий для исключения контакта кристаллизуюшегося 10 материала со стенками контейнера, контейнерснабжен с торцов шлифами, имеющими пустотелые керны с выступами по продольной оси, герметично закрытые в полости контейнера, причем в полости кернов введены неподвижно 1 о установленные по оси,контейнера трубки, соединенные с источником охлаждающей среды, и затравка укреплена на высту 1 пе кепна.