Газоразрядная лампа

0 П И С А Н И Е 2834 О 5ИЗОВРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскизСоциалистическими Республик ельствависимое от авт. св Ло 1348653 Заявлено 21,711,1969 Кл. 211, 82/ присоединением заявкиКомитет по деламзобретений и открытийпри Совете Министров МП 1 Н 01 61/90УД 1 621.327,5,032,769:771 448,6 (088,8) Приоритет бликовапо 06.Х,1970, Бюллетень31 та опубликования исания 16.Х 11.1970 1 тД;Гс С с-,",с,су. Ц, Савруше ител ЗОРАЗРЯДНАЯ ЛАМ такой конструкции она, имея увеличенромежутка, питается чника ( 4 кв), что Изобретение относится к газоразрядным приборам, в частности к газоразрядным лампам, предназначенным для получения многократных световых вспышек и используемым главным образом для осуществления фотохимических реакций в фотолитографии, либо для создания локальных температурных полей в технологии производства тонкопленочных схем и интегральных микроузлов.Для этих целей обычно используются ртутные шаровые лампы с короткой дугой, хотя лампы и имеют сравнительно высокую яркость и повышенную, долю ультрафиолета в излучении.Однако в применении к процессам фотолитографии им присущ ряд недостатков. В частности, поскольку они эксплуатируются только в режиме постоянного горения, то требуют применения автоматических затворов для установки экспозиции облучаемого объекта.Известны также ксеноновые газоразрядные лампы с дугой, стабилизированной стенками колбы, выполненные в виде трубки, свернутой в цилиндрическую пространственную спираль, витки которой соприкасаются между собой.Преимущество лампызаключается в том, чтоную длину разрядного пот высоковольтного исто позволяет значительно повысить подводимуюк разряду энергию.Однако лампа имеет существенные недостатки, которые заключаются в том, что тело5 свечения ее имеет форму полого цилиндра,что затрудняет получение направленного пучка света без применения специальных отражателей, понижающих к.п.д. использованияизлучения, а также усложняющих светоопти 10 ческое устройство, и что лампа имеет большую собственную индуктивность.Этп недостатки пе позволяют эффективноиспользовать указанную лампу для фотоэкс 15 поппрования фоторезистивных слоев.Целью изобретения является создание импульсного источника света с плоской излучающей поверхносгью, удобного для монтажа впгроболическом отражателе и получения на 20 правленного светового потока. Этот приборотличается низкой собственной индуктпвностью, высоким напряжением самопробоя,ргвн радиальным распределениемплотности излучения по большой площади и25 повышенным сроком службы,Эта цель достигается тем, что газоразрядпая лампа выполнена в виде изогнутой в архимедову спираль разрядной трубки, виткикоторой примыкают один к другому и распозО ложены в одной плоскости. Электродные узлы283405 15 Предмет изобретения Составитель Л. О, Сольцльдман Техред Т. П. Курилко Корректор Т. А. Абрамов едактор В, В 3 аказ 3588/7 Тираж 480 ПодписноЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 45 Типография, пр. Сапунова, 2 смонтированы в начале и в конце указашю спирали перпендикулярно ее плоскости,Это позволяет вместе с тем значительно уменьшить собственную индуктивность лампы по сравнению с индуктивностью лампы, выполненной в виде пространственной спирали с той же длинои разрядного промежутка. Этим обеспечивается существенное снижение длительности вспышки прн эксплуатации в одном и том же разрядном контуре и соответственно повышение выхода ультрафиолетового излучения.На фиг. 1 представлена предлагаемая газо- разрядная лампа, вид спереди (часть колбы вскрыта и показан центральный электродный узел); на фиг. 2 - разрез по А - А на фиг. 1.Лампа представляет собой свернутую в плоскую архимедову спираль трубчатую разрядную колбу 1, выполненную из плавленного кварцевого стекла или пз другого оптически прозрачного материала с внутренним диаметром трубки 6,5,я,я, наполненной ксепоном до давления 200 л.п рт. ст, В начале и в конце указанной спирали, перпендикулярно ее плоскости смонтированы ножки 2, в которых размещены центральный 3 и концевой 4 электродпые узлы соответственно, каждый из которых содержит герметичный токоввод в виде полого коварового держателя б, вакуум- плотно соединенного с ножкой колбы, и электрод б из тарированного вольфрама,Витки архимедовой спирали, образующей разрядную колбу, расположены в одной плоскости и примыкают один к другому, обеспечивая в процессе работы лампы образование единой излучающей поверхности с равномерным радиальным распределением плотности излучения за счет свечения стабилизирующих плазму стенок 7 кварцевой трубки. Газоразрядная лампа, выполненная в видеизогнутой в спираль газоразрядной трубки, витки которой примыкают один к другому и в 20 концы который введены электродные узлы,отличаошался тем, что, с целью получения плоской излучающей поверхности большой площади с равномерным радиальным распределением плотности излучения, указанная 25 трубка изогнута в архимедову спираль, витки которой расположены в одной плоскости.