Пленочный датчик измерителя мощности свч

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ=""-" "охничеотеор. и, тефд 1 ф 5 фбр(", т 272610 Сова Соеетских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваКл. 421, 8/02 Заявлено 02.Х 1.1968 ( 1286974/18-10)с присоединением заявкиМПК б 011 с 7/О иорит Ком ите обретен по делам и открыт ДК 536,532(088.8) публиковацо ОЗХ 1.1970 юллетень1ния 2,1 Х,1970 при Совете Министров СССРДат уоликования оп Авторизобретения Е, А. Баймурато Заявитель ЕНОЧНЫЙ ДАТ ИЗМЕРИТЕЛЯ МОЩНОСТИ СВЧ Изобретение относится к области радиотехнических измерений.Известные датчики измерителей мощности СВЧ выполнены в виде двухцленочного элемента, одна из пленок которого (металлическая), поглощающая энергию, служит подогревателем, а другая, отделенная от нее слоем диэлектрика. представляет собой пленочную термопару. Такая конструкция имеет следующие достоинства: возможность калибровки на 10 постоянном токе методом подачи калиброванной мощности на подогреватель, простота согласования с СВЧ-трактом.К числу недостатков конструкции термопары относятся: низкая чувствительность (порядка 0,1 ив/ивт), определяемая значительной величиной постоянной рассеяния подложки; трудность согласования значительного сопротивления термопары с входным сопротивлением усилителя постоянного тока; инер ционность термопары (порядка единиц секунд).Возможно некоторое повышение чувствительности, например, за счет уменьшения толщины подложки, что приводит к частичному 25 уменьшению постоянной рассеяния, а также за счет включения батареи термопар, Однако эти меры приводят либо к меньшей механической прочности датчика, либо к значительному усложнению технологического процесса ЗО изготовления термопары. Возможно также нанесение воспршшмающего мощность элемента в виде узкой полоски, приводящее к когц 1 ентраццц мощности, а следовательно. ц к увеличению температуры под действием поглощающей могццостц, Однако существенного увеличения чувствительности прц этом получить це удается цз-за значительной теплоотдачц в подложкм.Предлагаемый пленочный датчцк измерителя мощности СВЧ отличается от известных тем, что, с целью повышения чувствительности и быстродействия. ветви термопары нанесены с перекрытием на отрезке стекловолокна малого диаметра. укрепленном между теплоотводящцмц контактами.На чертеже изображена конструкция предлагаемого датчика.Оц содержит отрезок стекловолокна 1 малого диаметра (3 - 40 лк), на который последовательно нанесены плецки двух разнородных металлов, например вцсмута ц сурьмы, образующие положительную и отрицательную ветви термопары 2, 3, цмеющце небольшое перекрытие в месте максимального разогрева термопары под действием поглощаемой мощности, Частичное падение температуры па месте горячего спая цз-за уменьшения погонного сопротивления незначительно сказывается на чувствительности термопары вследствие выравнивания температуры в месте горячего спая благодаря небольшой длине горячего272610 Составитель В. С. АгаповаВ. Корнеев Техред А. А. Камышникова Корректор С. М. Сигал Рсдакто Заказ 2.1 ИИИП 15 Тираж 480 Подписное Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мгшистров СССР Москва, )К.З 5, Раушская иаб., д. 4/5 Типография, пр апунова,сная и влиянию теплопередачп вдоль метал- лизированного волокна, Для обеспечения включения В схему термопяра снабжена контактными слоями 4, получаемыми вакуумным распылением серебра или золота. Для исключеппя агрессивного воздеиствия окружающей среды па термопару (на слои висмута и сурьмы) нанесен слой дпэлек 1 рпческой пленки, например моноокпсп кремппя (на чертеже ие показан).Отрезок стекловолокнас панесеппым 11 на и"-о ветвями термопары 2, 3 укрепляют между теплоотводящими контактами 5, нанесенными на слюдяную подложку б. Еонтакт ветвей термопары 2, 3 с теплоотводящими контактами 5 осуществлен через контактный слой 4, слой проводящего клея 7 и пьедестал 8.К числу достоинств данной конструкции относятся: малая инерционность, обусловливающая быстродействие и чалое время готовности измерителя мощности; высокая чувствительность, линейная зависимость выходного сигнала от рассеиваемой мощности; отсутствие паразитных напряжений на выходе термопары при изменении температуры окружающей среды; возможность простого моделирования датчиков - преобразователей с различным сопротивлениеч, габаритами и по.10 стояппой времени,Предмет изобретенияПленочный датчик измерителя мощностиСВЧ, содержащий термопару, отличающийся 15 тем, что, с целью повышения ч)вствительности и быстродействия, ветви термопары нанесены с перекрытием на отрезке стекловолокна малого диаметра, укрепленном между тепло отводящими контактами.