Вакуумный молекулярный насос

Номер патента: 270166

Авторы: Зацман, Тентно

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республиквидетельстваависимое от а Кл,Заявлено 06,Х 11 65 ( 104113626-2 явкиисоединент ПК Г 04 иоритет Номитет по делам изобретений и открытий ори Совете Мииистрав СССРУДК 621.527,8(088.8) публиковано 08.7.1970. Бюллетень М 16 ата опубликования описания 14 Л.1970 Авторизобретени Ворсов;,амтентно-ах;, ичеомббмблюатена ЧБА цма явител КУУМНЬ 1 Й МО ЛЯРНЫЙ НАСО Изобретение предназначено для созданиявакуума в различных приборах, установках ииспытательных камерах.Известен вакуумный молекулярный насос,содержащий цилиндрические статор и ротор,на котором симметрично относительно входного патрубка расположены винтовые канавки. Этот насос имеет недостаточно высокуюскорость откачки,Предлагаемый насос отличается от извест ного тем, что на статоре выполнены винтовыеканавки в направлении, противоположномнаправлению канавок на роторе.Угол наклона канавок увеличивается в направлении откачки, а количество канавок нароторе и статоре в области входного патрубка больше чем в области выходных патрубков.Такая конструкция позволяет повысить скорость откачки насоса.На фиг. 1 представлен насос в осевом разрезе; на фиг. 2 показаны нарезки ротора(сплошными линиями) и статора (пунктирными линиями).Насос состоит из корпуса (статора) 1, навнутренней цилиндрической поверхности которого выполнена винтовая зубчатая нарезка(паз) с малой толщиной зуба по сравнениюс шириной впадины. 1-1 арезка выполнена вобеих половинах статора, но имеет разное направление (левое и правое). Наклон зубьев составляет 45 - 80".В опорах 2 и 3 укреплен ротор 4, на цилиндрической поверхности которого также 5 выполнена винтовая зубчатая нарезка противоположного направления в различных половинах. Наклон зубьев тот же, что и на статоре, В каждой половине ротора п статора нарезка разбита на несколько зон, например 10". а, б, в, так что по направлению к зоне вугол наклона зубьев увеличивается, а высота зубьев уменьшается. Меньший угол наклона зубьев в зоне а и большая их высота резко увеличивают скорость откачки.15 Вал ротора со шкивом б выведен с малымзазором через бронзовые кольца б, укрепленные на мембранах Т в откачиваемой камере 8. Насос снабжен входным фланцем 9 и выходными патрубками 10 и 11. Зазор между 20 ротором и статором (0,2 ллт) компенсируетувеличение диаметра ротора за счет центробежных сил.Вакуумное уплотнение вала со шкивом 5достигается откачкой пз камеры 8 газов, про.2 ч никающих через зазор между ближайшим кшкиву кольцом и валом. Газы, проходящие в насос через второе кольцо, откачиваются через патрубки 10 н 11. Эластичные мембраны 7, на которых укреплены кольца 6, комч 0 пенсируют вибрации вала, возникающие, на270166 Предмет изобретения 2 и 9 аг. ( гг д а аФ гг Фиг.Г Составитель Г. А. ЖуковаРедактор Т. 3. Орловская 1 скрсд А. А. Камышникова Коррсктор Л, И. Гаврилова Заказ 2188;7 Тнраьк 480 Г 1 одписноеЦНИИПИ Когяитста по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква Ж, Рвунская нао., д. 4 г 5 Типография, пр. Сапунова, 2 пример, из-за недостаточной балансировкиротора при упругом креплении опор 2 н 3. 1. Вакуумный молекулярный насос, содерхкащий цилиндрические статор и ротор, на котором симметрично относительно входного патрубка расположены винтовые канавки, отличаюшийся тем, что, с целью увеличения скорости откачки насоса, на статоре выполиены винтовые канавки в направлении, противоположном направлению канавок на ро 2, Насос по п. 1, отличагогггийся тем, что5 винтовые канавки на роторе н статоре выполнены с углом наклона, увеличивающимсяв направлении откачки,3, Насос по пп. 1 и 2, отличающийся тем,что количество канавок на роторе и статоре10 в области входного патрубка больше чем иобласти выходных патрубков.

Смотреть

Заявка

1041136

тентно тех чео тена МБД, И. Р. Зацман

МПК / Метки

МПК: F04B 37/00

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-270166-vakuumnyjj-molekulyarnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумный молекулярный насос</a>

Похожие патенты