Вакуумный молекулярный насос

О П И С А Й И Е 252844ИЗОБРЕТЕНИЯ Союа Советских Социалистических РеслтбликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и. Зависимое от авт. свидетельстваКл, 27 с, 2 Заявлено 281968 ( 1228207/24-6)с присоединением заявкиКомитет ео декам аобретеиий и открытий ври Совете Мииистрав СССРМПК Г 04 сУДК 621.527,8(088.8) иоритет Опубликовано 22.Х.1969. Бюллетень29Дата опубликования описания 17.11.1970 Авторизобретения А, Беляев Заявител КУУМНЫЙ М КУЛЯРНЫЙ НАС Известны вакуумные . молекулярные насосы, содержащие корпус и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие решетки с лопатками, образующими асимметричные каналы,Цель изобретения - повышение быстроты откачки,Это достигается тем, что рабочие решетки соединены одна с другой при помощи жестких перемычек и подключены к приводу возвратно-поступательного перемещения для обеспечения колебания решеток в плоскостях, перпендикулярных направлению откачки при циклическом изменении скорости,В зазорах между периферийными лопатками рабочих решеток и стенками корпуса установлены вакуумплотные перегородки.Рабочие решетки соединены с корпусом при помощи .гибких овязей.Направляющие решетки насоса жестко соединены между собою и подключены к автономному приводу возвратно-поступательного перемещения с тем, чтобы обеспечить их колебания в том же,направлении, что и рабочих решеток, но со сдвигом по фазе.На чертеже схематично изображен описываемый насос, продольный разрез.Насос содержит корпус 1 и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся решетки с направляющими 2 и рабочими 3 лопатками, образующими асимметричные каналы. Лопатки 3 жестко соединены перемычками 4 и подключены к приводу возвратно- поступательного перемещения для колебания 5 решеток в направлении стрелок б в плоскостях, перпендикулярных направлению откачки (стрелка б) при циклическом изменении скорости, Для прохода перемычек через лопатки 2 в лопатках предусмотрены отверстия 0 7. С целью уменьшения перетекания газа взазорах между периферийными лопатками 3 рабочих решеток и стенками корпуса установлены вакуумплотные перегородки 8. Рабочие решетки могут быть соединены с корпусом 5 при помощи гибких связей 9.Насос работает следующим образом.При колебании рабочих решеток в направлении, перпендикулярном направлению откачки, сопротивление асимметричных сужаю щихся каналов изменяется таким образом,что оно становится неодинаковым для встречных потоков молекул откачиваемого газа.Следовательно, различаются прямые и обратные сопротивления, причем разность между 25 ними до некоторого предела тем больше, чемвыше скорость движения каналов. Следствием двоякого сопротивления тепловому движению молекул является установление массового потока газа через канал в направлении 30 меньшего сопротивления. При движении ка252544 ситор С Составитель Т. Рабиук Тскред Т. П. Курилко А. Пейсоч Рсдакто Сига Заказ 72, ЦНИИГ 1 И Комитета Подпис Министров ССТираж 480елам изобретений и открытий при Сове1 осква Ж, Раушскаи наб., д. 415 ипографпи, пр, Сапунова, д. налов в другую сторону устанавливается массовый поток газа в противоположном направлении,Свойством сужающихся асимметричных каналов является несимметричное изменение их 5сопротивлений при возвратно-поступательномдвижении.Опытным путем установлено, что такие каналы пропускают больше газа со стороны широкого окна, чем при соответствуюшем обрагном движении со стороны узкого. Процессприобретает характер несинусоидального переменного электротока,Таким образом, при колебательном движении рабочих каналов поперек направлению 15откачки устанавливается суммарный массовый поток молекул газа в сторону суженияканалов.Для повышения эффективности откачки инаправляющие решетки могут приводиться в 20колебательное движение в том же направлении, что и рабочие решетки, но со сдвигом пофазе. При колебательном движении по круговой 25 траектории решетки должны быть образованы лопатками, установленными крест накрест. Для работы насоса, могут быть использованы приводы возвратно-поступателыного перемещения любой известной конструкции. 30 Приводы распглагают как с одной, так и с разных сторон пакетов решеток в многопоточных конструкциях насосов. Предмет изобретения1. Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие решетки с лопатками, образующими асимметричные каналы, отличающийся тем, что, с целью повышсния быстроты откачки, рабочие рсшетки соединены одна с другой при помощи жестких перемычек и подключены к приводу возвратно-поступательного перемещения для обеспечения колебания решеток в плоскостях, перпендикулярных направлению откачки при циклическом изменении скорости.2, Насос по п. 1, отличающийся тем, что в зазорах меяду периферийными лопатками рабочих решеток и стенками корпуса установлены вакуумплотные перегородки.3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что рабочие решетки соединены с корпусом при помощи гибких связей,4. 1-1 асос по п. 1, отличающийся тем, что направляющие решетки жестко соединены между собою и подключены к автономному приводу возвратно-поступательного перемещения с тем, чтобы обеспечить их колебания в том же направлении, что и рабочих решеток, но со сдвигом по фазе.