221848
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 221848
Авторы: Поверхностньш, Федоренко
Текст
223848 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 06.1.1967 ( 1124931/26-25) Кл. 21 д, 36 присоединением за 1 ПК Н 051 т оритет Комитет по делам обретений и открыти ри Совете Министров СССР, И. Федоренк аявител ОВЕРХНОСТНЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ эмит углоь Наисываемый источ 15 ов рабочего объем, наполиттера 1, где аются в ионы зации; трубоправленности сположенных ли под тупым ающего элекного пучка с 2 ра позволяет ионного тока тягиваюший ттера делает Известные поверхностные источники ионов содержат эмиттер либо с плоской поверхностью, либо со сферической, направляющие трубки и вытягивающий электрод. Подобные формы эмиттера не полностью используются при образовании ионов.Для повышения использования поверхности эмиттера с равномерным распределением рабочего газа по эмиттеру в предложенном источнике эмиттер выполнен сферическим, а 1 трубки подачи расположены параллельно оситера, т. е, под углом а=О или под тупымл - р, к оси эмиттера.чертеже изображен оп ник.Он состоит из источника атох тела, представляющего собой ненный паром рабочего тела; эм атомы рабочего тела превращ механизмом поверхностной иони чек-щелей 2, служащих для на пучка атомов рабочего тела и ра параллельно оси эмиттера и=О и углом к оси эмиттера; вытягив трода 3 для отсасывания ион эмиттера.Сферическая геометрия эмитте обеспечить полную фокусировку с минимальными утечками на в электрод. Такая геометрия эми излишними специальные фокусирующие электроды, так как оптимальное фокусирование обеспечивается самой геометрией эмиттера.Это повышает плотность тока и ресурс источника ионов.Эта геометрия позволяет при а=О и тупых сс сделать распределение вещества по эмиттеру равномерным, что очень важно для оптимизации рабочего процесса в источнике ионов.Установка трубок подачи под углом а=0 или тупым углом а служит для локализации рабочего вегцества на элементе д 5 сферической поверхности с тем, чтобы оно затем распределялось равномерно по всей остальной части эмиттера посредством переизлучения,Длина подающих трубок должна быть такой, чтобы обеспечивать хороший доступ вытягивающего поля к эмиттеру,Обычно бывает достаточным взять трубку подачи длиной 1=1 мм и высотой 6=0,1 - 0,15 лтм. При таких размерах трубки направлснность ее очень высокая и почти все ее излучение концентрируется на участочке эмиттера порядка (1+1,5) Ь. Чтобы полностью исключить испарение нейтрален с элемента д 5 в межэлектродное пространство, толщина трубки берется также порядка Ь.Поскольку плотность распределения вещества по эмиттеру постоянна, можно оптимизировать процесс поверхностной ионизации на221848 72 Составитель Б. М. Поповедактор Н, А. ДжарагеттТекред Т. П. Курилкоорректор А. П. Васильев раж 530 Подписное по делам изобретений ете Министров СССРпр. Серова, д. 4 082/18 ТПИ Когиитетатий при Соосква, Центр ЗаказЦНИИи отк б(щупай угал а -Х Типография, пр. Сапунова, 2 эмиттере, т, е. взять минимальную пороговую температуру То по этой плотности вещества.Эмиттер может иметь, кроме сферической, цилиндрическую, прямолинейную или кольцевую геометрию. При использовании оптимизированного поверхностного источника ионов с обратной подачей можно будет получать довольно высокие значения коэффициента полезного использования рабочего тела (порядка коэффициента поверхностей ионизации 96 - 93%), высокие значения плотности тока, низкие значения цены иона, так как ионизация происходит при минимальной пороговой температуре Т, на гладком полированном эмиттере, степень серости которого при этих температурах порядка 0,15,Поскольку коэффициент использования рабочего тела очень высок, интенсивность всех вторичных процессов в источнике значительно уменьшается, а ресурс увеличивается.5 Предмет изобретения Поверхностный источник ионов с обратной 10 подачей рабочего газа, содержащий сферической формы эмиттер, направляющие трубки и вытягивающий электрод, отличающийся тем, что, с целью повышения ионизации газа и плотности тока и улучшения фокусировки пуч ка, трубки подачи расположены параллельноили под тупым углом к оси эмиттера,
СмотретьЗаявка
1124931
А. И. Федоренко, повЕРхностньш ИСТОЧНИК ионов
МПК / Метки
МПК: H01J 37/08
Метки: 221848
Опубликовано: 01.01.1968
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-221848-221848.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">221848</a>