Способ активирования вторичноэлектронныхэмиттеров

Номер патента: 206727

Автор: Тютиков

ZIP архив

Текст

206727 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Соеетскик Социалистических Республик(088,8) комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРАвторизобретения А. М, Тютиков Заявитель СПОСОБ АКТИВИРОВАНИЯ ВТОРИЧНОЭЛЕКТРОННЫХ ЭМИТТЕРОВИзвестен способ активирования вторично- электронных эмиттеров, выполненных из магниевой бронзы, путем их прогрева в кислороде. Однако изменение коэффициента вторичной электронной эмиссии таких эмиттеров (о) после пребывания на воздухе достаточно велико.Предлагаемый способ активирования эмиттеров из магниевой бронзы отличается от известного тем, что на эмиттер катодным распылением в аргоне или вакуумным испарением наносят слой золота, а окисление сплава проводят при температуре около 500 С до поглощения 10 мкг/смз кислорода при давлении 10 е мм рт. ст. Исследование свойств эмиттеров показало, что изменение их о при хранении как в сухом, так и влажном воздухе значительно меньше, чем у эмиттеров, покрытых золотом, и происходит в основном за первые 100 - 150 час хранения, Для достижения максимальной устойчивости активировка эмиттеров со слоями золота должна производиться при температуре около 500 С. При более высокой температуре (650 - 800 С) начинается взаимная усиленная диффузия золота и меди, слой золота обогащается медью, и устойчивость падает, При более низкой температуре (450 С) скорость диффузии магния из сплава через слой золота уменьшается, вследствие чего трудно сформировать достаточно толстый слой окиси магния, обеспечивающий необходимый о. Устойчивость эмиттеров практически не меняется при увеличении слоя золота от 200 до 3500 А. Слой золота должен наноситься катоднымраспылением в аргоне либо вакуумным испа рением. При нанесении этого слоя катоднымраспылением в воздухе сплав под слоем золота окисляется и устойчивость эмиттера не отличается от устойчивости для незащищенного сплава.15 При использовании предлагаемого способаактивирования эмиттеров из магниевой бронзы величина изменения их о при энергиях первичных электронов в 200 в 3 эв находится на границе точности измерений (О - 1,5 д/,).20 Повышение устойчивости эмиттеров из магниевой бронзы к длительному воздействию воздуха при нанесении на нее слоя золота объясняется, видимо, уменьшением механи ческих напряжений в эмиттирующем слоеокисла магния, обусловленным близкими величинагпи атомных обьемов и коэффициентов термического расширения у окисного слоя и подложки - сплава.206727 Предмет изобретения Составитель Г. А, Жукова Редактор Н, А, Джарагетти Техред Л. Я, Бриккер Корректоры: Н. И, Быстрова и О. Б. ТюринаЗаказ 4658 г 15 Тираж 530 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр. пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 Способ активирования вторичноэлектронных эмиттеров, изготовленных из магниевой бронзы, путем их прогрева в атмосфере кислорода, отлггчаюигийся тем, что, с целью повышения устойчивости коэффициента вторичной электронной эмиссии эмиттеров к длительному воздействию воздуха, на сплав катодным распылением в аргоне или вакуумным испарением наносят слой золота толщинойо200 - ЗООА, а последующее окисление проводят при температуре около 500 С до поглощения 10 лкг/сиз кислорода при давлении 10 - - мм рт. ст,

Смотреть

Заявка

1066736

А. М. Тютиков

МПК / Метки

МПК: H01J 9/12

Метки: активирования, вторичноэлектронныхэмиттеров

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-206727-sposob-aktivirovaniya-vtorichnoehlektronnykhehmitterov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ активирования вторичноэлектронныхэмиттеров</a>

Похожие патенты