Оптико-электронное устройство для измерения линейных размеров деталей

с 433 О Сопа Советскик Социалистических РеспубликЗависвос от Заяьлсно 29,Х вт. свидетельства М л. 42 Ь, 12/01 42 Ь, 12102.1965 (Х 1040315125-215 с присоединением заявки ЪвПриоритет МПЕ, 6 01 Ь С 01 Ь УЧ,1 531 717.86.0 0 В 8.61Комитет по деламизобретений и открытипри Совете МинистровСССР публиковапо 30.111.1 пь М 7. БОллс сания 2.196 Дата опублик ния ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО ЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЬ 1 Х РАЗМЕРОВ ДЕТАЛЕЙнойщфе 90-. шо ято О, а щих етИзвестно оптико-электронное устройство дл 1измерения линейных перемещений, Известноеустройство содер 5 кит интерферометр с подвижным отражателем, установленным па каретке, интерференционный модулятор с источником модулирующих колебаний, фотоэлектрический преобразователь, преобразующий Выходной пучок интерферометра в электрическийсигнал и соединенный с усилителем перемс 1 ного тока, счетчик интерферепциоппьх полоси интерполятор полосы,Точность известного устройства зависит огнаправления движения каретки и поэтому является постоянньп источником ошибок.Предложенное устройство отличается от из.вестного тем, что, с целью повышения точности измерения, опо снабжено пластиной, установленной па пути выходного пучка интерферометра и разделтпощей этот пучок на два,один из которых преобразуется фотоэлсктрпчсским преобразователем и усиливается усилителем переменного тока, Вторь 1 м фотоэлектрическим преобразователем, устаповленныпа пути Второго пучка, Вторых у снлителем перевспного тока, электрически сВ 5 занным совторым фотоэлектрическим преобразователем,двумя щслевыми диафрагмами, установленными перед каждых фотоэлектрическим преобразователем и вырезающими из интерференционной полосы участки, сдвинутые по фазе на 90",двумя фазовыми демодуляторами, одни входы которых соединены с усилителями переменноо тока, другие - соединены с исто ником модулирующпх колебашш, а выходы де модуляторов соединены со входами реверсивного счетчика интерфсренциопных полос и интсрполятора пнтсрфсрснц 1 ОПо 1 полосы.На чертеже дана схема предлагаемого устройства.10 Опти еская часть устройстьа базируется напримепсчии пптерферометра, образуемого осветителем 1, разделительной пластиной 2, неподвпжпым отра 5 кателем 3, закрепленным на штсрфсрснцпонном модуляторе 4, подвиж ным отражателем 5, установлснньп на каретке 6, на которой закрепляется и измеряемая деталь А. Быходпои пучок пнтерферомстра пласти 20 7 разделяется па два пучка, падающие на левыс диафрагмы 8, вырсзающие из интер ренцпоппой полосы участки, сдвинутые па За даррагмази установлены фотоэлсктр скис преооразоватсли 9, сигналъ с кото 25 подаются на входы усилителей 10 переме го тока. На одш входы фазовых демодул ров 11 поступают сигналы от усилителей 1 на другие - от источника 12 модулнрую колебаний, Выходы демодуляторов электр ЗО ски соединены со входами реверсивного саказ 4 б 91 Тираж 5351 ЛИИП 1 Л Комитета по делам пзоорстсний и открытиМосква, Центр, пр. Серова,Подппспопрп Совете Министров СССР ппографпп, пр. Сапунова чика И интерференционных полос и интсрполятора 14 интерференционной полосы.При движении каретки изменяется угол сдвига фаз между модулированным и модулирующим сигналами, величина которого пропорциональна длине линейного псремсщешля каретки.Сочетание интерференционного метода с фотоэлектрическим двухканальным устройством, работающим на переменном токе, позволяет измерять линейные перемещеш 1 я в пределах монохроматичности осветителя с высокой точностью,Оптико-электронное устройство для измере-. ния линейных размеров деталей, содержащее интерферометр с кареткой, на которой закреплен один из отражателей интерферометра и установлена измеряемая деталь, иптерфсрепционный модулятор с источником модулирующих колебаний, фотоэлектрический преобразователь, преобразующий выходной пучок интерферомегра в электрический сигнал и сосдиненный с усилителем переменного тока, реверсивный счетчик интерференциош 1 ых полос и интерполятор полосы, отличагощееся тем, что, с целью повышен 1 ля точности измерения, 5 оно снабжено пластиной, установленной на пути выходного пучка интерферометра и разделяющей этот пучок на два, один из которых преобразуется фотоэлектрическим преобразователем и усиливается усилителем переменно го тока, вторым фотоэлектрическим преобразователем, установленным на пути второго пучка, вторым усилителем переменного тока, электрически связанным со вторым фотоэлектрическим преобразователем, двумя щелевы ми диафрагмами, установленными перед каждым фотоэлектрическим преобразователем и вырезающими из интерференционой полосы участки, сдвинутые по фазе на 90, двумя фазовыми демодуляторами, одни входы которых 20: соединены с усилителями переменного тока,другие - соединены с источником модулирую.щих колебаний, а выходы демодуляторов соединены со входами реверсивного счетчика интсрференционных полос и интерполятора ин терференционной полосы.