Способ получения изображения микросхемы методом трафаретной печати
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
.БО 5)5 В ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ВТОРСКО ВИДЕТЕЛЬС 8/1203, Бюл, %18(21) 482703 (22) 04,04.9 (46) 15.05.9 (71) Научно "Плазма" (72) А.Н.Ив мина и И,П (56) Книга толстоплен схем", "Ми бьедин л юш кин, В.А. С ми .ХаритоновД,Хамер, Дж. Бигге очных гибридных р", М., 1975. нов, Р.Н.Фос "Технологи интегральны Изобретение относится к технике, в которой возможно применение трафаретнойпечати, в частности в производстве газоразрядных приборов (ГРП).Целью настоящего изобретения является повышение качества отпечатков.На чертеже показана схема предлагаемого способа получения изображения.Способ заключается в прижатии к подложке 1 трафарета 2, заполнение с помощьюконтрракеля 3 отверстий в трафарете 2 пастой4 и последующим выравниванием ее в отверстиях трафарета с одновременным продавливанием пасты на подложку ракелем 5,расположенным под углом 100-160 к поверхности трафарета,Если в процессе печати угол наклонаракеля будет менее 100; то лезвие ракеляоказывает сильное давление на пасту и онаможет затекать под трафарет, В результатеэтого происходит раздавливание отпечаткана подложке и как следствие резко возрастает разброс геометрических размеров от печатка.При угле наклона ракеля более 160давление на пасту, вызванное движением(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ МИКРОСХЕМЫ МЕТОДОМ ТРАФАРЕТНОЙ ПЕЧАТИ(57) Использование: в трафаретной печати. Сущность изобретения: в начале процесса нанесения пасты заполняют ею отверстия трафарета контрракелем, а затем проводят выравнивание пасты в отверстиях трафарета с одновременным ее продавливанием на подложку ракелем. расположенным под углом 100-160 к поверхности печати. 1 ил 1 табл,ракеля, недостаточно и не обеспечивает полное выдавливание пасты из отверстий в трафарете на подложку, Следствием этого является большой разброс толщины отпечатка на подложке.Для достижения требуемой точности при формировании отпечатков по предлагаемому техническому решению необходимо использовать пасты с вязкостью от 2000 до 10000 Пэ, При использовании паст с вязкостью менее 2000 Пэ отпечаток имеет увеличенные геометрические размеры из-за растекания ее после отрыва трафарета.Использование паст с вязкостью более 10000 Пэ не позволяет полностью заполнить все отверстия в трафарете, И при движении ракеля она очищается, не продавливаясь на подложку. зобретение иллюстрируется примеДля формирования отпечатков в виде полос использовали трафарет, изготовленный из металлической ленты толщиной 0,2 мм. Отпечаток формировался на стеклянной подложке с элементами в виде барьеров вы1815239 Составитель,Н. Ко Техред М.Моргента ров 4 орректор С. Шекмар е 616 Тираж По ИИПИ Государственного комитета по изобретениям113035, Москва; Ж, Раушская на аказ 1 исноеоткрытиям при ГКНТ СС/5 ственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Произ сотой 0.15 мм, в направлении,перпендикулярном расположению барьеров. Режим печати: скорость перемещения ракеля 52 мм/сек, пневматическое давление на ракель - 9,81 10 н/м . Формирование эле 4 2ментов проводилось согласно способу при углах наклона ракеля 95 О,100 о, 110 О, 160 О, 165", а контрракеля - 60 О. Вязкость пасты 8400 Пз. Рисунок на трафарете выполнен в виде сквозных продольных полос шириной 0,47 мм и длиной 190 мм. Расположение полос параллельно ходу,ракеля. Параметры отпечатков приведены в таблице,Таким образом, предлагаемый способ получения иэображения позволяет повысить точность отпечатков и дает воэможность формировать разделительные элементы на рельефной поверхности,5 Формула изобретенияСпособ получения изображения микросхемы методом трафаретной печати, заключающийся в выравнивании пасты на трафарете с помощью контрракеля и про давливании ее через трафарет посредствомракеля,отличающийся тем,что,с целью повышения качества отпечатков при продавливании пасты через трафарет, ракель располагают под углом 100-160 к по верхности трафарета.
СмотретьЗаявка
4827038, 04.04.1990
НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ПЛАЗМА"
ИВЛЮШКИН АЛЕКСЕЙ НИКОЛАЕВИЧ, СМИРНОВ ВАДИМ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ФОМИНА РАИСА НИКОЛАЕВНА, ХАРИТОНОВ ИГОРЬ ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: B41M 1/12
Метки: изображения, методом, микросхемы, печати, трафаретной
Опубликовано: 15.05.1993
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1815239-sposob-polucheniya-izobrazheniya-mikroskhemy-metodom-trafaretnojj-pechati.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения изображения микросхемы методом трафаретной печати</a>
Предыдущий патент: Способ получения изображения методом трафаретной печати
Следующий патент: Ручной переплетный станок
Случайный патент: Патрон для крепления инструмента