Модулятор оптического излучения

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 17885 А 1 03 0 16/О ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ видетельство СССР03 6 16/00. 1986,Р ОГТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕдля модуляции оптичектронным или оптичеизлучением, Сущность ется в том, что модуля- размещенные на подмые выполненные из 00(57) Использование:ского излучения элеским модулирующимизобретения заключатор включает в себяложке 1 деформируе проводящего материала зеркальные элементы 2 и первый управляющий электрод 3. С противоположной от первого управляющего электрода 3 стороны к зеркальным элементам 2 примыкает диэлектрический слой 6 и третий управляющий электрод 7. Слой 6 и электрод 7 прозрачны. Опоры 8 зеркальных элементов 2 со стороны модулируемого излучения прикрыты зеркальными участками, а их проводящие участки соединяют зеркальные элементы 2 с контактными электродами 9, примыкающими к слою 4, Зеркальные элементы 2 электрически изолированы друг от друга, 1 ил,1788511 Составитель Ю.ИвановТехред М,Моргентал Корректор М.Максимишинец Редактор Заказ 73 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород. ул. Гагарина, 101 Изобретение относится к модуляторамоптического излучения электронным илиоптическим же"модулирующим излучением.Известен модулятор оптического излучения, включающий размещенные на подложке первый управляющий электрод,деформируемые, выполненные из проводящего материала зеркальные элементы, соединенные через чувствительный кмодулирующему излучению слой со вторым 10управляющим электродом (а.с, М 1607029,МКИ 5 0 03 6 16/00, 1985 г),Если модулирующее излучение содержит фоновую составляющую, то она будетприсутствовать и в воспроизводимом изображении,Цель изобретения - расширение функциональных возможностей путем устранения этого недостатка.Указанная цель достигается тем, что в 20модулятор, содержащий размещенный наподложке первый электрод, деформируемые, выполненные из проводящего материала зеркальные элементы, соединенные совторым управляющим электродом через фоторезистивный слой, введены последовательно расположенные с противоположнойот первого управляющего электрода стороны примыкающий к деформируемым элементам диэлектрический слой и третий 30управляющий электрод.Изобретение поясняется чертежом.Модулятор оптического излучениявключает в себя размещенные на подложке1 деформируемые, выполненные из проводящего материала зеркальные элементы 2 ипервый управляющий электрод 3. В варианте на фиг, 1 зеркальные элементы 2 черезчувствительный к модулирующему излучению слой 4 соединены со вторым управляющим электродом 5, С противоположной отпервого управляющего электрода 3 сторонык зеркальным элементам 2 примыкает диэлектрический слой 6 и третий управляющийэлектрод 7, Слой 6 и электрод 7 прозрачны, 45 Опоры 8 зеркальных элементов 2 со стороны модулируемого излучения прикрыты зеркальными участками, а их проводящие участки соединяют зеркальные элементы 2 с контактными электродами 9, примыкающими к слою 4, Зеркальные элементы 2 электрически изолированы друг от друга,Устройство работает следующим образом.Модулирующее излучение в слое 4 наводит проводимость, на зеркальных элементах 2 устанавливается электрический потенциал, соответствующий таковому управляющего электрода 5, что вызывает электростатическую деформацию зеркальных элементов 2 и рассеивание ими оптических лучей, регистрируемое считывающей шлирен-оптикой как полезный сигнал,Если на дополнительный электрод 7 подать соответствующий потенциал. стремящийся деформировать зеркальные элементы 3 в противоположную сторону, то совместное действие приведет к тому, что модулирующее излучение низкой интенсивности не сможет деформировать элементы 3. Таким образом можно отфильтровать фоновую составляющую модулирующего излучения,Формула изобретения Модулятор оптического излучения, включающий размещенные на подложке первый управляющий электрод, деформируемые, выполненные из проводящего материала зеркальные элементы, соединенные через фоторезистив.ый слой с вторым управляющим электродом, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем устранения фоновой составляющей модулирующего излучения, в него введены последовательно расположенные с противоположной от первого управляющего электрода стороны примыкающий к деформируемым элементам диэлектрический слой и третий управляющий электрод,