Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок

)5 ЗОБРЕТЕНИЯ СА АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ ния: устроиство для измерения сопротивления проводящих пленок содержит диэлектрическую подложку 1, первый токовый электрод 2, второй токовый электрод 3, два потенциальных электрода 4;5 и измерительный блок 6. Проводящая пленка покрывает равномерным по толщине и сопротивлению слоем подложку 1 и находящиеся на ней плоские концентрические электроды 2-5. От источника постоянного тока в измерительном блоке 6 ток пропускается от электрода 2 к электроду 3. Разность потенциалов электродов 4 и 5, равная падению напряжения на кольцевом участке пленки, подается на измеритель разности потенциалов в блоке 6. 1 з. п,ф-лы, 1 ил. ное объединение .К.Часовитин и тво СССР 2, 1978,ИЗМЕРЕНИЯ СОЯЩИХ ПЛЕНОК ение сопротивлетолщиной единив процессе или щность изобретеГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОТИВЛЕНИЯ ПРОВОД1725157 50 Составитель А,ИваницкийТехред М.Моргентал Корректор Э.Лончакова Редактор И.Шмакова Заказ 1174 Тираж .ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 Изобретение относится к электроизмерительной технике, предназначено для измерения сопротивления проводящих пленок толщиной единицы-десятки микрометров в процессе или после их образования, в частности пленок, образующихся в ходе экспериментов с парометаллическими плазменными неоднородностями,Цель изобретения - повышение чувствительности,На чертеже представлена структурная схема устройства.На схеме обозначены диэлектрическая подложка 1, первый 2 и второй 3 токовые электроды, первый 4 и второй 5 потенциальные электроды и измерительный блок 6, направление тока 1, пропускаемого через электроды 2 и 3, и измеряемая между электродами 4 и 5 разность потенциалов ЬО, а также геометрические размеры: 01 - внешний диаметр электрода 4, 02 - внутренний диаметр электрода 5.Устройство работает следующим образом.Проводящая пленка, сопротивление которой необходимо измерить, покрывает равномерным по толщине и сопротивлению слоем подложку 1 и находящиеся на ней плоские, выполненные в виде замкнутых концентрических фигур электроды 2 - 5. От источника постоянного тока в измерительном блоке 6 токпропускается от электрода 2 к электроду 3, Разность потенциалов Л О электродов 4 и 5, равная падению напряжения, создаваемому током на сопротивлении В кольцевого участка пленки, ограниченного этими электродами, подается на измеритель разности потенциалов в блоке 6. Сопротивление В определяется по закону Ома, а поверхностное сопротивление В получают, исходя из В и геометрических размеров потенциальныхэлектродов. В случае выполнения электродов в виде концентрических. колец используется зависимостьгл гк ЛО5 1 п 02/01 1 п 02/01 1неизменном отношении 02/01 результатизмерения Ь О в блоке 6 может быть выражен непосредственно в единицах В.Принятая конфигурация электродной10 системы позволяет увеличить площадь токовых электродов и повысить плотность тока,протекающего в исследуемом объекте, иблагодаря этому в несколько раз повыситьчувствительность, а также расширить пре 15 дел измерения минимального значения Взпо сравнению с известным устройством.Кроме того, в связи с тем, что исключаютсяналичие электрического поля за пределамивторого токового электрода и связь по про 20 водящей пленке между любыми электродами, помимо соседних, становятсяненужными маска и средства для ее установки и закрепления,25 Формула изобретения1. Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее диэлектрическую подложку с плоскимитоковыми и потенциальными электродами,30 а также измерительный блок, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышениячувствительности,. электроды выполнены ввиде замкнутых концентрических фигур, охватывающих первый токовый электрод в35 последовательности: первый потенциальный, второй потенциальный и второй токовый электроды,2. Устройство по и. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что электроды выполнены в виде40 концентрических окружностей.