Способ контроля герметичности изделий

(51)5 С 01 М 3/02 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИДЕТЕЛЬС Н АВТОРСКОМ(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗ ДЕЛЮ(57) Изобретение относится к контр лю герметичности многополостных из лий и позволяет расширить технологические возможности способа путем обеспечения контроля различных полостей 1 многополостных изделий раз личными пробными газами. Заполняют полость изделия гелием, откачивают Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к контролю герметичности многополостных изделий.Цель изобретения - расширение технологических возможностей способа путем обеспечения контроля различных полостей многополостных изделий различными пробными газамиСпособ контроля герметичности изделий реализуют следующим образом.Заполняют полости иэделия, допускающие контакт с гелием, пробнья газом - гелием; Откачивают камеру, в которой размещено изделие, высоко- вакуумным средством откачки, допол - нительно на его выходе сжимают гаэ и двухроторным вакуумным насосом иэ вакуумную камеру высоковакуумнымсредством откачки и дополнительносжимают газ на его выходе двухроторным вакуумным насосом. Из объема сжатого газа отбирают газ в масс-спектрометрический анализатор и измеряютизменение концентрации гелия, по которому судят о герметичности полости.Заполняют другую полость изделия элегазом, подают в камеру поток балластного газа и устанавливают давление вобъеме дополнительно сжатого газа,равное рабочему давлению гаэоразрядной камеры плазменного течеискателя,размещенной в этом объеме. Измеряютизменение концентрации элегаза плазменным течеискателем и по нему судято герметичности полости. 1 з.п.ф-лы. объема сжатого газа отбирают пробу газа в масс-спектрометрический анали затор. По изменению концентрации гелия в объеме определяют негерметичность полостей.Затем в объем вакуумной камеры вводят балластный газ, например, аргон. Настраивают плазменный течеискатель по контрольной течи, регулируя поток балластного газа в пределах 100-200 мм/с и давление на .выходе иэ двухроторного насоса в пределах 0,5-2,0 мм рт.ст. дросселированием от качки механического насоса.Это диапазон рабочих давлений газоразрядной камеры плазменного те. чеискателя, размещенного в объеме дополнительного сжатого газа.Затем осуществляется обычный споюсоб контроля герметичности изделия,т.е. определяется чувствительностьиспытаний по контрольной течи, заполняется полость изделия, не допускающая контакта с гелием, например,приборный отсек, электроотрицательным газом, элегазом и в динамическомрежиме - не прекращая откачки - фиксируется сигнал плазменного течеискателя от суммарного натекания наполости изделия.у Пределы величины по потоку балластного газа 100-200 мм /с и по 15давлению в газоразрядной камере 0,52,0 мм рт.ст. взяты из техническойхарактеристики имеющихся плазменных.течеискателей. Конкретные величины,по потоку и давлению индивидуальны 20для каждого прибора и являются ориентировочными,Лабораторная отработка нового способа контроля герметичности изделийна вакуумной камере объемом 1,3 м, 25оснащенной турбомолекулярным насосомВИН - 500, двухроторным вакуумнымнасосом ДВН - 5-2 и Форвакуумным насосом ВН - 2 МГ показала, что порогчувствительности по элегазу значительно меньше, чем при испытаниях сиспользованием аргона.В предлагаемом способе открываетсявозможность на одной и той же вакуумной установке наряду с гелием и аргоном использовать в качестве пробногогаза элегаз и различные реоны, например хладон. В качестве балластногогаза может быть использован аргон.Дополнительное сжатие газа лучшевсего осуществлять двухроторными насосами Рутса (например, ДВН - 5-2,ДВН - 50, ДВН - 150 и др.), Онотребуется для обеспечения давленияпорядка 0,5-2,0 мм рт.ст., необходимого для создания оптимальных условий газового разряда в газоразряднойкамере плазменного течеискателя, иможет регулироваться как величинойпотока балластного газа, так и дросселированием откачки перед механичес"ким насосом. Установка двухроторного насоса между высоковакуумным и Форвакуумным насосами гарантирует непревышение предельного выпускного давлениявысоковакуумного насоса и повышает чувствительность системы течеискания при испытаниях с пробными газами гелием и аргоном. Это достигается тем, что масс-спектрометрический течеискатель подключают на выходе двухроторного насоса, тем самым обеспечивается отбор телеискателем пробного газа повышенной концентрации.Формула изобретения1. Способ контроля герметичности изделий, заключающийся в том, что размещают изделие в вакуумной камере, заполняют его пробным газом, откачивают камеру высоковакуумным средством откачки и дополнительно сжимают газ на выходе высоковакуумного средства, нз объема дополнительно : сжатого газа отбирают газ на масс-спектрометрический анализатор и измеряют изменение концентрации в нем пробного газа, по которому судят о герметичности изделия, о т л и ч а ю щ и й - с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем обеспечения контроля различных полостей многополостных изделий различными пробными газами, после измерения масс-спектрометрическим анализатором заполняют полость изделия электроотрицательным пробным газом, подают в камеру поток балластного газа, дополнительное сжатие газа осуществляют до рабочего давления газораэрядной камеры плазменного течеискателя, раз- мещенной в объеме дополнительно сжатого газа, и измеряют изменение концентрации электроотрицательного пробного газа в этом объеме посредством плазменного течеискателя.2. Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что дополнительное сжатие осуществляют двухроторным вакуумным насосом.1