Пленочный предохранитель

(51)5 Н 01 Н 850 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ интегральном исполнении. Целью изобретения является повышение быстродействия срабатывания пленочногопредохранителя, а также регулированиятоков срабатывания в широком диапазонеПленочный предохранитель состоит из изолирующей подложки, на которой расположена .пленка расплавляемого материала и токоподводящие пленочные проводники (ТПП), Благодарятому, что ТПП выполнены из материала с более высокой проводимостью,чем пленочный расплавляемый материал,а изолирующая подложка выполненаиз материала с коэффициентом теплопроводности не выше 10 Вт/м К, повышается быстродействие срабатывания,т.к, уменьшается теплоотвод черезподложку. Выбор тока срабатыванияобеспечивается различным содержанием кислорода в расплавляемом оксидеиндия, 1 з.п. Ф-лы, 1 ил 1 табл. Р 4532489985.5 ф 4533896,985,кобритании48, 1978.(57) Изобретенитехнике и можедля защиты эле ПРЕДОХРАНИТЕЛЬое относится к электробыть использованотронных приборов в П р и м е р. На подложку 1 (фиг.1 из полимерной пленки марки 4 ФМБ толщиной 100 мкм или целлулоида, при 30 С, высокоскоростным реактивным катодным распылением мишени из индия в смеси газов аргон-кислород, при общем давлении 510мм рт.ст.,3удельной мощности разряда 2 Вт смнанесена пленка 2 оксида индия толщиной 1000+50 А. При изменении парци ального давления кислорода в рабочей ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР Д ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕПЬСТ(71) Институт электросваркиим. Е.О,Патона и Киевский государственный уни вер ситет им. Т. Г Левч енко(53). 621.316.9 23 (088.8) Изобретение относится к электро технике и может быть использовано для защиты электронных приборов в интегральном исполнении.Цель изобретения - повышение быстродействия срабатывания пленочного предохранителя, а также регулирование токов срабатывания в широком диапазоне.На чертеже изображен пленочный предохранитель, поперечное сечение. 1629926 А 11629926 1. Пленочный предохранитель, содержащий изолирующую подложку, на которой расположен расплавляемый мате риал, и токоподводящие пленочные проводники из материала с более высокойпроводимостью, чем у расплавляемогоматериала, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения быстродействия срабатывания, изолирующаяподложка выполнена из материала скоэффициентом теплопроводности невыше 10" Вт/м К.Проводимость, Ом ,см ф 4 МБ Целлулоид 0,17 0,63 1, 14 6,05.8,7 15 е 5 22,4 0,23 0,74 1,62 6,92 11,4 19,33 25,1 9,85 1, 04 10 4,1 ф 10, 9,9,. 10 3,35 10 ф 8,78 ф 104 1,1610 Составитель С Техред А,Крав дон Корректор О,Кравцова Редактор В,Бугренков аказ 440НИЙПИ Госуд Тираж 348 Подписноетвенного комитета по изобретениям и открытиям при 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 КНТ СС изводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 1 камере получают пленки оксида индия с различным содержанием кислорода и, соответственно, с различной электрической проводимостью. Посредством Фотолитографии Формируют образцы размерами 20 3 10 мкм.Пленочные токоподводяшие проводники 3 получают высокоскоростным .катодным распыпением алюминиевой мишени в атмосфере чистого аргона и окончательно Формируют посредством фотолитографии.Использование в качестве расплавляемого материала оксида индия с 15 различным содержанием. кислорода дает возможность менять проводимость расплавляемого материала в пределах 10- 106 Ом.см"и тем самым определять ток срабатывани, предохранителя. 20В таблице приведены значения токов срабатывания для образцов размерами .20 10 х 0,1 мкм с различной проводимостью на подложках из целлулоида и материала ф 4 МБ,По сравнению с известным предлага 40емый пленочный предохранитель обладает следующим положительным технико-экономическим эффектом:увеличивается быстродействие пр едохранителя, что повышает эффективность защиты приборов интегральной электроники от электрических перегрузок по токуфдостигается возможность выбора тока срабатывания в широком диапазоне его измерений, что расширяет возможность применения пленочного предохранителя,уменьшается стоимость предохранителя за счет устранения из устройства драгоценных металлов,упрощается конструкция н технология изготовления предохранителя,Формула изобр етения 2. Предохранитель по п,1, о т л и. ч а ю щ и й с я тем, что, с целью регулирования тока срабатывания в широком диапазоне, в качестве расплавляемого материала использован оксид индия, содержащий различноеколичество кислорода.