Оптический профилометр

(54) ОПТИЧЕСКИЙ (57) Изобретени рольно-измерите быть использова рогеометрии пов бретения - увел ПРОФИЛОМЕТР относится ьной техникк конте и может я о для измеррхностей,чение точно ь из ти и ОСУДАРСТВЕИНЫЙ . КОМИТЕТПО Иасн ЕТЕНИЯМ И ОЩРЦтмлпги гкнт ссо ОПИСАЙИЕ И(71) Московскиго машиностроеститут АН СССР(56) Беггап 1 Эаяг орсопппц ЗОБРЕТСНИЯ,;тейьОТВУ повышение быстродействия устройстваза счет снижения погрешности отфлуктуаций и дискретности считывания. Излучение лазера 1 фокусируетсяна измеряемой детали объективом 2,отраженное излучение собирается темже объективом 2 и делится светоделнтелем 3 на опорный поток, поступающий на опорный Фотогриемник 4, и информационный поток, который черезфокусирующую линзу 5 поступает на координатно-чувствительный Фотоприемник, состояший из пластины 6 с линейным изменением оптической плотности и широкполосного фотоприемника 7. Выходы опорного Фотоприемника4 и координатно-чувствительного фотоприемника соединены с входами блока 8 деления. 1 ил.1548669 Формула изобретения Составитель В.ШабашоваРедактор Н,Бобкова Техред Л.Сердюкова Корректор О,Ципле Заказ 136 Тираж 483 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгорон, ул. Гагарина,101 Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения микрогеометрии поверхностей.Цель изобретения - увеличение точ 5 ности и быстродействия устройства.На чертеже представлена блок-схема профилометра.Профилометр состоит из источника . 1 излучения, оптически связанного с объективом 2. По ходу отраженного излучения установлен светоделитель 3, делящий отраженное излучение на два потока: опорный, который поступает на опорный фотоприемник 4, и информационный, который через фокусирующую линзу 5 попадает на координатно- чувствительный фотоприемник, состоящий из пластины 6 с линейным изменением оптической плотности, установленной в фокальной плоскости фокусирующей линзы 5, и широкополосного фотоприемника 7. Выходы опорного и координатно-чувствительного фотопри емников соединены с соответствующими входами блока 8 деления. При этом светоделитель 3 и фокусирующая лин, за 5 представляют оптическую систему отраженного излучения. 30Профилометр работает следующим образом.Излучение источника 1 фокусирует ся на поверхности измеряемой детали о бъективом 2 отраженное от поверхР35 , ности излучение собирается этим же объективом 2 и с помощью светоделителя 3 разделяется на два потока: опорный и информационный. Опорный поток попадает на опорный фотоприемник 4. Информационный поток, пройдя через фокусирующую линзу 5, попадает на координатно-чувствительный фотоприемник, состоящий из пластимы 6 с линейным изменением оптической плотности, и широкополосного фотоприемника 7. Отраженное излуче,.ние фокусируется линзой 5 на поверхности пластины 6, имеющей линейноеизменение оптической плотности ипозволяющей определять положение измеряемой поверхности относительно нуля, после чего световой поток попадает на Широкополосный фотоприемник7, Электрические выходы опорного иширокополосного фотоприемников соединены с соответствующими входамиблока 8 деления, по сигналу которого судят о характере микрорельефаизмеряемой поверхности. Оптический профилометр, содержащий излучатель, объектив, оптическую систему для отраженного излучения, координатно-чувствительный фотоприемник, блок обработки информации, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измере ний и быстродействия, он снабжен опорным фотоприемником, оптическая система отраженного излучения выполнена в виде расположенного по ходу отраженного излучения светоделителя, предназначенного для деления излучения на информационный и опорный потоки, и фокусирующей линзы, установленной по ходу информационного потока, координатно-чувствительный фотоприемник выполнен в виде пластины с линейным из"менением оптической плотности установленной в фокальной плоскости линзы, и широкополосного фотоприемника, оптически связанного с пластиной, выходы опорного и координатно- чувствительного фотоприемника соединены с соответствующими входами блока обработки информации, выполненного в виде блока деления, источник излучения выполнен в виде лазера, а объектив является общим для падающего и отРаженного излучений.