Сопло для струйного электрохимического травления и осаждения
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 148312
Авторы: Рубцов, Татаренков
Текст
Класс 48 а, 1 ю 4148312 СССР ЗОБРЕтЕНИйСВИДЕТЕЛЬСТВУ ПИСАНИЕ Н, АВТОРСКО Подписная группа Л" Рубцов и А. И, Татаренков СОП ТРУЙ НОГО ЗЛЕКТРОХИМ И Ч ЕСКОГО ТРАВЛ ЕН ИЯ И ОСАЖДЕНИЯ Заявлено 13 сентября 1961 г. за МКогиитет по яслаи изобретений и открытий при 4657/22оветс Министров СС Опубликовано в Б ллетене изобретений 11 2 за 1962 Известны сопла, применяемые для струйного электрохимического травления, например, в процессе изготовления германиевых триодов. Такие сопла представляют собой стеклянные трубки, сужающиеся на конце до необходимого диаметра (100 - 400 лк). Недостатком этих сопел является то, что они легко засоряются, а прочистка их является трудоемким процессом.Предлагаемое сопло отличается тем, что для устранения засорения его капиллярного отверстия оно выпо,",вено в виде двух вставленных одна в другую стеклянных трубок таким образом, что нагнетаемый в кольцевое пространство между этими трубками электролит перед поступлением в капилляр разделяется на рабочий и сливной потоки,Разность скоростей двух потоков, на которые разделяется электролит, предотвращает засорение капиллярного отверстия, так как все соринки проходят в сливной канал.На чертеже показано предлагаемое сопло.Сопло состоит из двух вставленных одна в другую с 1 еклянных трубок 1 и 2 с таким расчетом, что сечение кольцевого зазора 3 между трубками должно быть не меньше сечения канала, внутренней трубки, Капилляр 4 вклеен в центральное отверстие эпоксидной смолой. Канал капилляра строго цилиндрический, а внутренний его конец заправлен на конус.Электролит нагнетается в штуцер 5 и по кольцевому зазору между трубками течет в сторону капилляра. В верхней части электролит меняет направление течения и разделяется на две струи, Меньшая (lз, /1 ю) часть его устремляется в капилляр, а большая часть - через центральную трубку в сливной штуцер б. Чтобы попасть в капилляр, электролит проделывает сложный Я-образный путь, причем скорость электролита перед входом в капилляр возрастает обратно пропорционально эффективному сечению ответвляющейся в капилляр струи.148312 П редмет изобретения Сопло для струйного электрохимического травления и осаждения, отличающееся тем, что, с целью предотвращения засорения капилляра, оно выполнено в виде двух вставленных одна в другую стеклянных трубок таким образом, что нагнетаемый в кольцевое пространство между этими трубками электролит перед попаданием в капилляр разделяется на рабочий и сливной потоки. Составитель В. А, Иванов Редактор Н. Л. Корченко Техред Т. П. Курилко Корректор В. Андрианова Подп. к печ. 2.711-62 г. Формат бум, 70 М 108/мЗак. 7184 Тираж 1250ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий приМосква, Центр, М. Черкасский пер.,Объем 0,18 изд. л. Цена 4 коп. Совете Министров СССР д. 2/6.Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, 4. Путь электролита в сливной штуцер менее искривлен и скорость электролита не меняется.Присутствующие в электролите соринки под действием сил инер. ции проскальзывают, мимо входного отверстия капилляра. Некоторые соринки случайно могут заноситься потоком электролита в капилляр, но если соринка меньше входного отверстия, она не застревает в нем, так как капилляр имеет цилиндрическую форму канала, Большие соринки при прилипании к коническому концу капилляра не могут там долго оставаться вследствие неустойчивого их положения; они срывают ся с капилляра и уносятся в сливной канал,Применение сопел предлагаемой конструкции имеет наибольшую эффективность при замкнутом цикле движения электролита, то есть при непрерывной подаче его насосом из объема, в который возвращается отработанный электролит, Использование рекомендуемых сопел в устройствах, где электролит подается из замкнутого резервуара сжатым воздухом, менее эффективно, так как расход электролита в данном случае повышается в 5 - 10 раз.Проведенные испытания предлагаемых сопел показали, что при непрерывной работе в течение более одного месяца засорения сопел не наблюдалось. Применение указанных сопел позволит автоматизировать производство полупроводниковых приборов.
СмотретьЗаявка
744657, 13.09.1961
Рубцов И. Н, Татаренков А. И
МПК / Метки
МПК: B05B 1/10, C25D 5/08, C25F 7/00
Метки: осаждения, сопло, струйного, травления, электрохимического
Опубликовано: 01.01.1962
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-148312-soplo-dlya-strujjnogo-ehlektrokhimicheskogo-travleniya-i-osazhdeniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Сопло для струйного электрохимического травления и осаждения</a>
Компрессионный манометр типа мак-леода
Номер патента: 210434
Опубликовано: 01.01.1968
Автор: Иванов
МПК: G01L 21/04
Метки: компрессионный, мак-леода, манометр, типа
...воз вует на газ в этом капилляре под бо давлением, например 10 Р, а дойдя до ляра 3 - уже под давлением, например и т. д. При поднятии манометрическои жидкости в трубке 5 клапан б закроется, и в дальнейшем жидкость будет подниматься по капилляру 7 до тех пор, пока начнет выливаться в пространство между трубками б и 7. Таким образом, манометрическая жидкость в сравнительном капилляре автоматически устанавливается против вершин измерительных капилляров. Величину давления определяют с помощью известного квадратичного метода сразу на всех измерительных капиллярах, причем определяемые давления относятся между собой так же, как давления в момент отбора газа каждым капилляром. изображен опиманометр типа ическ онный з компр х капил щей бал б...
Устройство для отбора проб фильтрата
Номер патента: 1055984
Опубликовано: 23.11.1983
Авторы: Литковец, Мамаев, Пыхов
МПК: G01N 1/10
Метки: отбора, проб, фильтрата
...трубкой, а эластичные клапанЫ выполнены,в виде полых манжет,установленных на этих крышках.Причем патрубки для подачи агентадополнительной камеры и корпусаснабжены.обратными клапанами.На фиг. 1 изображено устройство, 35 продольный Разрез; на Фиг. 2 - Разрез А-А на Фиг. 1.Устройство состоит из корпуса 1,.приемной камеры 2 с крышкбй 3 йфильтрующего элемента 4. Корпус 1 40 содержит стакан 5 с крышкой б, центральную пробоотводную трубку 7 сотверстием 8 и шпилькой 9 в нижнейчасти, расположенную концентричноотносительно трубки 7, наружную труб ку 10 с патрубком 11 и отверстием 12для подачи сжатого воздуха (и промывки жидкости ) в полость стакайа 5 ифильтрулцего элемента 4, в приемнуюкамеру 2.К наружной поверхности трубки 10прилегает трубка 13...
Флотационная машина
Номер патента: 1544502
Опубликовано: 23.02.1990
Автор: Саркисов
МПК: B03D 1/14
Метки: флотационная
...машина имееттакже карман 19 со сливным патрубМом 20. В верхней части стенки вертикальной колонны 2 выполнен сливноййорог 21, Карман 19 через сливнойпорог 21 сообщен с объемом вертикальной колонны 2 и через сливной патрубок 20 - с объемом аэрационной камеры 4, Выходные концы 18 разгрузочных патрубков 6 выполнены с нако . 40лоном к горизонту оси 3 - 60 . Сливной порог 21 расположен выше уровнязагрузочного приспособления 1.Флотационная машина работает следующий образом,45Исходное питание с помощью загрузочного приспособления 1 поступает ввертикальную колонну 2 и примыкающуюк ней через переливную кромку сливную камеру 3. Из колонны 1 пульпа50через систему разгрузочных патрубков6 подается в верхнюю лесковую зону 12аэрационной камеры 4, а из...
Установка для газопламенного порошкового напыления
Номер патента: 1563776
Опубликовано: 15.05.1990
МПК: B05B 7/20
Метки: газопламенного, напыления, порошкового
...порошка в поперечном сечении канала 5 выравниваются и порошок равномерно поступает в порошковые сопла 3 и 4, Выйдя из этих сопел с небольшой скоростью, частицы порошка попадают в газовое пламя, где прогреваются до пластичного состояния и, ускоряясь в движении под воздействием динамического напора газового пламени, направляются на заранее подготовленную поверхность, сцепляются с ней при ударе и образуют сплошное покрытие.Минимальная скорость ввода порошка достигается, когда суммарная площадь всех порошковых сопел составляет 220 - 250 площадей сопла инжектора, при этом пе уменьшается производительность транспортирования порошка. При суммарной площади порошковых сопел более 250 площадей сопла инжектора увеличиваются расстояния между...
Регулятор расхода жидкости
Номер патента: 347740
Опубликовано: 01.01.1972
Авторы: Бушуев, Земцов, Кучеренко
МПК: G05D 7/01
Метки: жидкости, расхода, регулятор
...заданного расхода путем гидродинамического уравновешивания подвижных частей, выходная кромка золотника выполнена острой и образована пересечением наружной поверхности вращения и внутренней цилиндрической поверхности. Диаметр внутренней цилиндрической поверхности золотника равен диаметру меньшей цилиндрической направляющей сопла.На чертеже показан предлагаемый регуляЗаказ 2633/13 Изд.1104ЦНИИПИ Ксмитета по делам изобретеннГМосква, Ж, Ра Подписное ете Министров СССРТипография, пр. Сапунова,нием наружной конической В и внутренней цилиндрической Г поверхностей; при этом диаметр внутренней цилиндрической поверхности золотника 8 равен диаметру цилиндрической направляющей поверхности Б. Задняя торцовая поверхность стакана б и обращенная к...
Предыдущий патент: Пневматический неполно-поворотный лопастной двигатель
Следующий патент: Электролит для блестящего меднения
Случайный патент: Стабилизатор постоянного напряжения