Устройство для измерения геометрических параметров поверхностей

, 14 9 01 В 21,00 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ АВТОРСКОМУ ТЕЛ У(54) УСТРОЙСТВО ДЛ РИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРО (57) Изобретение о тельной технике и иено в машинострое ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТПОВЕРХНОСТЕЙ носится к измериожет быть примении при изготовлеГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ПЩТ СССР(21) 4069019 (22) 10.04.8 (46) 07.04.8 (71) Завод-в заводе.им, А институт АН (72) Г,Г.Зем С.К.Каушинис Н.Д,Морозова и С.Е.Солодо (53) 531,7 ( (56) Патент кл. 250-222,9, Бюл, Р 13тузприМосковском авто.И.Лихачева и ФизическийСССРсков, 10.Л.Бессонов,В.Н.Макухин,П,А.Скролисв088,8)США Р 3550839,нии и контроле изделий сложной формы,Цель изобретения - упрощение, повышение чувствительности и точности за .счет устранения погрешностей установки точечной диафрагмы в фокусе объектива путем использования пространственной модуляции светового пучка спомощью системы регистрации. Излучение источника 1 оптического излучения коллимируется объективом 2, Спомощью объектива 3 излучение фокусируется на поверхности объекта, установленного на платформе 4, Отраженное излучение через светоделитель 6и объектив 7 фокусируется на систему 8 регистрации. Результат измерения регистрируется с помощью осциллографа 10 и цифрового мультиметра11, 1 ил,1471069 20 Формула изобретения Составитель В,ЧулковТехред А.Кравчук Корректор А.Обручар Редактор В.Петраш Заказ 580/44 .Тираж 683 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 Изобретение относится к измерительной технике и может бить применено в машиностроении при изготовлении и контроле изделий сложной формы,Цель изобретения - упрощение,увеличение чувствительности и повышение точности эа счет устранения погрешностей установки точечной диафрагмы в фокусе модуляции светового пучка с помощью системы регистрации.На .чертеже приведена блок-схема устройства для измерения геометрических параметров поверхностей.Устройство содержит источник 1 оптического излучения, первый 2 и второй 3 объективы, платформу 4,предназначенную для установки на нейобъекта измерения, оптический столик 5, светоделитель 6, третий объектив 7, систему 8 регистрации, усилитель 9, осциллограф 10, цифровой мультиметр 11, источник 12 питания, генератор 13 импульсов.Излучение источника 1 оптического излучения (промышленный лазер ИЛПНколлимируется первым объективом 2 (ЛОМО 9 х 0,20) и фокусируется объективом 3 ЛОМО 20/1,5) на эталонные пластинки, установленные на платформе 4, размещенной на оптическом столике 5, при этом обеспечивается перемещение объекта изме" рения вдоль оптической оси луча.Светоделитель 6 направляет часть отраженного излучения, собранного объективом 3,на объектив 7 (ЛОМО 9 х х 0,20).Эта часть светового потока, фокусируется в активную область системы 8 регистрации, выполненной в виде ннжекционпого лазера, работающегов фотодиодном режиме, фототок этоголазера усиливается усилителем 9 ирегистрируется осциллографом 10 ицифровым мультиметром 11, Питаниелазера осуществляется источником 12постоянного тока и генератором,обеспечивающим модуляцию излучения.10 В качестве источника 1 оптического излучения н системы 8 регистрацимогут быть использованы инжекционные лазеры ИЛПН, первогообъектива - объектив ЛОМО 9 х 0,20,15 второго объектива - ЛОМО 20/1,5,третьего объектива - ЛОМО 9 х 0,20,усилителя 9 - У 2-9, осциллографа10 - С 1-68, цифрового мультиметра11 - 1514300,Устройство для измерения геометрических параметров поверхностей, 25 содержащее источник излучения, установленные по ходу светового луча первый объектив, светоделитель и вто" рой объектив, оптически связанные со светоделителем и последовательно 30 установленные третий объектив и систему регистрации, о т л и ч а ю - щ е е с я тем, что, с целью упрощения, увеличения чувствительности и повышения точности, система регистрау ции выполнена в виде инжекционноголазера с апертурой,.равной апертуре источника излучения, и установлена в фокусе третьего объектива на расстоянии от светоделителя, равном рас стоянию от источника излучения досветоделителя.