Способ испытания изделий на герметичность

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК ЯО 1420 ю 4 60 М 34 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ СВИДЕТЕПЬСТ Н АВТОРСН ЕЛ ехнике ния - преде- излучефДь ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54) СПОСОБ ИСПЪТАНИЯ ИЗДНА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ(57) Изобретение относится квакуумных испытаний. Цель изобретповышение информативности путемления геометрии течи. Возбуждают ние проникающего через течь 7 газа, регистрируют угловые координаты факела возбужденного ультрафиолетового излучения посредством сканирования детектора 4 ультрафиолетового излучения и по форме и наклону факела судят о геометрии выходного отверстия течи. Если течей несколько, то последовательно все они герметизируются. Затем каждую по очереди разгерметизируют и исследуют ее геометрию, а затем вновь герметизируют. Величину потока через найденные течи определяют способом накладных вакуумных камер 12, используя течеискатель 13. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.1420423 10 Формула изобретения Составитель П. Зимин Редактор А. Золинич Текред И. Верес Корректор В. Гирняк Заказ 4320/45 Тираж 847 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 13035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная,4Изобретение относится к технике вакуумных испытаний.Цель изобретения - повышение информативности путем определения геометрии течи.На чертеже представлена схема реализации способа испытания изделий на герметичность.Схема содержит изделие 1, имеющее коллектор 2, штангу 3 перемещения с устройством ввода в вакуум, детектор 4 ультрафиолетового излучения, диафрагменное устройство 5, задающее переменный угол 6 поля зрения вокруг места течи 7. Направление сканирования детектора 4 ультрафиолетового излучения показано координатами 8. Кроме того, схема включает устройство 9, возбуждающее и поддерживающее тлеющий разряд, пульт 10 управления и индикации, контрольную течь 11, накладную вакуумную камеру 12, масс-спектрометрический течеискатель 13,Способ испытания изделий на герметичность осуществляется следующим образом,Изделие 1, подлежащее проверке, откачивают через коллектор 2. Первоначально давление в изделии падает до 10 - 20 торр. С пульта 10 управления и индикации включают устройство 9 возбуждения и поддержания тлеющего разряда. Светимость плазмы определяется плотностью остаточного газа, а максимум спектральной плотности лежит в области вакуумного ультрафиолета.Сканируя детектором 4 ультрафиолетового излучения, исследуют внутреннюю поверхность изделия 1. Угол 6 поля зрения детектора выставляют диафрагменным устройством 5 в зависимости от сектора сканирования. Определяют координаты 8 наибольшей яркости сканирования и по ним определяют положение течи 7 на внешней стенке изделия 1. Найденную течь 7 закрывают снаружи накладной вакуумной камерой 12, откачивают ее масс-спектрометрическим течеискателем 13, одновременно контролируя сигнал яркости от течи 7 на пульте 10 управления и индикации. Погашение сигнала подтверждает найденную течь и одновременно с этим вызывает необходимость коррекции напряжения разряда для вновь установившегося динамического равновесия газа. Далее производят осмотр при более низком уровне натекания,Повторяя этот цикл многократно, ликвидируют течи определенного порядка, пока 15 20 25 30 35 40 45 2не будет достигнута требуемая герметичность, Затем устройство 9 возбуждения и поддержания тлеющего разряда и детектор 4 ультрафиолетового излучения выключают, изделие 1 заполняют пробным газом и регистрируют количественные величины потоков газа масс-спектрометрическим течеискателем 13 в каждой из установленных накладных вакуумных камер 12.Точность определения места течи 7 повышается, если произвести калибровку детектора 4 ультрафиолетового излучения по контрольной течи 11, расположенной в удобном для наблюдения месте,После определения с помощью массспектрометра величины течей вновь откачивают изделие 1. Поочередно открывают накладные вакуумные камеры 12, поджигают тлеющий разряд, сканируя детектором 4 ультрафиолетового излучения, определяют форму факела свечения у его основания, т. е. в зоне выходного участка течи. По наклону факела к поверхности изделия 1 и известной координате течи определяют отклонение течи 7 от нормали к поверхности. 1. Способ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что возбуждают излучение газа, проникающего через течь в стенке изделия в вакуум, определяют интенсивность факела возбужденного ультрафиолетового излучения и место его расположения, по которым судят соответственно о величине и месте течи, отличающийся тем, что, с целью расширения информативности путем определения геометрии течи, излучение газа возбуждают путем создания в нем тлеющего разряда, регистрируют угловые координаты факела, по которым судят об угловых координатах выходного участка течи.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения точности при наличии нескольких течений, после определения величины и места течи ее герметизируют, поддерживают существование тлеющего разряда, продолжают поиск до полного устранения всех течей, разгерметизируют одну течь и после регистрации угловых координат ее факела повторно ее герметизируют, и повторяют операции разгерметизации и герметизации для всех обнаруженных течей.