Способ измерения ширины линий рисунка на объектах с прозрачными и непрозрачными зонами

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН 2 1)5 С 01 Т ИС ИЯ нозем ство СССР02, Ог.1,8РИНЫ ЛИНИЙОЭРАЧНЫМИ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТ К АВТОРСКОМУ(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШИРИСУНКА НА ОБЪЕКТАХ С ПИ НЕНРОЭРАЧНЫМИ ЗОНАМИ(51) Изобретение относирительной технике, в часобам измерения ширины ЕТЕЛЬСТВУ ся к изметности к споинии рисунка на объектах, содержа непрозрачные зоны, н шаблонах для Литогра тения - повышение то ширины непрозрачных изменения Поляризациизмерениях непрозрач освещают линейно пол хроматическим электр лучением с вектором пряженности, паралле измеряемой линии. щих прозрачные иапример на фотофии. Цель изобре"чности измерениялиний эа счети излучения. Приных линий объектяризованным моноомагнитным изэлектрической нальным границам14 Ого 2 б 1- 1 мЬ (для прозрачной 1 е 1 млинии) ле,ВНИИПИ Заказ 2828 ТиРаж б 04 Подписное Произв.-полигр. пр"тие, г. ужгород, ул. Проектная, 4. Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам измерения ширины линий рисункаца объектах, содержащих прозрачныеи непрозрачные зоны, например нафотошаблоцах для литографии,Цель изобретения - повышение точцости измерения ширины непрозрачных.линий за счет изменений поляризацииизлучения,На чертеже цзображец пример выбора участков для измерения на фотошаблоне,Осуществляется описываемый способследующим образом.Объектом с проэрачцыыи и непрозрачными эонамц может быть, например, фотошаблоц для литограФии, состоящий из кварцевой подложки с 20тонким 0,1 мкм) хромовым покрытием.Измерения могу быть проведены с ис"пользованием микроскопа-фотометраИРУСД и оптического излучения с длиной волны 0,54 б мкм (зеленая линия). 25Освещают измеряемый объект электромагнитным моцохро апатическим излучением, линейно поляризованнымтак, что в случае измерения прозрачной липни ее границам был бы параллелен вектор магнитной напряженности,а в случае измерения непрозрачнойлинии - вектор электрической напряженности, Практиче ки используетсяодин и тот же источник линейно по"ляризованного излучения. Векторымагнитной и электрической напряженности в электромагнитной волне перпендикулярны друг другу, Последова-тельно измеряют ицтенсивности из"лучения прошедшего через три одинаковых по размерам прямоугольных участкаизмеряемого объекта,Один участок выбирают на проэрач"ной зоне объекта, другой участок 2 -на непрозрачной, а третий участок 3включает часть измеряемой линии с.частью зоны объекта, контактирующейс этой частью линии и противоположной ей по свойствам пропускания излучения, одна пара сторон третьегоучастка параллельна линии, а другаяпересекает ее.Ширину ливии определяют по формуЬ для непрозрачной1. - 1линии), где й - ширина измеряемой линии;1 - интенсивность излучения, прошедшего через участок на прозрачной зоне объекта;1 - интенсивность излучения, прошедшего, через участок ца непрозрачной зоне объекта;1- интенсивность излучения, прошедшего через участок, содержащий Часть измеряемойлинииЬ - длина стороны участка, перпендикулярной измеряемойлинии. Формула и э о б р е т е н и яСпособ измерения ширины линий рисунка на объектах с прозрачными и непрозрачными зонами, например на фотошаблойах для литографии, заключающихся в том, что освещают объект при измерении прозрачных линий электромагнитным монохроматичцым излучением, линейно поляризованным так, что вектор магнитной напряженности излучения параллелен границам измеряемой линии, измеряют интенсивность иэлуче ния, прошедшего через три одинаковых по размерам прямоугольных участка измеряемого объекта, один из которых выбирают на непрозрачной зоне, другой " на прозрачной, третий включает часть измеряемой лиции с частью зоны объекта, контактирующей с этой частью линии и противоположной ей по свойствам пропускания излучения, одна пара сторон третьего участка параллельна линии, а другая, пересекает ее, и с учетом измеренных интенсивностей определяют ширину линии, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повьвения точности измерения ширины йепроэрачных линяй за счет изменения поляризации излучения, при измерении непрозрачных линий используют излучение с вектором электрической напряженности, параллельным границам измеряемой линии.