Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов

Номер патента: 1357704

Авторы: Голиков, Гурари, Прытков

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1/24 9/О 51)4 С ПИСА ЬСТВУ У 45М.Л. Гурари ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ АВТОРСКОМУ СВИДЕ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЗЕРКАЛЬНЫХОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ(57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности кустройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов, Цель изобретенияповышение помехозащищенности за счекомпенсации фазовых возмущений,вносимых в предметный пучок, привибрациях отражателя. Устройство содержит источник 1 когерентного излучения и светоделитель 2, связанныйоптически с системами формированияопорного и предметного пучков, атакже два плоских зеркала 7 и 9, установленных напротив отверстия 8,выполненного в рассеивателе 5, 1 ил1357704 Формула изобретения Составитель Л.Лобзова Техред А.Кравчук Редактор Г.Волкова Корректор 0Кравцова Заказ 5986/37 Тираж 677 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проня гнал, 4 Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения геометрическихпараметров зеркальных оптических элементов таких, как их радиусы кривизны или локальные отступления поверхности от заданной формы и являетсяусовершенствованием известного устройства по авт.св. У 593070,Цель изобретения - повышение помехозащищенности устройства за счеткомпенсации фазовых возмущений вносимых в предметный пучок при вибрациях отражателя.На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого устройства для измерения геометрическихпараметров зеркальных оптическихэлементов,Устройство состоит из последовательно расположенных источников 1когерентного излучения и светоделителя 2, связанного оптически с системами формирования опорного и предметного пучков. Системы формированияпредметного пучка включают в себяблок 3 освещения и сигнальный канал,состоящий из отражателя 4, рассеивателя 5 и регистратора 6 (фотопластинка). Система формирования опорногопучка включает плоское зеркало 7,отверстие 8 в рассеивателе 5, отражатель 4, плоские зеркала 9 и 10 ирасширитель 11 пучка. Отверстие 8вблизи центра рассеивания имеет небольшие размеры, достаточные дляпрохождения нерасширенного пучкалазера (несколько миллиметров). Отражатель 4 установлен на подвижнойкаретке механизма 12 сдвига. Расстояние между отражателем 4 и рассеивателем 5 меньше фокусного расстояния отражателя 4,Устройство работает следующимобразом. Освещают от источника 1 когерентного излучения рассеиватель 5 и расположенный эа ним отражатель 4 предбметным пучком прошедшим через светоФделитель 2 и блок 3 освещения. Затемотраженное и рассеянное излучениеподают на регистратор 6 одновременно с опорным пучком, прошедшим отисточника 1 когерентного излучениячерез светоделитель 2, зеркало 6,отверстие 8, отражатель 4, снова -через отверстие 8, зеркала 9 и 10и расширитель 11, На регистраторе 6записывают голограмму, обрабатываютее без смещения регистратора 6 сместа экспозиции, На этапе восстановления включают одновременно предметный и опорный пучки и через голограмму, записанную на регистраторе 6,наблюдают восстановленное изображение рассеивателя 5. После этого производят сдвиг отражателя 4 посредством механизма 12 сдвига, наблюдаютголографическую интерферограммусдвига, по которой судят о геометрических параметрах отражателя 4. Фазовые возмущения, вносимые в предметный пучок при вибрациях отражателя 4, в значительной мере. компенсируются такими же возмущениями, вносимыми одновременно и в опорный пучок. Устройство для измерения геометЗ 5 рических параметров зеркальных оптических элементов по авт,св.Ф 593070,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью повышения помехозащищенностиустройства, оно снабжено двумя плосФкими зеркалами, в рассеивателе выполнено отверстие, зеркала установлены напротив отверстия, одно - напути отраженного от светоделителяизлучения, а другое - на пути отраженного от отражателя излучения,

Смотреть

Заявка

4090673, 26.05.1986

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8584

ГОЛИКОВ АЛЕКСАНДР ПАВЛОВИЧ, ГУРАРИ МАРК ЛАЗАРЕВИЧ, ПРЫТКОВ СЕРГЕЙ ИГОРЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 11/24, G01B 9/021

Метки: геометрических, зеркальных, оптических, параметров, элементов

Опубликовано: 07.12.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1357704-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-geometricheskikh-parametrov-zerkalnykh-opticheskikh-ehlementov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов</a>

Похожие патенты