Способ получения вакуума и устройство для его осуществления

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН 80134493 А 1 б 1)4 Р 04 В 37 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН Д ВТОРСЯОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ УУМА И УСТ- ИЯ е а ользоионных изобре конденс а ф-лы,с тижеГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАК РОЙСТВО ДЛЯ,ЕГО ОСУ 1 ЦЕСТВЛЕ (57) Изобретение м.б. ис вано в криогенных конденса форвакуумных насосах. Цель тения - уменьшение времени ния предельного вакуума. Между теплообменником (ТО) 4 предварительногоохлаждения газа и откачивающим элементом установлен промежуточный ТО 8.В сборникежидкого конденсата размещен второй трубчатый ТО 9, сообщенный с сосудом 3 для хладагентатрубным пространством 10. Криогенныйнасос 1 подключен к пространству10 и сосуду Э. Предварительно ох -лаждают откачиваемый газ в ТО 4, азатем до т-рь насыщения в ТО 8, конденсируют его на поверхности откачивающего элемента и собирают конденсатв сборнике 7, причем кощенсат охлаждают до т-ры хладагента в сосуд3, ТО 9 интенсиФицирует охлаждение та и уменьшает испарение гаерхности конденсата, 2 с,н.ил,Изобретение относится к вакуумнойтехнике и может быть использовано вкриогенных конденсационных Форвакуумных насосах.5Целью изобретения является уменьшение времени достижения предельноговакуума.На чертеже изображено устройстводля реализации предлагаемого способа получения вакуумаУстройство для получения вакуумасодержит корпус 1 с всасывающим патрубком 2, размещенный в корпусе 1 сосуд 3 для хладагента, последовательно 15расположенные по ходу откачиваемогогаза теплообменник 4 предварительного охлаждения газа и откачивающийэлемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника 5, межтрубное пространство 6 которого сообщено с сосудом 3, и сборник 7 конденсата, причемустройство дополнительно содержит промежуточный теплообменник 8, установленный между теплообменником 4 предварительного охлаждения газа и откачивающим элементом, второй трубчатыйтеплообменник 9, размещенный в сборнике 7 жидкого конденсата и сооб;ценный с сосудом 3 трубным пространст- ЗОвом 10, и подключенный к последнемуи сосуду 3 криогенный насос 11.Способ получения вакуума осуществляют следующим образом.Предварительно охлаждают откачи- д 5ваемый газ в теплообменнике 4, конденсируют его на поверхности откачивающего элемента и собирают конденсат в сборнике 7, причем охлаждаютоткачиваемый газ до температуры насыщения, а. конденсат охлаждают до температуры хладагента,При работе сосуд 3 и межтрубноепространство 6 теплообменника 5 заполняют хладагейтом, охлаждая откачивающий элемент, а также теплообменник 4 предварительного охлаждения,промежуточный теплообменник 8 и второй трубчатый теплообменник 9. Включают криогенный насос 11,хладагент 50начинает циркулировать внутри сосуда3. Температуру хладагента. в сосуде3 понижают до рабочего значения,Соединяют камеру с Форвакуумным насосом (не показан). Газ из камеры поступает во всасывающий патрубок 2 ипредварительно охлаждается в теплообменнике 4 предварительного охлаждения газа, а затем охлаждается до температуры насыщения в промежуточном теплообменнике 8 Попадая в откачивающий элемент, газ конденсируется и .стекает в сборник 7 конденсата. Во время откачки конденсат стекает в сборник 7 при температуре насыщеения, По мере снижения давления газа в устройстве температура пленки конденсата понижается. Одновременно уменьшается масса конденсата, образующегося в откачивающем элементе. Теплообменник 9 интенсиФицирует охлаждение конденсата в сборнике 7 до температуры хладагента в .сосуде 3, снижает испарение газа с поверхности конденсата, В результате уменьшается время достижения предельного вакуума,Ф о р м у л а и 3 о б р е тания1, Способ получения вакуума путем предварительного охлаждения откачиваемого газа в теплообменнике, конденсации его на поверхности откачивающего элемента и сбора конденсата, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения временидостиженин предельного вакуума, охлаждение откачиваемого газа осуществляют до температуры насыщЕния а конденсат охлаждают до температуры хладагента.2, Устройство для получения вакуума, содержащее корпус с всасывающим патрубкам размещенный в корпусе сосуд для хладагента, последовательно расположенные по ходу откачиваемого газа теплообменник предварительного охлаждения газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника, межтрубное пространство которого сообщено с сосудом, и сборник конденсата, о т л ич а ю щ е е с я тем что, с целью уменьшения времени достижения предельного вакуума, устройство дополнительно содержит промежуточный теплообменник, установленный между теплообменником предварительного охлаждения газа и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник, размещенный в сборнике жидкого конденсата и сообщенный с сосудом трубным пространством,и подключенный к последнему и сосуду криогенный насос,