Устройство для испытаний изделий на герметичность

, 1310 РЕСПУБЛИ И 9) 504 С 01 М 3/О ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ ОПИСА ЗОБРЕТЕНИЯ ЬСТВ 5-28(21) 39359 (22) 29.07 (46) 15.05 (7 2) В.П. К В.П.Лунчев (53) 620.1 (56) Патен кл. С 01 М У 18В.И.Куприянов,баров и Г,Н.Швед8. 8)и 9 2475728,981,87, БюляковкиЕ.В.Ч5,29(0Франци3/02,(54) УСТРОЙСТВО ДПЯ ИСПЬЕАНИЙ ИЗДЛИЙ НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ(57) Изобретение относится кконтроля герметичности иэделий мспектрометрическим методом и по ет повысить чувствительность коля. Устройство содержит последов области ссзволя итров АВТОРСКОМУ С тельно соединенные вакуумную камеру1, адсорбционный насос 6, масс-спектрометрическую камеру 8, диффузионный насос 10 и механический насос14. Выход диффузионного насоса 10соединен с входной магистралью 4 перед адсорбционным насосом 6. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 6 многократно поглощаетвсе атмосферные газы в циркулирующем потоке, кроме водорода и гелия,и уменьшает фоновый сигнал течеискателя. Устройство позволяет накапливать пробный газ в системе, чтообеспечивает измерение малых величинтечей. 1 з.п. ф-лы, 1 ил,Составитель В. ЧерноусовРедактор К.Волощук Техред Н, Глущенко Корректор М,Шароши Заказ 1881/37 Тираж 777 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 1 131Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом.Целью изобретения является повышение чувствительности путем многократного выделения пробного газа из циркулирующего потока газов перед подачей его в масс-спектрометрическую камеру.Устройство для испытания изделий на герметичность содержит камеру 1 с расположенным внутри нее испытываемым изделием 2, соединенную через вентиль 3 с одним концом входной магистрали 4, второй конец которой через вентиль 5 соединен с входом адсорбционного насоса 6, выход которого через вентиль 7 соединен с входом масс-спектрометрической камеры 8. Выход последней через вентиль 9 соединен с входом диффузионного насоса 10, выход которого через вентиль 11 соединен с одним концом трубопровода 12, который через вентиль 13 соединен с механическим насосом 14, другой конец которого соединен с трубопроводом 4,Устройство работает следующим образом.Изделие 2 помещают в камеру 1, открываютвентили 3 и 13 и вакуумируют камеру 1, магистраль 4 и трубопровод 12. Открывают вентиль 11, включают диффузионный насос 10 и открывают вентиль 9. Откачивают масс-спектрометрическую камеру 8, Закрывают вентиль 13 и заполняют изделие 2 контрольным газом. В адсорбционный насос 6 заливают жидкий азот и открывают вентили 5 и 7. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 6 поглощает все атмосферные газы, кроме во 0657 2 дорода и гелия,и уменьшает фоновый сигнал течеискателя. Откачиваемая смесь газов, проходя через масс-спектрометрическую камеру 8, регистрируется последней и откачивается диффузионным насосом 10, Откачиваемая адсорбционным насосом 6 смесь газов снова попадает в последний, а затем в масс-спектрометрическую камеру 8.10 Путем циркуляции откачиваемой смесигазов в замкнутом контуре системы испытаний происходит многократное увеличение концентрации пробного газа в масс-спектрометрической камере 8, 15 по величине которой судят о негерметичности изделия. При этом весь по- ток пробного газа проходит через камеру 8, что дополнительно повышает чувствительность.20Формула из о бретения 1. Устройство для испытаний изделий на герметичность содержащее входную магистраль, соединенную с неймасс-спектрометрическую камеру, диффузионный и механический насосы, входдиффузионного насоса соединен с входной магистралью, а выход - с механи ческим насосом и входной магистралью,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, сцелью повышения чувствительности,оно снабжено адсорбционным насосом,установленным на входной магистрали 35 между местом подсоединения выходадиффузионного насоса и масс-спектрометрической камерой.2. Устройство по п. 1 о т л ич а ю щ е е с я тем, что масс-спект рометрическая камера размещена междуадсорбционным и диффузионным насоса