Устройство для определения размера лазерного луча

(5 4 С 01 В 11 08 НИЯ етнииения спект 8, с,О. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ПИСАНИЕ ИЗОБР Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Хромов А.В. Об измерров пучков лазерного иэлумощью решетки. - Оптика ископия. Вып.2. 1980, т. 4 юл. В 48итехнический инсти(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗМЕРА ЛАЗЕРНОГО ЛУЧА(57) Изобретение относится к измерительной технике, области измеренийпараметров лазерного излучения.Целью изобретения является повьппение производительности и точности определения размеров лазерного луча за счет того, что измеряемой величиной является контраст дифракционной картины. Матовый рассеиватель 1, освещаемый измеряемым лазерным лучом, формирует вторичный источник света, дифрагирующего на амплитудном модуляторе 2. Контраст дифракционной картины определяется с помощью вращающегося вокруг оптической оси пространственного фильтра 4, выполненного в виде радиальных щелей с углоо вым расстоянием между ними 45 и расположенного в плоскости изображения объектива 3, и фотоприемника 5, связанного с электронным блоком регистрации. 1 ил.128031 Формула из о бр ет ения Составитель Ю.Миронов Редактор А.Огар Техред М,Ходанич Корректор О.Луговая Заказ 7047/39 Тираж 670 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерений параметров лазерного излучения,Цель изобретения - повышение производительности Й точности определения размеров лазерного луча эа счет того, что измеряемой величиной является контраст дифракционной картины. 10На чертеже показана принципиальная схема предлагаемого устройства.Устройство содержит размещаемыепо ходу измеряемого луча матовыйрассеиватель 1, установленный перед 15амплитудным модулятором 2, объектив3, расположенный за модулятором 2,пространственный фильтр 4, установленный с воэможностью вращения вокруг оптической оси устройства, выпол- Лненный в виде радиальных щелей с углоовым расстоянием между пими 45 ирасположенный в плоскости изображения, и фотоприемник 5, Модулятор 2выполнен в виде двумерной периодической структуры круглых отверстийв непрозрачном экране,Устройство работает следующим образом.30 С помощью матового рассеивателя 1, освещаемого измеряемым лазерным лучом, создается вторичный источник излучения, свет от которого дифрагирует на двумЕрной периодической структуре круглых отверстий модуля 35 тора 2, Контраст картины дифракции рассеянного света, формируемого матовым рассеивателем, определяется пространственной когерентностью рассеян ного излучения, которая, в свою очередь,.; зависит от поперечного размера измеряемого луча и расстояниямежду матовым рассеивателем 1 и модулятором 2. Связь между контрастом Ч дифракционной картины, размером Р источника и расстоянием Ь между шаговым рассеивателем 1 и модулятором 2 определяется выражением, получен 3 2ным на основании теоремы Ван Циттерта-Уернике 1(1)где К(У) - коэффициент, зависящий отконтраста дифракционнойкартины;9 - длина волны;Й - период двумерной структуры модулятора.Измерение контраста картины, осуществляют вращающийся пространственный фильтр 4 и фотоприемник 5,При вращении пространственногофильтра 4 радиальные щели одновременно пересекают максимумы либо минимумы светового распределения, при этомна фотоприемник 5 падает пульсирующий поток излучения. Изменяя расстояние между модулятором 2 и матовымрассеивателем, устанавливают градуировочное значение контраста , а размер сечения лазерного луча определяют по формуле (1) с соответствующимградуировочным значением. Согласноформуле (1) шкалу расстояний Ь можно проградуировать в значениях ротора лазерного луча. Устройство для определения размера лазерного луча, содержащее амплитудный модулятор и фотоприемник, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и точности измерений, оно снабжено размещаемыми, по ходу измеряемого луча установленным перед модулятором матовым рассеивателем, объективом, расположенным за модулятором, и пространственным фильтром, установленным с возможностью его вращения вокруг радиальных щелей с угловым расостоянием между ними 45 и расположенным в плоскости изображения, модулятор выполнен в виде двумерной пернодической структуры круглых отверстий в непрозрачном экране.