Устройство для распыления жидкости

Номер патента: 1242249

Авторы: Газецкий, Лившиц

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИН 801242 504 В 05 В 1 ЗО( ИЯ И., АНИЕ ИЗОБРЕТ 94466, кл. 239 Ж ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ ЖИДКОСТИ, содержащее полый корпус с равномерно расположенными на внутренней поверхности отверстиями и выполнен ным на наружной поверхности по образующей корпуса пазом, сообщающимся с отверстиями, отличающееся тем, что, с целью повышения качества распыления путем повышения скорости движения жидкости в струе, корпус выполнен составным из втулки и размещенного в ней стакана, а отверстия выполнены в последнем с продольным сечением в виде трапеций, большие основания которых обращены к пазу, при этом паз выполнен с поперечным сечением в виде трапеции, обращенной большим основанием к отверстиям.1242249 гьИерс Составите.Техред И. ВТираж 681ИИПИ Государственнпо делам изобретег5, Москва, Ж - 35,ППП Патент, г. У МороаоваКорректор ЛПодписноекомитета СССРи открытийская наб., д. 4/5д., ул. Проектная,Редактор А. СабоЛ а к аа 3645,13В 1 атай иибаушигор 1130 ФилиалИзобретение относится к технике распыления жидкости и может быть использовано в полупроводниковом производстве для распыления проявляющегося раствора при фотолитографической обработке. Цель изобретения - повышение качества распыления путем повышения скорости движения жидкости в струе.На фиг. 1 изображено устройство для распыления жидкости, сечение вдоль оси отверстий; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение Б - Б на фиг. 1.Устройство для распыления жидкости содержит полый корпус, выполненный составным из втулки 1 и размещенного в ней стакана 2, и имеющий на внутренней поверхности отверстия 3 и выполненный на наружной поверхности по образующей корпуса паз 4, сообщенный с отверстиями 3.Отверстия 3 выполнены в стакане 2 с продольным с;чением в виде трапеций, больш ие основания которых обращены к пазу 4, при этом паз 4 выполнен с поперечным сечением в виде трапеции, обращенной большим основанием к отверстиям 2. Причем наиболее хорошие результаты работы устройства достигаются в том случае, если величина большего основания трапеции паза 4 выбрана равной диаметру д меньшего основания отверстий 3, а отношение диаметра меньшего основания отверстий 2 к величине меньшего основания трапеции паза выбрано не более 1,5.Устройство работает следующим образом.Жидкость, например проявляющий раствор, под давлением подается в полость втулки 1 и оттуда попадает в полость стакана 2. Через отверстия 3 она распыляется наружу в виде струи. Благодаря форме отверстий 3 уже на входе в паз 4 струи от каждого отверстия 3 преобразуются в линейную струю, скорость движения жидкости в которой несколько меньше на выходе, чем на входе. Благодаря тому, что форма паза 4 имеет на выходе сечение в 1,5 раза меньше е, чем на входе, скорость движения 20 жидкости в линейной струе при отрыве отвтулки 1 увеличивается, что значительно улучшает качество распыления за счет стабилизации ламинарности и равномерности потока.

Смотреть

Заявка

3842073, 21.11.1984

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4066

ЛИВШИЦ ДАВИД ИОСИФОВИЧ, ГАЗЕЦКИЙ ВИТАЛИЙ АНТОНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B05B 1/14

Метки: жидкости, распыления

Опубликовано: 07.07.1986

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1242249-ustrojjstvo-dlya-raspyleniya-zhidkosti.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для распыления жидкости</a>

Похожие патенты