Датчик вакуума
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1203388
Автор: Бандурина
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ЯО 1)4 601 1. 21 12е свидетельство ССС л. 6 01 1 9/04, 1976 СУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ САНИЕ ИЗОБР Д ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54) 57) .1 АТЧИК ВАКУУМА, содержащий подложку иэ диэлектрика, на которуго нацсссн чувствительный элемент, расположенный между двумя омичсскими контактами, атличаюи 1 ссссся тем, что, с цсльк) повышения чувствительности, чувствительцый элемст в цем выполнен иэ аморфной гсрмзнисвой пленки, а сторона каждого омического контакта, обращенная к чувствительному элементу, выполнена в виде идентичных греоецок, расположенных одна в другой.1203388 Состанптед В. казакин Редактор г 1. Зайцева Техред И Вере Корректор Т Колб Заказ 848145 1 ираж 896 11 оиписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Изобретение относится к области измерения вакуума.Цель изобретения - повышение чувствительностии.На фиг.1 изображен датчик в плане; на фиг.2 - то же, разрез.Датчик вакуума содержит диэлектрическую подложку 1, на которую чувствительный элемент в виде аморфной германиевой пленки 2. На краях пленки расположены два металлических контакта 3, каждая из сторон которого, обращенная к чувствительному элементу, выполнена в виде идентичных гребенок, расположенных одна в другой.Толщина чувствительного элемента подбиралась так, чтобы объемная проводимость не экранировала изменение поверхностной. Для полупроводников эта величина составляет порядка 0,1 мкм.Работа датчика осуществляется следующим образом.Предварительно определяется начальное сопротивление при атмосферном давлении. После начала вакуумирования фиксируется величина сопротивления. Относительное изменение сопротивления является функцией давления (разряжения).Таким образом, использование аморфного германия и контактов специальной формы позволяет увеличить чувствительность зг счет снижения сопротивления датчика и повысить срок его годности.
СмотретьЗаявка
3632306, 03.08.1983
ОДЕССКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ПИЩЕВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ ИМ. М. В. ЛОМОНОСОВА
БАНДУРИНА ЛЮДМИЛА ТИХОНОВНА
МПК / Метки
МПК: G01L 21/12
Опубликовано: 07.01.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1203388-datchik-vakuuma.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик вакуума</a>
Предыдущий патент: Мембранный манометр
Следующий патент: Магниторазрядный датчик давления
Случайный патент: Устройство для определения поверхностного натяжения жидкости