Способ детектирования молекул в атмосфере неизмеряемого компонента

(51)4 С 01 Я 27/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ( СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(56) Гершензон Ю.М., Егоров В.И.Розенштейн В.Б. Определение коэффициента аккомодации колебательнойэнергии молекул азота на поверхности молибденового стекла. - Химиявысоких энергий, 1973, т. 7, В 6,с. 533-536.Поспелова И.Н., Мясников И.А.Полупроводниковые детекторы на атомы водорода и другие активные частицы, - Заводская лаборатория, 1971,В 10, с. 1202-1205.(54)(57) СПОСОБ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ МОЛЕКУЛ В АТМОСФЕРЕ НЕИЗМЕРЯЕМОГОКОМПОНЕНТА путем измерения электропроводности помещенного в эту атмосферу чувствительного элемента, изготовленного в виде полупроводниковой пленки окисла металла, нанесенной на подложку и предварительно запассивированной в отношении неизмеряемого компонента, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности детектирования колебательно-возбужденных молекул, перед измерением изменяют температуру чувствительного элемента и при каждом значении температуры на чувствительный элемент подают калибровочные смеси газов, содержащие известные концентрации колеба- , юФ тельно-возбужденных молекул, находят температуру, при которой сигнал, изменения электропроводности чувствительного элемента прямо пропорционален концентрации колебательно-возбужденных молекул, и при этой температуре производят измерение.1185207 ВНИИПИ Заказ б 35 б/39 Тйраж 896 ПодписноеФилиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4 Изобретение относится к газовому анализу и может быть использовано с целью детектирования различных колебательно-возбужденных молекул в среде невозбуждецных молекул, 5Целью изобретения является повышение чувствительности детектирования колебательно-возбужденных молекул.Как показали исследования, данный 10 способ детектирования молекул обеспечивает измерение концентрации колебательно-возбужденных молекул в исследуемой смеси с максимальной чувствительностью, 15П р и и е р 1. Детектирование колебательно в возбужденн молекул кислорода с помощью чувствительного элемента из окиси цинка.Тонкую полупроводниковую пленку окиси цинка наносят на нейтральную огнеупорную подложку из кварца, снабженную платиновыми коцтактамц для измерения электропроводности, Под - готовленный гаким образом чувстви тельный элемент помещают в вакуум, напускают О, до давления 1 - 10торр и повышают его температуру путем нагревация. Периодически повышение температуры прекращают, чувствительцьй элемент выдерживают в атмосфере кислорода в течение некоторого времени, пока не установится постоянное зцачение электропроводности, затем подают в объем строго определенные конпецт 35 рации колебательно-возбужденных молекул кислорода (1 О - 10 см з) и измеюряют сигнал изменения его электропроводности. В случае прямо пропорциональной зависимости между концентра 40 цией измеряемого компонента и сигналом изменения электропроводцостичувствительного элемента повышениетемпературы прекращают. Я частности,о,при температурах 150-200 С цаблюдает 45ся прямо пропорциональная зависимостьмежду концентрацией колебательнс-возбужденных молекул 0 и сигналом изменения электропроводности чувствит ельного элемента. В этих условиях чувствительный элемент из окиси цинка приготовлен для измерения концентрации колебательно-возбужденных молекул кислорода в смеси.П р и м е р 2, Цетектирование колебательно-возбужденных молекул азота с помощью чувствительного элемента из окиси цинка.Последовательность операций такая же, как и в примере 1. При этом температура чувствительного элемента не повышается, а понижается, В частносОти, при температуре - 80 С наблюдается прямо пропорциональная зависимость между концентрацией колебательно-возбужденных молекул азота в смеси и сигнапом изменения электропроводности чувствительного элемента. В этих условиях чувствительный элемент из окиси цинка пригоден для измерения концентрации кол ебат ельно-возбужденных молекул азота в смеси.П р и м е р 3. Детектирование колебательно-возбужденных молекул кислорода с помощью чувствительного элемента из окиси никеля.Последовательность операций такая же. как и в примере 1, только чувствительный элемент изготовляется из окиси цикеля, В частности, при темОпературе 350 С наблюдается прямо пропорциональная зависимость между концентрацией колебательно-возбужденных молекул кислорода в смеси и сигналом изменения электропроводности чувствительного элемента, В этих условиях чувствительный элемент из окиси никеля пригоден для определения концентрации колебательно- возбужденных молекул кислорода в смеси.Способ детектирования молекул по изобретению позволяет с повышенной чувствительностью измерять концентрации колебательно-возбужденных молекул различных газов в смеси с невозбужденными молекулами, что улучшает и упрощает исследования физико-химических процессов в различных областях техники.