Многоэлектродный пьезоэлектрический резонатор

СОЮЗ СОВЕТСКИХишааРЕСПУБЛИК аа аи эаЯэ Н 03 Н 9 54 ГОСУДАРСТОЕННЫЙ КОМИТЕТ ССОРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Харьковский ордена Ленина авиационный институт им. Н.Е. Жуковского (53) 621,372.412(088,8)(56) 1. Авторское свидетельство СССР В 465713, кл. Н 03 .Н 9/54, 1972,2. Справочник по кварцевым резонаторам. Под ред, П.Г. Позднякова. М., "Связь", 1978, с, 271 (прототип) .(54) (57) ИНОГОЭЛЕКТРОДНЫЙ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ РЕЗОНАТОР, содержащий пьезоэлектрическую подложку, по обе стороны которой размещены перекрывающиеся активные электроды, перекрывающиеся пассивные электроды, замкнутые через торец пьезоподложки, которые размещены симметричноотносительнд оси, проходящей через центры активных электродов, о т л и ч а ю щ и й - с я тем, что, с целью повыаения избирательности на гармониках основной резонансной частоты, под одним из пассивных электродов выполнена выемка в пьезоподложке симметрично относительно оси, проходящей через цент-ры пассивных электродов1 О1Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоватьсяв устройствах кварцевой стабилизациии частотной селекции диапазона ультравысоких частот,Известно пьезоэлектрическое устройство, содержащее пьезоэлектрическую пластину, на которой размещенасвязанная система резонаторбв толщинных колебаний 13Недостатком данного устройстваявляется большой коэффициент передачи на низших механических гармониках по сравнению с рабочей при использовании его на высших гармоникахосновной резонансной частоты,Наиболее близким к предлагаемомупо технической сущности является многоэлектродный пьезоэлектрический резонатор, содержащий два акустическисвязанных резонатора на общей пьезоподложке с пассивными замкнутымиэлектродами 23Однако известный многоэлектродныйрезонатор при использовании его вгармониковых генераторах УВЧ диапазона также имеет большой коэффициентпередачи на низших механических гармониках по сравнению с рабочей механической гармоникой, а также относительно большую величину проходноймежэлектродной емкости, что обусловливает низкую избирательность нагармониках основной резонанснойЦель изобретения - повышение избирательности на гармониках основнойрезонансной частоты.Поставленная цель достигается тем,что в многоэлектродном пьезоэлектрическом резонаторе, содержащем пьезоэлектрическую подложку, по обе стороны которой размещены перекрывающиесяактивные электроды, перекрывающиесяпассивные электроды, замкнутые черезторец пьезоподложки, которые размещены симметрично относительно оси, проходящей через центры активных электродов, под одним иэ пассивных электро"дов выполнена выемка в пьезоподложкесимметрично относительно оси, проходящей через центры пассивных электродов.На чертеже представлена конструкция многоэлектродного пьезоэлектрического резонатора,Многоэлектродный пьезоэлектрический резонатор содержит пьезоэлектрическую подложку 1, перекрывающиесяВПИИПИ Закан 3841/42Фввнвн ШШ Патвнтр, р.У 96758активные электроды 2 и З,перекрывающиеся пассивные электроды 4 и выемку 5.Многоэлектродный пьезоэлектрический резонатор работает следующим образом.5При постоянной толщине,пьезоподложки 1 между резонаторами, образованными активными парами электродов2 и 3, в связи с наличием акустичес 1 Окой связи амплитудно-частотная харак"теристика резонатора имеет максимумна частотах Г гармонических обер(Мтонов и-х порядков. Величина этихмаксимумов падает при увеличенииномера и механической гармоникиаКроме того, наличие проходной емкостимежду активными парами электродов 2и 3 приводит к нежелательному ростуемкостной составляющей тока.Наличие выемки 5 в пьезоподложке1 под одним из пассивных электродов4, расположенной между активнымиэлектродами 2 и 3, приводит к тому,что этот участок пьезоподложки представляет собой запредельный акусти"ческий волновод для механических колебаний, частоты которых меньше частоты отсечки этого волновода, определяемой толщиной пьезоподложки на этом30участке. Поэтому коэффициент передачи пьезоэлектрического резонатора нанизших относительно требуемогогармонических обертонах уменьшается.Толщина участка пьезоподложки подпассивными электродами 4 выполненаЗ 5 такой, что частота Г 1 юодного из гармрннчвскнх Вбартонов равна частотамГ механической гармоники и-го поЫрядка активных резонаторов 2 и З.Этоприводит к подчеркиванию резонанса40 на частотах Г 1"1 = Е 1 т.е. при выполнении этого условия резонанс начастоте Й,п , требуемой механичесш 11кой гармоники и-го порядка, будетпреобладающим. Наличие пассивного45 резонатора 4 с выемкой 5 уменьшаеттакже и величину проходной емкостимежду активными резонаторами 2 и 3.Предлагаемый многоэлектродныйпьезоэлектри 4 еский резонатор имеет50 повышенную избирательность на гармониках основной резонансной частоты,что обеспечивает высокие качества таких резонаторов за счет снижения коэффициента передачи на низких отно 55 сительно требуемого гармоническихобертонах и уменьшения проходной емкостиТираж 862 Подписноежзород, ул,проектная, 4