Вакуумный агрегат

%/ВГЦбщу у3 ЕфГМь.тЕДНч 1, 3311 ИйТ д ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯМ А ВТОРСМОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54) (57). ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводягцим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода ме-, ханический насос и ресивер, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности и снижения уровня шума, турбина размещена в форвакуумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патрубком.2. Агрегат по п, 1, отличающийся тем, что патрубок снабжен вентилем.3. Агрегат по п. 1, отличающийся тем, что ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу.1081366 Составитель О. Тишина Техред И. Верес Корректор М. Шароши Тираж 624 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 3035, Москва, Ж - 35, Раушская наб д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Редактор Р. ЦицикаЗаказ 1505/30 Изобретение относится к вакуумной технике.Известен вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный и форвакуумный насосы, соединяющий их трубопровод с запорным вентилем, блок управления и питания.В этом агрегате форвакуумный насос используется для предварительного вакуумирования турбонасоса, а электронный блок - для управления преобразования частоты и частотного пуска электродвигателя турбонасоса 1.Недостатком такого агрегата является сложность и высокая стоимость системы электропривода, в частности электронного блока питания и управления.Наиболее близким к изобретению является вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода механический насос и ресивер 2.Недостатками этого агрегата являются его невысокая экономичность, вследствие повышенного расхода электроэнергии, неэффективное использование оборудования компрессора и механического насоса. Кроме того, турбинный привод повышает уровень шума и опасность эксплуатации, вследствие работы оборудования под высоким давлением сжатого воздуха. Целью изобретения является повышение экономичности и снижение уровня шума.Указанная цель достигается тем, что в вакуумном агрегате, содержащем турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода механический насос и ресивер, турбина размещена в фор. вакуумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патруб ком.Кроме того, патрубок снабжен венти5Ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу,На чертеже изображена схема вакуумного агрегата.Вакуумный агрегат содержит турбомоле 10 кулярный насос 1, снабженный приводомв виде газовой турбины 2 с подводящим соплом 3 и имеющий форвакуумную полость 4,соединенный с турбомолекулярным насосом1 при помощи трубопровода 5 механическийнасос 6 и ресивер 7.Турбина 2 размещена в форвакуумнойполости 4 турбомолекулярного насоса 1,а сопло 3 сообщено с атмосферой посредством патрубка 8.Патрубок 8 снабжен вентилем 9.Рес ивер 7 при помощи регулируемогоклапана 10 подсоединен к трубопроводу 5.Агрегат работает следующим образом.Первоначально включается механический насос 6 и откачивается полость турбомолекулярного насоса 1 и ресивера 7 до25 предельного остаточного давления, Затемоткрывается вентиль 9, и в сопло 3 поступает воздух из атмосферы. Струя воздуха, истекая через сопло 3 в вакуум, приобретаетвысокую скорость и, взаимодействуя с колесом турбины 2, приводит его во вращениевместе с ротором турбомолекулярного насоса 1. По мере выхода ротора на рабочиеобороты с помощью вентиля 3 постепенноуменьшают количество поступающего в сопло 3 воздуха,Предлагаемый агрегат позволяет повысить экономичность за счет исключения изсостава агрегата электродвигателя, герметичного электроввода, блока питания иликомпрессора и системы подачи сжатого газа на турбину, а также снижения потребляемой мощности.