Способ получения сверхвысокого вакуума и устройство для его осуществления

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 4 В 37/14 ЕТЕНИ МУ СВИДЕТЕЛ В Н АВТ ГОСУДАРСТВЕННЫИ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ПИСАНИЕ(71) Минский филиал Государственного проектно-технологического и эксперименталь ного института Оргстанкнпром(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА И УСТРОИСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ(5) 1. Способ получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего, отличающийся тем, чтоЯО 10798 с целью повышения предельного вакуума, откачку газа из реципиента и полости кожуха осуществляют последовательно.2. Устройство для получения сверхвысокого вакуума, содержащее герметичный кожух, размещенный ь пем рецппиент и вакуумные насосы, подсоединенные один к полости кожуха, а другойк реципиенту, отлачающееся тем. что, с целью повышения предельного вакуума. в полости кожуха становлена по меньшей мере одп герметичная перегородка, разделяющая ес на внутреннюю и наружную камеры, вакуумный насос реципиента расположен во внутренней камере и выход его сообщен с последней, а В наружной камере установлен дополнительный насос, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход - с наружной.1079885 Составитель В. Кряковкин Техред И. Версс Корректор В. Синицкая Тираж 524 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ПГ 1 П Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Редактор М. Товтин Заказ 1294/Зб Изобретение относится к вакуумной техникс, а именно к способам и устройствам для получения сверхвысокого вакуума.Известны способ получения вакуума путем откачки газа из реципиента в атмосферу и устройство для его осуществления, содержашее реципиент, соединенный с вакуу мным насосом 1 .Недостатком известных способа и устройства является невозможность достижения сверхвысокого вакуума без предварительного прогрева реципиента, требующего значительных энергозатрат.Наиболее близкими к изобретению являются способ получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего и устройство для его осушествления, содержащее герметичный кожух, размещенный в нем реципиент и вакуумные насосы, подсоединенные к полости, кожуха и реципиента 12.Однако данные способ и устройство обеспечивают недостаточно высокий предельный вакуум, вследствие значительной разницы в величине вакуума в реципиенте и в полости между кожухом и реципиентом, которая обуславливает значительную газопроницаемость в реципиент.Целью изобретения является повышение предельного вакуума.Указанная цель достигается тем, что согласно способу получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего, откачку газа из реципиента и полости кожуха осушествляют последовательно. В устройстве для получения сверхвысокого вакуума, содержащем герметичный кожух, размещенный в нем реципиент и вакуумные насосы, подсоединенные один к полости кожуха, а другой - к реципиенту, в полости кожуха установлена по меньшей мере одна герметичная перегородка, разделяющая ее на внутреннюю и наружную камеры, вакуумный насос реципиента расположен во внутренней камере и выход его сообщен с последней, а в наружной камере установлен дополнительный насос, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход - с наружной. На чертеже схематично представлено устройство для получения сверхвысокого вакуумаУстройство содержит герметичный кожух1, размещенный в нем реципиент 2 и вакуумные насосы 3 и 4, подсоединенные к полости кожуха 1 и реципиенту 2, причем в полости кожуха 1 установлена по меньшей мере одна герметичная перегородка 5, разделяющая ее на внутреннюю и наружную 10 камеры, вакуумный насос 3 реципиента 2расположен во внутренней камере и выход его сообщен с последней, а в наружной камере установлен дополнительный насос 6, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход - с наружной.Устройство также содержит перегородку7, разделяющую наружную камеру на две полости 8 и 9, при этом в полости 9 расположен еше один дополнительный насос 10, вход которого соединен с полостью 8, а 20 выход - с полостью 9. Управление насосами 3, 4, 6 и 10 осуществляется следящей системой 11.Способ получения сверхвысокого вакуум а осуществляется следуюшим образом.Газ из реципиента 2 откачивается насосом 3 во внутреннюю камеру, образованную перегородкой 5 и реципиентом 2. Далее из внутренней камеры газ откачивается насосом 6 в полость 8, затем насосом 10 в полость 9 и насосом 4 в атмосферу. При этом количество перегородок может быть любым, соответственно и количество дополнительных насосов. В результате в реципиенте 2, в полости между реципиентом и перегородкой 5, в полостях 8 и 9 установится остаточное давление в соответствии с условием 35й 3 4 атнгде Р 1 - давление в реципиенте 2;Р - давление в полости между реципиентом 2 и перегородкой 5;Рз - давление в полости 8;Р 4 - давление в полости 9;Ра. - атмосферное давление.Следяшая система 11 поддерживает постоянный перепад давлений на каждой из перегородок, отключая и включая насосы.Таким образом достигается повышениепредельного вакуума вследствие уменьшения перепада давлений на каждой из перегородок.