Полупроводниковый преобразователь давления

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХеаамламюаииРЕСПУБЛИК а 9) (Н) ЗСЮ С 01 1. 9/06 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОБУСНОМУ СНИЦЕТВЪСТВУ(54)(57) ПОЛУПРОВОДНИКОВЫИ ПРЕОБРАЗОВА 1 ЕЛЬ ДАВЛЕНИЯМИ содеРкаЩий ЦилинДрический трубчатый корпус с закрепленным на нем опорным элементом, выполненным из стекла, на котором закреплена полупроводниковая мембрана с тензорезисторами, о т ли ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения надекности, в нем опорный элемент выполнен ввиде по крайней мере одного отрезка цилинд,ической .трубки, который наружной поверхнос:тью прикреплен к внутренней поверх;,ности корпуса, а мембрана закреплена на торце отрезка трубки.Заказ 1137.8/17 Тираж 4 б 8 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная, 4 Изобретение относится к приборостроению и предназначено для измерения давления жидких и газообразныхсред еИзвестны преобразователи давления, содержащие корпус, с закрепленной в нем полупроводниковой мембраной с тензорезисторами 1).Действие известных преобразователей давления основано на преобразовании давления, приложенного к10мембране, в изменение сопротивлениятензорезисторов.Недостатком такой конструкцииявляется значительная температурнаяпогрешность вследствие различия тем" 15пературных коэффициентов линейногорасширения материалов мембраны и корпуса.Наиболее близким по техническойсущности к изобретению является пре Ообразователь давления, в который сцелью повышения точности преобразования давления путем уменьшения температурной погрешности, связанной с за делкой полупроводниковой мембраны вкорпус, введен по крайней мере одинпромежуточный опорный элемент, который закреплен на торце цилиндрического корпуса, и на котором, в своюочередь, герметично закреплена мембрана с тензореэисторами 12),Недостатком такого преобразователя давления является низкая надежность соединения опорного элементас торцом трубчатого корпуса.Целью изобретения является повышение надежности преобразователя,давления.Поставленная цель достигается тем,что в полупроводниковом преобразователе давления, содержащем цилиндричес. кий трубчатый корпус с закрепленным на нем опорным элементом, выполненным из стекла, на котором закреплена полупроводниковая мембрана с тензорезисторами, опорный элемент выполнен в виде отрезка цилиндрической трубки, который наружной поверхностью прикреплен к внутренней поверхности корпуса, а мембрана закреплена на торце отрезка трубки.На чертеже изображена предложенная конструкция преобразователя давления с двухтрубчатым опорным, элементом,Преобразователь давления содержит трубчатый корпус 1, опорный элемент, выполненный из двух отрезков трубок 2 и 3, и кремниевую мембрану 4 с тензорезисторами 5. Трубки 2 и 3 своими наружными поверхностями прикреплены к внутренним поверхностям трубки 3 и корпуса 1.соответственно.Мембрана 4 по периметру герметично закреплена.на торце трубки 2. Трубки 2 и 3 опорного элемента выполнены из стекла типа Пирекс и из стекла типа С 48-1. соответственно. Для уменьшения температурной погрешности подобраны температурные коэффициенты линейного расширения материалов трубок 2 и 3 и корпуса 1. При подаче измеряемого давления в корпус 1 прербразователя мембрана 4 деформируется, вследствие чего тензорезисторы изменяют свои сопротивления.Закрепление трубчатого опорного, элемента на внутренней поверхности корпуса обеспечивает повышение надежности их соединения друг с другом.

Смотреть

Заявка

3274393, 08.04.1981

ЧЕРНИГОВСКИЙ ФИЛИАЛ КИЕВСКОГО ПОЛИТЕХНИЧЕСКОГО ИНСТИТУТА, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1891

ХОМЕНКО НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ, ЗАДОРОЖНЫЙ ЮРИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, КОВТУН СВЕТЛАНА ИВАНОВНА, ГНАТЮК ОЛЕГ ВАЛЕНТИНОВИЧ, МАТВЕЕВ АЛЬБЕРТ КОНСТАНТИНОВИЧ, ЛОГИНОВА ЗИНАИДА СЕРГЕЕВНА, САБЛИН АРНОЛЬД ВАСИЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: C01G 9/06

Метки: давления, полупроводниковый

Опубликовано: 23.01.1984

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1068388-poluprovodnikovyjj-preobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Полупроводниковый преобразователь давления</a>

Похожие патенты