Криогенный насос

СОКИ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИК 32215 А 8 за ОПИСА ИЗОБРЕТЕНИЯИДЕ П:ЛЬСТВУ ВТОРСКОМ и ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) 1. Иинэйчев В.Б. Вакуумные кр насосыИ., "Энергия", 1976, с. 93.2. Оатент Франции И 2161483, кл. Р 04 В 37/00, опублик. 1972. (54)(57) КРИОГЕНЙЦЙ НАСОС, содержаций корпус и расположенные в нем вн ри охлаждаемого теплозащитного экра на криопанель и криосорбционную сту пеЬь, о т л и ч д ю ц и й. с я тем,что, с целью улучшения откачных харак"теристик насоса путем автоматическоговключения в работу криосорбционнойступени, последняя выполнена в видеконцентрично размеценных с образованием кольцевой полости сильФонов, нижние торцы которых герметично закреплены на криопанели, а верхние образуют самоуплотняемое соединение, прит- чем полость внутреннего сильФона заполнена водородом, а кольцевая полость - аргоном,1 10322Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к конструкциям криогенных вакуумных насосов.Известен криогенный насос, содержащий корпус и расположенную в немвнутри охлаждаеогр теппозащитногоэкрана криопанель11,Недостатком известного насоса является невозможность откачки трудно"конденсируемых газов, температура кон Оденсации которых ниже температуры криопанели.Наиболее близким к предлагаемомупо технической сущности и достигаемому результату является криогенный насос, содержащий корпус и расположен"ные в нем внутри охлаждаемого теплозащитного экрана криопанель и криосорбционную ступень21.Наличие криосорбционной ступениобеспечивает откачку трудноконденсируемых газов с температурой конденсации ниже температуры криопанели,однако существенными недостатками этого насоса являются наличие значительных теппопритоков при подаче на криопанель газа, сконденсированный слойкоторого используется в качестве сорбента дпя трудноконденсируемых газов,,и невозможность автоматического вклю 30чения в работу криосорбционной ступени,Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса путемавтоматического включения в раЬотукриосорбционной ступени. 35 Указанная цель достигается тем, что в криогенном насосе, содержащем корпус и расположенные в нем внутри охлаждаемого теплозащитного экрана 40 криопанепь и криосорбционную сту" пень, последняя выполнена в виде концентрично размещенных с образованием кольцевой полости сильФонов, нижние торцы которых герметично закреплены 45 на криопанели, а верхние образуют самоуплотняемое соединение, причем полость внутреннего сильФона заполнена 15 2водородом, а кольцевая полость - аргоном.На чертеже представлен насос, про" дольный разрез.Криогенный насос содержит корпус и расположенные в нем вйутри охлажда" емого и теплоэащитного экрана 2 криопанель 3 и криосорбционную ступень, которая выполнена в виде концентрично .размещенных с образованием кольцевой полости 4 сильФонов 5 и 6, нижние торцы которых герметично закреплены на криопанели 3, а верхние образуют самоуплотняемое соединение 7, причем полость сильФона 5 заполнена водоро" дом, а кольцевая полость 4 - аргоном. Охлаждение криопанели производится от криогенератора 8.Насос работает следующим ооразом.При предварительном вакуумировании крионасоса внешней системой откачки вследствие увеличения разности давлений между полостью корпуса 1 и полостями сильФондв 5 и 6 происходит дополнительное уплотнение соединения 7, так как сильФоч 6 выбирается более жестким. Далее схпаждаются экран 2 и криопанель 3 с сильФонами 5 и 6, При достижении температуры тройной точки аргон конденсируется в по" лости 4 на поверхности сильФонов и криопанели, и давление в полости 4 понижается, Дальнейшее охлаждение криопанели приводит к снижению давления в полости сильФона 5, а при достижении температуры конденсации водорода последний конденсируется на внутренней поверхйости сильфона 5 и давление в сипьФоне 5 уменьшается настолько, что деФормация его приводит к разуплотнению соединения 7, Трудноконденсируемые газы, в основном гелий, неоткачанный криопанелью, поступают в полость 4, где адсорбируются переохпаждающими слоями аргона.Таким образом, предлагавмый насос позволяет улучшить откачные характеристики вследствие снижения тепловых нагрузок на криопанель.Составитель В. КряковкинРедактор П, Макаревич Техрев О.Неце Корректор В ГирнякЗаказ 5365/11 Тираж 665 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий11 ОЯ Москва Ж-Я Рашская наб. д, 4/5