Устройство управления процессом резания

(ииТ.Р.ик ро тныи,Г. С. Тым88.8)свидетеВ 23 В чко,ССР 983 ст /О струме износа тема и рабатывмасшта ен ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54) УСТРОЙСТВО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМРЕЗАНИЯ(57) Изобретение относится к областистанкостроения и может быть использовано в гибких производственных системах металлообрабатывающей промышленности. Цель изобретения - повышение надежности работы устройства засчет учета характеристик сигналов динамической подсистемы обрабатываемойзаготовки. Устройство содержит дваканала регистрации виброакустическойэмиссии динамических подсистем режущего инструмента и обрабатываемой детали, состоящие из преобразователя,предусилителя, полосовых фильтров,переключателя каналов, балансногомодулятора, усилителя мощности, подключенных к электрическим выходам модифицированного интерферометра МахаЦендера. Интерферометр состоит иэ лазера, расширителя светового пучка, вобоих плечах интерферометра установлены акустооптические модуляторы, которые представляют собой устройства ввода электрических сигналов и Фурьеобъективы, Выходной светоделительныйкуб интерферометра имеет фотохромныепокрытия граней с коэффициентом пропускания: входных граней - логарифмическим, выходной грани - антилогарифмическим. За выходной гранью расположены Фурье-объектив, масштабирующий объектив, однокоординатныйфотоприемный элемент на основе приемника с зарядовой связью, информационный выход которого через блокуправления и питания и аналого-цифровой преобразователь соединен с блоком вычисления управляющих воздействий, Два выхода этого блока черезцифроаналоговый преобразователь подключены к исполнительным механизмам,регулирующим скорость главного движения и скорость подачи металлорежущего станка в процессе резания, Устройство определяет спектрально-корреляционные характеристики сигналоввибрации динамических подсистем инструмента и детали, на основании которыхрегистрируют предельные состояния процесса резания в моме врезания инструмента в заготовку, момент эащемлениявращающегося режущего инструмента взаготовке во избежание поломки ин" та, достижение критическогоинструмента. Оптическая систерферометра Маха-Цендера обает электрический сигнал ве реального времени для формиуправляющих команд на измеежимов резания. 13 ил.1393531 Составитель А,СеменоваРедактор Е,Папи Техред М,Дидык Корректор А.Ворович Заказ 1912/11 Тираж 880 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раущская наб д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г, ужгород, ул, Проектная, 43935 управ;н ня однокоордпнатным приемником с зарядовой связью, на фиг. 7блок-схема алгоритма ввода видеосигнала в блок вьвцс:ения управляющих воздействии, на фг8 - функциональная схема блока вычисления управляющих воздействий, на фиг, 9 - временные диаграммы ввода Видеосигнала навход блока вычисления управляащих 30 воздействий, на фиг. 10 - блок-схема алгоритма управления исполнительными механизмами станка, на фиг.11 - электрическая принципиальная схема цифроаналогового преобразователя/ нафиг, 12 - шпиндельньп узел металло 35 режущего станка; на фиг. 13 - временная диаграмма управления исполнительными механизмами. Устройство управления процессом 40 резания (фиг. 1) содержит два каналаизмерения виброакустической эмиссиидинамических подсистем режущего инструмента и обрабатываемой детали. Каналы содержат преобразователи 1 и 2, в которых в качестве чувствительных элементов использованы сферически вогнутые пластины из пьезоэлект 45 рического материала. Преобразователи1 и 2 установлены на обрабатываемойдетали 3 и шпинделе 4 с закрепленным 50 в нем режущим инструментом 5 соответственно. Выходы преобразователей 1 и 2 через предварительные усилители 67 подключены к блокам полосовых фильтров 8.18,И и 9.1. 9.И соответственно. В качестве полосовых фильтров можно использовать, например, фильтры 298 ФН 21, 298 Ф 82 1, Выхо 55 Изобретение относится к станкостроению и может быть исоль ювао в гибких производственных системах металлообрабатывающей промышленности,Цель изобретения - повьшение надежности работы устройства управления процессом резания за счет учета характеристик сигналов динамической подсистемы обрабатываемой заготовки. 10На фиг. 1 зображеца функциональная схема устройства управления процессом резания; на фиг. 2 - условное графическое изображение коммутатора аналоговых сигналов и схема включе ния, на фиг. 3 - графическое изображение двоичного счетчика, а фиг.4 временная диаграмма работы двоичного счетчиь, на фг.5 - принципиальная схема балансного модулятора; на фиг.6- 20 принципиальная схема блока питания и 31 2ды полосовых фильтров 8.18.И и 9.19.И соединены с переключателями 10 и 11 каналов. В каналах измерения сигналов виброакустической эмиссии установлены балансные модуляторы 12 и 13 электрических сигналов, к входам которых подключены переключатели 10 и 11 каналов, а выходы - к усилителям 14 и 15 мощности, в качестве которых можно использовать, например, промьппленно выпускаемый усилитель мощности УЗ. Выходы усилителей 14 и 15 мощности соединены с электрическими входами модифицированного интерферометра ИахаЦендера, которые представляют собой акустооптические модуляторы 16 и 17 на бегущих волнах. Лазер 18, расположенный на одной оптической оси с расширителем 19 светового пучка, оптически связан с модифицированным интерферометром 11 аха-Цендера.Интерферометр содержит входной светоделительный куб 20, плоские отражательные зеркала 21 и 22, акустооптические модуляторы 16 и 17, преобразующие Фурье-объективы 23 и 24, установленные на одной оптической оси с модуляторами 16 и 17 и выходной светоделительный куб 25 с фотохромным покрытием граней, Выход интерферометра оптически связан через Фурье-объектив 26 и масштабирующий объектив 27 с однокоординатным фотоприемным элементом 28, в качестве которого используют, например, однокоординатньп приемник с зарядовой связью (ПЗС). Информационный выход фотоприемного элемента 28 соединен через блок 29 управления и питания с аналого-цифровым преобразователем (АЦП) 30, подключенным к блоку 31 вьчисления управляющих воздействий. Первый выход блока 31 через цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) 32 подключен к исполнительному механизму 33, регулирующему скорость подачи, а второй выход блока 31 через ЦАП 34 подключен к исполнительному механизму 35, регулирующему скорость главного движения станка в процессе резания.Каждый из переключателей 10 и 11 каналов содержит аналоговый коммутатор с внутренними схемами управления, выолненный, например, на микросхемах серии К 143, К 176, К 590 и двоичьп счетчик. На фиг. 2 представлены условное иэображение восьмиканального коммутатора цд базе микросхемы К 590 КН 1, где 3644 - аналоговые входы, 45 - выход коммутатора, 46 48 - управляющие входы а также1 5 схема включения коммутатора, Управляющие входы аналогового коммутатора подключены к выходам двоичного счетчика, условное графическое обозначение которого представлено на фиг.3, 1 О а временная диаграмма работы - нд фиг.4. Счетчик может быть выполнен, например, на микросхеме К 155 ИЕ 2.Балансные модуляторы 12 и 13,принципиальная схема которых представлена на фиг. 5, содержат генератор,соединенный с точкой П входа сигналон несущей частоты. Вход 11 модулирующего напряжения соединен с выходом 45 коммутатора (фиг. 2) переключателей 1 О и 11 соответственно. В качестве генератора колебаний можно использовать, например, промышленно нь 1 ускаемый генератор Г 4-102, Г 4-116, Г 4- -119, а также использовать кристаллы 25 пьезокварца.Блок 29 питания и управления ПЗС, принципиальная схема которого представлена ца фиг. б, может быть выполнен, например, на микросхемах серии К 564, К 561, Содержит генератор тактовых импульсов (К 564 ЛЕ 5), соединенный со схемой формирования опорных напряжений (К 564 ИЕ 9), на выходе которого установлен делитель (К 564 ИЕ 10). Делитель соединен с формирователем фаз35 (К 564 ТР 2) с четырьмя выходами, которые соединены с преобразователем уровня (К 564 ПУ 4), соединенным с входами ПЭС. Блок-схема алгоритма ввода ви 40 деосигнала в блок 31 (фиг. 1) с выхода блока 29 представлена на фиг.7.Блок 31 вычисления управляющих воздействий может быть выполнен на базе микроЭВМ, например "ЭлектроникаМ", "Электроника". Функциональная схема, представленная ца фиг. 8, содержит центральный процессор 49, соединенный с каналом 50 ЭВМ обмена информациеи, к которому подключены устройства 51-53 управления, таймер 54, а также дополнительные устройства 55 (например, интерфейсы). К устройству 51 управления подключены печатающее устройство 56 (типа "СОВАЛ.-260") и фотосчитыватель 57 (типа РБ). Устройство 52 управления соединено с перфоратором 58 (типа ПЛ), а считыватель 59 с церфо ц ты (ндример, типа СП) подключен ь устройству 531 ополцительцые устройства 55 ввода-нывода даних поцключеы к исполнительным ме - нацизмам 33 ц 35 (фиг. 1) метачлорежущего станка через 1 У, 32 и 34.Временые диаграммы ннодд видеосигнала н блок 3 ньчисления уцрднляющих воздействий при использовании и кдчестве Л 11 П 30. ЛЦП типа Ф 7077 представлена цд фиг. 9, а блок-схема алгоритма управления исполнительными механизмами 33 и 35 представлена на фиг, 10,Электрическая принципиальная схема 11 Л 32 и 34, представленная на фиг. 11, содержит источник 60 опорного напряжеия, н качестве которого можно, например, использовать температурностдбцлизировацный стабилитрон. Выход источника 60 подключен к первым входам управляемых ключей 61.161.М, к выходам которых подключена резистивная масштабирующая матрица. К вторым входам ключей 611. 61.И подктчец регистр выходного кода блока 31 (фцг. 1).Исполнительные механизмы 33 и 35содерждт шдгоные электродвигатели, соединенные с соответствующими приводдми станка. Изменение величин подачи и скорости главного движенияос-ществляют при помощи шпиндель; ого узла (фиг.12), соединенного с приводами станка, Шпиндельцый узел содержит зубчатое колесо 62, рейку 63, зубчатое колесо 64, шпиндельую гильзу 65. Нпиндель 4 содержит шлипевую нарезку 66, а также конусцое отверстие 67 для закрепления режущего инструмента. Временная диаграмма управления исполнительными механизмами представлена на фиг.13.Устройство работает следующим образом.Преобразователи 1 и 2 с пьезоэлектрическим сферически вогнутым чувстнительцым элементом, установленные на обрабатываемой заготовке 3 и шпинделе 4 металлорежущего станка, регистрируют сигналы виброакустической эмиссии динамических подсистем детали 3 и режущего инструмента 5 и преобразуют их в электрические сигналы 11 (с) и 0(с) соответственно, Предварительные усилители 6 и 7 усиливают преобразованные электрические сигналы 3(с) и 13 , которые поступают в полосовые фильтры 8. 18.Н16 и 17, Поэтому каналы измерения виброакустической эмиссии в устройстве содержат усилители 14 и 15 мощности. Усиленные по мощности сигналы подают на электрические входы мо 5 дуляторов 16 и 17, где преобразуют в пространствецно-временные акустические колебания, распространяющиеся в звукопроводе каждого модулятс) - ра 16 и 17. Пьезопреобразователи модуляторов 16 и 17 для расширения полосы пропускания частот входных сигналов выполнены сферически вогнутыми, а рабочая поверхность покрыта тонкой пленкой из алюмицо-эпоксидного композита. Характеристики пространственно-временного акустического колебания соответствуют характеристикам сигналов 1 (ь) и Б Световой 20 пучок когерентного излучения лазера 18 расширяют телескопической системой 19 Кеплера, состоящей из двух компонентов, с увеличением, равным отношению фокусных расстояний объектива и окуляра. Входной светоделительный куб 20 ицтерферометра 11 ахаЦендера, расположенный на одной оптической оси с лазером 18, расщепляет падающий на него световой пучок на два ортогоцальцо распространяющихся пучка в пространстве. Оба пучка направляют отражательными зеркалами 21 и 22 через акустооптические модуляторы 16 и 17 на преобразующие Фурье- объективы 23 и 24 соответственно.Рас пределения амплитуд и фаз световых полей в дифракционных изображениях световых сигналов на выходе представляют зависимость от параметров ба 40 лансно-модулированных сигналов Чгд (ь) и Ч (с) соответственно Ч (Г Г Т)Т 5 1и Ч (Г, Гг, г) .Ч(ГуГ, )45Т)О=РТА е г(е,у)Т(г,у,П (е,где д , Г - пространственные частоты двумерного изображения фазомодулированного светового сигнала; Лд ы амплитуда и частота волны поступающего в интерферометр светового пучка, г(г,у) - функция прогускания апертуры оптической системы, Ф - операция сверки; Т(г, у, 1, (с - комплексный коэффициент пропус,кания акустооптического модулятора, г, у - координаты в предметной плоскости оптической сис) "), Г,Е) - входной электрический сигнал,Комплексный коэффициент Т(г, у,Г (ь зависит от параметров балансцо -мсудулироваццого колебания, поступающегоо ца пьезопреобразаватель модулятора 16 и 17. Па входных гранях светоделительцого куба 25 с. Фотохромнымпокрытием сформированы энергетическиеспектры сигналов , (Г, Г , е) и1(Г 1., с) согласно теореме ХиллиК(Г=Ч(Г, Г ь) Ч (Г, Г, ь), (4)характеризующие спектральные характеристики входных электрических сигналов П,(ь) и 11 (с) ссответственно. Коэффициент фотохромного покрытия входных граней выполнен по логарифмическому закону, а выходной грани - по ацтилогарифмическому, В светоделительцам кубе 25 оптическая система модиФицированного интерферометра МахаЦецдера формирует разность логарифмов амплитуд световых волн в потоках обоих плечей ицтерферометра;1 п Ч - 1 п ), е 1 п(Ч /1, ) =Ч . (5) 1 Вь)При этом на выходной грани куба 25 осуществлена операция экспонирования зависимости (5). Таким образом, на выходе интерферометра интенсивность светового потока равна отношению интенсивностей световь)х полей, характеризующих параметры сигналов виброакустической эмиссии детали 3 и режущего инструмента 5 и отражающих состояние текущего процесса. Далее световой сигнал поступает через Фурье- объектив 26 и масштабирующий объектив 27 на линейный фотоприемный элемент 28 ПЗС с быстродействием 0,2 мкс.Устройство фоторегистрации, состоящее иэ элемента 28 и блока 29 управления и питания, подает на выходе АЦП 30 сигнал, характеризующий автокорреляционную функцию К(ГГ , с): 1 с(Г, Г г)=Й 511 вы Гу Г; г.осхр) 2 л (Гу+Г г),1 су т г дС . (6)Изменения, характеризующие динамику резания, отраженные в регистрируемой величине функции В(Г , Г , с) фиксируют в блоке 31 вычисления управляющих воздействий для дальнейшего формирования команд управления испол 1393531 10нительцыми механизмами 33 и 35 металлорежуше го станка,Блок 29 управления и питания содержит генератор тактовых импульсов,5выполненный на микросхеме К 564 ЛЕ 5,причем период следования импульсовзадают емкостью конденсатора С 1(фиг.5). Схема Формирования опорныхнапряжений ПЗС на базе К 564 ИЕ 9 предназначена для переноса заряда. Увеличение периода следования импульсовосуществляют делителем, выполненнымна микросхеме К 564 ИЕ 10. Время накопления заряда фотоприемным элементом28 (фиг, 1) ПЗС формирует импульсы,которые управляют формирователямифаз (К 564 ТР 2), Длительность выходныха:ряжеиц с вывопов К 564 ТР 2по четырем каналам с перекрытием во 20времени предназначены для считывания видеосигцала с элементов 28(Фиг. 1) ПЗС. Далее сигналы посту-пают через шестаальцьп преобразо -ватель уровня, выполненный ца микросхеме К 564 ПУ 4 (Фиг,5), усиливающмощцость сигналов, ца фазы линейногоэлемента ПЗС. Формирование выходныхимпульсов по длдтельцости, нейтрализации и сбору зарядов осуществляетраспределитель. Питание элементовПЗС постоянным напряжением +(1015)В осуществляет блок питания,который выполнен ца одной печатнойплате с блоком управления.Блок-схема алгоритма ввода видеосигнала в блок 31 вычисления управляющих воздействий представлена цафиг.6, а временная диаграмма вводавидеосигналов - ца фиг.7, где Т -период вводимых информационных им(пульсов; ц - длительность импульсавидеосигнала;=, т.е. длитель 1ности считывания и накопления видеосигнала равны. Видеосигнал преобра 45зуют в массив данных, размещают воперативном запоминающем устройстве(ОЗУ) системы (фиг.6). Прием видеосигнала производят по нулевому каналу, устанавливают начальный адрес загрузки. После этого происходит сброс 50 модуля управления, ввод инициативных сигналов и ожидание импульса длинной синхронизации (ИДС). После приема ИДС по переднему фронту производят сброс модуля, предназначенного для приема 55 импульсов короткой синхронизации (ИКС) по переднему фронту, которыйсовпадает с началом информативного импульса фотоприемного элемента 28 ПЗС. ИКС разрешает запуск АЦП ЗО.После записи 16-разрядного слова с АЦП 30 в ячейке начального адреса прибавляют единицу, и программа входит в режим ожидания ИКС, если содержимое ячейки не превышает заданного количества вводимых сигналов, Введенный через АЦП 30 в блок 31 сигнал поступает в канал 50 (фиг, 7) ЭВМ в режиме прямого допуска к памяти. Обмен данными в этом режиме выполняютФ в промежутках между циклами обращения центрального процессорного устройства 49 к каналу 50, В качестве устройства 55 используют устройство И 2 параллельного обмена данными в параллельном коде, обеспечивающего воэможность работы в режиме прерыва- . ний. Устройство 55 И 2 имеет 16 входных линий для ввода данных в канал 50 ЭВМ и 16 выходных линий для вывода данных во внешнее устройство, а также четыре управляющих линии, Канал 50 ЭВМ позволяет адресовать 32 К 16-разрядных слов, что составляет адресное пространство ЭВМ, в котором использованы ячейки памяти от 000000 до 376 как адреса векторов прерывания, а ячейки 1600008 -177776 как регистры внешних устройств. Центральный процессор 49 имеет в наборе 80 команд, возможность обработки 16-разрядных слов и байтов, восемь регистров общего назначения, регистр состояния процессора, восемь методов адресации. Регистры общего назначения выполняют функции накопительных регистров, индексных регистров, автодекрементной и автоинкрементной адресации, указателей стека, счетчика команд. Устройство 55 И 2 осуществляет вывод управляющего воздействия из блока 31 (фиг,1) через ЦАП 32 и 34 к исполнительным механизмам 33 и 35 металлорежущего станка для изменения режимов резания: скорости подачи, скорости главного движения ЦАП 32 и 34 принимают сигнал регистра выходного кода блока 31 на входы электронных ключей 61. 161.И (фиг,10), питание Ч осуществляют стабилитрон. К выходам ключей 61.161.И подключена реэистивная цепная КК-матрица, позволяющая использовать ограниченное количество резисторов с повторяющимися значениями сопротивлений. Усилениепо напряжению преобрлзовлццоганалоговую форму электрического сцгцала осуществляет Операционный усилитель. Выходной электрический сигнал с вых дов ЦАП 32 и 34 воздействует цл исполнительные механизмы 33 и 35 привода подач и привода главного двиеця, в которых использованы шагоые дигатели, Ротор шагового двигателя поо рачивается на один шаг от одного поступающего импульса, т,е, изменее частоты подачи импульсов тока цл Обмотки изменяет частоту вращения электродвигателя.Изменение режимов резания Осуществлено при помощи шпицдельного узла (фиг.11). Зубчатое колесо 62 передает движение подачи рейке 63 шпицдельцой гильзы от коробки подач с шаговым 20 электродвигателем. Частота вращеция зубчатого колеса 62 определена частотой вращения электродвигателя. Внутри шпиндельной гильзы 65 вращается шпиндель 4, который в верхней части 25 имеет шлицевую нарезку 66 ца значительной длине, а в нижней части - конусное отверстие 67 для закреплецця в нем режущего инструмента, ШлицегОй вал поступательно перемещают в отверстие зубчатого колеса 64, вращательное движение которого задают блоком коробки скоростей, Скорость главного движения задают через коробку скоростей шаговым электродвигателем, на обмотки которого поступает соот 35 ветствующий управляющий сигнал с выхода ЦЛП 34 (фиг. 1), Величина скорости подачи и скорости главного движения станка определена соответствующими сигналами блока 31 вычисления управляющих воздействий согласно алгоритму управления исполнительными механизмами 33 и 35 в процессе механообработки, блок-схема которого приведена на фиг. 9.Алгоритм работы устройства управления процессом резания предусматривает ввод и размещение в ячейках памяти блока 31 (фиг.1) значений автокорреляционной функции (АКФ) К 1, К 2 и КЗ(фиг.9), соответствующих моментам врезания, эащемления режущего инструментазаготовке, до"тижения критического износа режущего инструмента. Далее Осуществляют ввод видеосигналов, характеризующих АКФ текущего процесса. Считывание К зьачений АКФ происходит до тех пор, пока значец ,це црецт (. ри этом вве-.децы зцлчецця; Б, - цсчц, Б - ко:цчествлборотшццЛля металлрежущего стлцкл. Велцчццл Кцредстав:Лс т собой зцачецце ЛЫ, созмеримое с, -функне. 1 Оско;ку при злщемлеццц режушего инструментаобрлбатылелОй заготовке Обрлзуется единая динамическая системл инструмент - детлль, ггмеюшая свой члстотцый спектр цбролкустической эмисси, величина Лс, предсталяет собой сГ-Образный импульс ца выходе когерецтцой оптической системы обработки сигнала. Определяя разность между зцачециями К 2 и текущими значениями ЛКР, которые считывают с блока 29 (фнг.1) питанияуправления с быстродействием 3 мкс,сравнивают с установленной ишцималцой еличццой К стремящейся к цу;ю. Если разность К,. це менее.3 лчеция Кь суммируют и сравнивают с елцчицой КЗ, пропорциональной величине критического износа режущего инструмента. Рост величины ЛКФ свидете.п ствует о росте износа ицструментл. Если значение разности К оказывлстся менее К то в этом случде режимы резания изменяют, т.е, уменьшают подачу и колнчесто оборотовшИндел для Гредотв ращения поломки режущего инструмента при злщемлении его в заготовке. Насоплецные значениясК = . К, сравивают с КЗ. Если К, - КЗ, то анализируют разность К если ККЗ, т.е, износ достигает кртического значения, происходит останов (Б мм/об=О,Об/миц = О) и сс:ца режущего инструлгецта. 1 осле этого производят возврат к началу программь, Временная диаграмма управления исполнительными механизмами 33,35 (фцг.1) блоком 31 вычисления управляощих воздействий представлена на фиг.12. Время обработки шаговым двигателем управляющей комлндь составляет порядка 30 мкс, следовательно,быстродействие устройства управления процессом резания составляет 61 мкм с учетом быстродействия обработки сигнала блоком 31-25 мм по одному каналу переключателей 10 и 11.Формула и з о б р е т е н и яУстройство управления процессомрезания на станке с исполнительнымимеханизмами управления скоростью по 1393531 14дачи и скоростью главного движения содержащее два канала измерения, первый иэ которых включает преобразователь виброакустической эмиссии режуще 5 го инструмента, соединенный с предварительным усилителем, устройство также содержит лазер, фотоприемный элемент, информационный выход которого подключен через блок питания и 10 управления к входу аналого-цифрового преобразователя, последовательно соединенного с блоком вычисления, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, первый канал измерения дополнительно снабжен соединенными последовательно блоком параллельных полосоых фильтров, переключателем каналов, балансным модулятором и уси- эО лителем мощности электрических сигУ налов, а преобразователь виброакустической эмиссии режущего инструмента выполнен со сферически вогнутым пьезоэлементом, устройство также снаб жено вторым каналом измерения, содержащим виброакустический преобразователь обрабатываемой детали со сферическим вогнутым пьезоэлементом и выполненным аналогично первому каналу, устройство также снабжено интерферометром Маха-Цендера, содержащим два акустооптических модуляторасо сферически вогнутыми пьезопреобразователями и Фурье-объектива, причем акустооптические модуляторы иФурье-объективы попарно оптическисвязаны между собой, входы акустооптических модуляторов связаны с выходами соответствующих усилителеймощности первого и второго каналовизмерения, входной светоделительныйкуб интерферометра расположен на одной оси с лазером и оптически с нимсвязан, а выходной светоделительныйкуб интерферометра содержит фотохромные покрытия, причем на двух входныхгранях покрытие выполнено с коэффициентом пропускания по логарифмическому закону, а выходной грани - с коэффициентом пропускания по антилогарифмическому закону, выходная граньоптически связана через введенные дополнительный Фурье-объектив и масштабирующий объектив с фотоприемным элементом, а выходы блока вычисления через введенные цифроаналоговые преобразователи подключены к исполнительным механизмам управления скоростьюподачи и скоростью главного движениястанка.