Способ обезгаживания элементов электронных приборов

Номер патента: 511646

Авторы: Сухомлинов, Шимко

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е (щ,:6 ц 646ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Сьветскик Социалистючесюа РеспублнкК АВЮРСКОМУ СВИДВТВЛЬСТЭУ 1) Дополнительное к а я-ву 1) 1. Кл 2 011 9 УЗ 32) Заивлеио 12,02.74 (присоединением заявки 998608725 ГввуаврстввккМ еетвтЮавтв меквтрва М нор43) Опубликовано 25,04.7643 вллетеиьб) Дата опубликования описания 02.09(71) тель 54) СПОСОБ ОБЕЗГАЖИВАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ЗЛБКТРОННЫХ ПРИБОРОВеэгвж 1 ЯИзобретение ОТноснтсяк электронной тех- восходит массу электронов и в силу малой1 нике и, в тастности, к области очистки и, скорости при наличии высокочастотного поля1 обем аанвеиия элементов электронных при- они не достигают очищаемых поверхностей,1 боров. Известный способ обезгаживвния, в результате чего устраняется их распылениеуществляемьтй в вакууме при возбуждении 5; Изменение мощности генератора, создакМгазового разряда, сопровождается распыле- щего высокочастотное поле, приводит к пераэм очищаемых поверхностей. :, мещэнию 1 зоны разряда вдоль обрабатываемыхЦель изобретения - устранить распыление поверхностей, что улучшает условия обеэгвматериала обрабатываемых деталей, живания приборов.Это достигается тем, что возбуждаютйо1 высокочастотный" вторичнс-электронный ре- Ф о р м у л а и э о б р е т е н и язонвсный разряд в интервале давлений 1010 мм рт, ст. Способ об иввния э 1 ементов электПри возбуждении высокочастотного вт: ронных приборов, например, коаксиального1 рично-электронного резонансного разряда ос резонатора, в вакууме при возбуждении гаэоновную роль в процессе обеэгаживвния обра- вого разряда, о т л и ч в ю щ и й с я тем,батываемьтх элементо:электронных приборов что, с целью устранения распыления матеиграют электроны с энергиями- вдиапазоне риала обрабатываемых деталей, возбуждают50-1500 эв, в образующиеся в процессе раз- высокочасгтиый вторично-электронный реряда ионы практически в очистке не участ- эонвцсный разряд в интервале давлю ии;руют, поскольку их масса значительно пре10- мм рт, ст,

Смотреть

Заявка

1998608, 12.02.1974

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7797

СУХОМЛИНОВ ВЯЧЕСЛАВ ВАСИЛЬЕВИЧ, ШИМКО АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 9/38

Метки: обезгаживания, приборов, электронных, элементов

Опубликовано: 25.04.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-511646-sposob-obezgazhivaniya-ehlementov-ehlektronnykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ обезгаживания элементов электронных приборов</a>

Похожие патенты