Способ определения типа проводимости вырожденных полупроводниковых материалов

Номер патента: 913793

Автор: Коршунов

Описание

1. Способ определения типа проводимости вырожденных полупроводниковых материалов, преимущественно с различными эффективными массами электронов и дырок, основанный на сравнении параметров, измеренных на исследуемом материале и эталоне, отличающийся тем, что, с целью упрощения и обеспечения бесконтактного определения типа проводимости приповерхностных слоев, в качестве эталона используют невырожденный полупроводниковый материал, образец и эталон освещают поляризованным светом с длиной волны, не превышающей длины волны красной границы поглощения кр.эт эталона, плавно перестраивают длины волн и находят наименее отстоящие друг от друга и от кр.эт значения длин волн 1 и 2, для которых равны значения эллипсометрического параметра образца и эталона, в интервале длин волн 1- 2 снимают и сравнивают зависимости параметров образца л и эталона o от длины волны и определяют тип проводимости по знаку разности ( ) = л- o: ( ) < 0 - n-тип, ( ) 0 - p-тип.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что параметры л и o измеряют на одной длине волны, лежащей в интервале 2 1.

Заявка

2760992/25, 03.05.1979

Научно-исследовательский институт механики МГУ им. М. В. Ломоносова

Коршунов А. Б

МПК / Метки

МПК: G01N 21/00

Метки: вырожденных, полупроводниковых, проводимости, типа

Опубликовано: 20.09.2001

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-913793-sposob-opredeleniya-tipa-provodimosti-vyrozhdennykh-poluprovodnikovykh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения типа проводимости вырожденных полупроводниковых материалов</a>

Похожие патенты