Устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем

ZIP архив

Текст

(54) (57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЙ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащеесемиплечий резистивный мост, индикатор, одним выводом соединенный содной из вершин измерительной диаго-.нали моста, источник питания и регулируемый резистор, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, в неговведен трехплатный уравновешивающийэлемент с тремя наборами дискретныхрезисторов, причем два из них обра- .зуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий включен последовательно с источником питания диагоста, актаственно и регулирналь пит ист ором ия семиплечего подключения об зажимы дляизмеренияс общим в единены соотве дом третьего и стого ика- ечо ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТ ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И АНИЕ ИЗОБР(71) Львовский ордена Ленина политехнический институт им, Ленинскогокомсомола и Львовское производственное объединение "Микроприбор"им. 60-летия Советской Украины(56) 1. Пеленский Р.А. Схемы дляисследования параметров контакта.Сб. "Контрольно-измерительная техника", 1981, Р 29.2. Коган Л.В, О выборе схемы дляповерки.и подгонки низкоомных термометров сопротивления, - "Теорияи практика для преобразования электроизмерительной информации". Киев(ЕНИЯ У".,леч моста, другим выводомора первым плечом и седьмым11 ьц 6132. Устройство по п. 1, о т л и - индикатора применен цифровой вольтч а ю щ е е с я тем, что в качестве метр.401Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь-,зовано на предприятиях электроннойпромышленности для контроля качества технологических процессов изготовления интегральных схем.Известно устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем, контакты которых включаются в схему. одинарного, 10моста по четырехзажимной схеме.Последовательно с соединительными проводами включены сопротивления кристалла неизвестной величины. При измерении сопротивления контакта необходимо тройное уравновешиваниемоста с добавлением сопротивленийизвестной величины в.плечи, смежныес плечом, содержащим измеряемоеконтактное сопротивление 1. 20Недостатком устройства является низкая производительность.,Наиболее близким по техническойсущности является семиплечий резистивный уравновешенный мост, состоящий.из плеч отношения г и г, плеча сравнения г плеча с измеряемымсопротивлением г, второго плечасравнения, в котором, кроме декадрезисторов с сопротивлением г , спа" З 0ренным с помощью двухплатного переключающего элемента с сопротивлением основного плеча сравнения,находится резистор с сопротивлениемг, плеча с сопротивлением величиной г - г, перемычки, соединяющейузел, в котором соединяются плечис сопротивлениями г и г - г с узлом,в котором соединены измеряемыйобъект с вторым плечом сравнения,гальванометра, источника питанияи регулировочного резистора. Двухплатный переключающий элемент состоит из четырех двухплатных декадныхпереключателей с двумя наборамирезисторов каждый. Уравновешиваниесемиплечего моста производится спомощью четырех двухплатных декадных 2переключателей до установления нуляна гальванометре Г 2 .1,Недостатком семиплечего уравновешенного моста является низкая производительность вследствие того,что уравновешивание схемы производит.ся с помощью четырех двухплатныхдекадных переключателей,Цель изобретения - повышение про"изводительности при измерении с помощью семкплечего моста сопротивлений омических контактов интегральных.схем.Поставленная цель достигаетсятем, что в устройство для измерениясопротивлений омических контактовинтегральных схем, содержащее семиплечий резистивный мост, индикатор,одним выводом соединенный с однойиз вершин моста в измерительнойдиагонали моста, источник питанияи регулируемый резистор, введентрехплатный уравновешивающий элемент с тремя наборами дискретныхрезисторов, причем два из них обра.зуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий - включенпоследовательно с источником питания и регулируемым резистором в диагональ питания семиплечего моста,а зажимы для подключения объектаизмерения соединены соответственнос общим выводом третьего и шестогоплеч моста, другим выводом индика 1тора, первым плечом с седьмымплечом.В качестве индикатора может бытьприменен цифровой вольтметр,На чертеже изображена схемаустройства, Устройство содержитнабор дискретных резисторов 1 первого плеча семиплечего моста, трехплатный уравновешивающий элемент 2,набор дискретных резисторов 3 седьмого плеча, набор дискретных резисторов 4 цепи питания моста, зонды 5,резистор 6 второго плеча моста, резистор 7 третьего плеча моста, изме613 4зывает наборы дискретных резисторов 1, 3 и 4,Резисторы 6, 7, 12 и 13 имеютследующие величины сопротивлений:резистор .6 - гз, резистор 7 - г,резистор 12 - г - г, резистор13 - гПринцип работы устройства состоитв том, что с помощью трехплатногоуравновешивающего элемента 2 производится частичное уравновешиваниесхемы путем одновременного изменениявеличины сопротивлений наборов дискретных резисторов 1, 3 и 4. Уравновешивание производится до тех пор,пока показание цифрового вольтметрастановится минимальным. Величинаизмеряемого сопротивления 8 находится по сумме показаний на шкале трехплатного уравновешивающего элемента 2и цифрового вольтметра 14.С помощью набора дискретных резис"торов 4 осуществляется нелинейныйзакон регулирования тока питаниясемиплечего моста. Величина сопротивления набора дискретных резисторов 4рассчитывается из условия, чтобы на каждом поддиапаэоне показание цифровоговольтметра 14 строго соответствовалонеуравновешенной частисопротивления;В процессе наладки прибора величину этого сопротивления можно подобрать для каждого подциапазонаэкспериментально. В устройстве сочетается метод частичного уравновешивания схемы с помощью трехплатногоуравновешивающего элемента, со шкалыкоторого считывается две первые цифры результата, с неуравновешеннымметодом измерения остальной частионтактного сопротивления с помощьюцифрового вольтметра.Таким образом, предлагаемое устройство позволяет повысить производительность, точность результата измерения и применять его в условияхмассового производства интегральныхсхем, что увеличивает процент выходагодных изделий на предприятиях, вьюпускающих интегральные схемыль В, СеменчукЙовжий Корректор А. Тяско 1 О 3 1164 ряемое сопротивление 8 омического контакта интегральной схемы, полу проводниковый кристалл 9, металлические токовыводы 10, перемычку 11, резистор 12 шестого плеча моста, резистор 13 седьмого плеча моста, цифровой вольтметр 14, источник 15 питания и регулируемый резистор 16.Первое плечо моста состоит из набора дискретных резисторов 1 и зонда 5, второе и третье плечи - плечи отношения моста состоят из резисторов 6 и 7 соответственно.в Измеряемое сопротивление 8 образует четвертое плечо моста и находится 15 на границе раздела системы полупроводниковый кристалл 9 - металлический токовывод 10. Пятое плечо моста содержит перемычку 11, зонд 5, металлический токовывод 10 и полупровод никовый кристалл 9. Шестое плечо моста образовано резистором 12. Седьмое плечо моста состоит из резистора 13, набора дискретных резисторов 3, зонда 5, металлического 25 токовывода 10 и полупроводникового кристалла 9. На полупроводниковом кристалле 9 нанесены три металпических токовывода 10. С помощью четырех зондов 5 структура полупровод- ЗО никовый кристалл - металлические токовыводы подключена в схему семиплечего моста по четырехзажимному методу включения. В измерительную диагональ моста между зажимом, образованным вторым и третьим плечами моста, и зондом 5, подсоединенным к среднему токовыводу структуры полупроводниковый кристалл - металлические токовыводы, включен цифро-вой вольтметр 14.В диагональ питания моста, соединяющую зажим, образованный первым и вторым плечами моста, с зажимом,Ъобразованным шестым .и седьмым плечами моста, последовательно включены набор дискретных резисторов 4, . источник 15 питания и регулируемый. резистор 16. Трехплатный уравнове, шивающий элемент 2 механически свяСоставитеРедактор Л. Пчелинская Техред С.Заказ 4181/41 Тираж 748 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва. Ж Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Смотреть

Заявка

3393839, 17.02.1982

ЛЬВОВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. ЛЕНИНСКОГО КОМСОМОЛА, ЛЬВОВСКОЕ ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "МИКРОПРИБОР" ИМ. 60 ЛЕТИЯ СОВЕТСКОЙ УКРАИНЫ

КОЧАН ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ, ПЕЛЕНСКИЙ РОМАН АНДРЕЕВИЧ, ГАЛКИНА НАДЕЖДА СЕРГЕЕВНА, НОВОСЯДЛЫЙ СТЕПАН ПЕТРОВИЧ, САВАНЕВСКИЙ ВЛАДИМИР ГРИГОРЬЕВИЧ, СОБЕНКО ИВАН ФЕДОРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01R 17/10

Метки: интегральных, контактов, омических, сопротивлений, схем

Опубликовано: 30.06.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1164613-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-soprotivlenijj-omicheskikh-kontaktov-integralnykh-skhem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем</a>

Похожие патенты