G03F 7/20 — экспонирование, устройства для этой цели

Копировальный станок

Загрузка...

Номер патента: 17004

Опубликовано: 30.09.1930

Автор: Шкуренко

МПК: G03F 7/20, G03B 27/02

Метки: станок, копировальный

...в него стеклом, енабжейным особыми:присосами для прижимания негатива к, стеклу, установлена на поддержке, откидывающейся вверх, а для прижима. ния ее к кОпировальному камню служитоткидная рамка с эксцентриком. Сцелью точной установки амня в горизонтальной плоскости, к аппарату приспособлен ствол, установленный против прореза,в столе станка и снабженный по, углам винтамидля точной, установки камня в, горизон:,тальном положении,,На чертеже фи, 1: изображаег видстанка сверху; 1 фиг, 2 в в, его, сбоку; фиг.3 - .поперечный разрез рамки; фиг,:4 -вид рамки сверху; фиг, 5 вид рамкисбоку;фиг. 6 -разрез стекла с приСосйми;фиг. 7 - .вид его сверху:По, краям стола а (фиг. 1 и 2) уложены -, планки, б с,укреплениыми на них подШип- ниКами в, в которь...

Копировальный станок для нанесения рисунка на печатные валы отделочного производства текстильных предприятий

Загрузка...

Номер патента: 104365

Опубликовано: 01.01.1956

Авторы: Сташков, Лобзин, Миланичев

МПК: G03F 7/20

Метки: предприятий, станок, отделочного, производства, нанесения, рисунка, валы, текстильных, копировальный, печатные

...с рисунком накладывается прозрачная цлешса 24, свисающие края которой нагружаются планками с грузами 2)хЗатем поворотом штурвала 6 ц перемещением рычага 22 а валики 9, 10 и 11 ставятся в рабочее положение и обсспечивак)т надежный контакт печатного вала и пленки монтажа с рисунком.Между валиками 9 и 10 имеется, щелевое пространство, через которо направляются свстовые лучи, напри. мер, )т кварцевых ламп; остальная часть 1 чатцого Вала завсшивяется свтсцспроцпцасх)1 ми шторками.Г 1 рдмс т цзос)ретецця1. 1(сц) прова, ьцый ст 1 цок1 Я цяцсссци 51 рисунка ц 1 печатные галы отделочцоо процзводства тскстиьцьх прсдпри 51 тци, состояц 5 Й из станицы с Вум 51 1 юликовь)ми Опорами, прижимного устройства и мсхашзма приВОдя, 0 т л и 1 а О щ и Й с...

Способ образования выпуклого изображения, например, на пластинах

Загрузка...

Номер патента: 146213

Опубликовано: 01.01.1962

Авторы: Ефимов, Карасик

МПК: G03F 7/20

Метки: выпуклого, например, изображения, пластинах, образования

...грунтуют и сушат в термостате при температуре 100 в течение 1 час, После этого наносят в два слоя черную эмаль АМ с промежуточной сушкой в термостате при температуре 70 и послед ошей сушкой на воздухе и в термостате. Затем наносится слой белой эмали АССП в несколько приемов с промежуточ 1 зь 1 мп сушками в термостате.Подготовленные таким ооразом поверхности прошкуривают и очи. .щаюг от остатков пь 1 ли .Затем наносят на эти поверхности тонким слоМ 146213 ем светочувствительную эмульсию, просушивают ее и засвечивают через негатив наносимого изображения, После этого проявляют изображение отмывкой теплой водой в течение 1 - 2 мин до обнажения лаковой пленки в незадубленных местах. Далее пг осушивают заготовку и удаляют оонаженные...

Фотографический способ нанесения оптических шкал на светочувствительное стекло

Загрузка...

Номер патента: 149032

Опубликовано: 01.01.1962

Автор: Бородай

МПК: G03F 7/20, G03C 5/16

Метки: стекло, фотографический, светочувствительное, нанесения, оптических, шкал

...при его облучениитрафиолетовыми лучами через соответствующий негатив, которымжет служить сверхконтрастный негатив на фотопластинке с тостеклянной основой (толщиной около 1 мя).Такой негатив-шкала хорошо пропускает излучение с длиной волны 280 в 3 илк, которое для данного стекла является областьютинистой радиации, Для получения резкого изображения на стекле сдует вести облучение параллельным пучком,В качестве источника ультрафиолетовых лучей рекомендуетсяртутно-кварцевая лампа типа СВДШ или ПРК.149032 Предмет изобретения Фотографический способ нанесения оптических шкал на светочувствительное стекло, состоящий в фотокопировании негативного изображения шкалы в ультрафиолетовом свете на стекло и проявлении изображения нагреванием...

Устройство для контактной фотопечати

Загрузка...

Номер патента: 236577

Опубликовано: 01.01.1969

Автор: Никитин

МПК: G03F 7/20

Метки: фотопечати, контактной

...1 дан общий,вид устройспва, на фиг, 2,показано крепление кассеты с негати,вом к головке проектора.Устройство состоит из головки проектора 1, подвешенной на кронштейне 2, координатного стола 3, установленного на шариковых опорах и имеющего возхожность перемещаться в горизонталвной плоскости в двух, взаимно перпендикулярных направлениях, вакуумного прижима, посредством шланга соединенного с насосом 4. К столу 8 прикреплена фотопластинка б. При опускании рукоятки 6 головка ТАКТНОЙ ФОТОПЕЧАТ проектора 1,;имеющая закрепленную,на неи кассету 7 с негатввом 8, опускается вниз, и негатив 8 прижимается к фотопластинке 5,Две,мембраны 9 н 10 связаны между собой.5 Мембрана 9 посредством штифтов 11 прижимается к головке проектора 1. Мембрана 10...

Фотокоординатограф

Загрузка...

Номер патента: 505006

Опубликовано: 28.02.1976

Авторы: Коробко, Дещиц, Ажаронок, Грекович

МПК: G03F 7/20

Метки: фотокоординатограф

...счетчика соединен с выходом блока управления 6, соединенного с координатным столом 9и оптической головкой 2,Координатный стол 9 фотокоординатографаприводится в движение с помощью шаговых25 двигателей, которые управляются импульсами, выдаваемыми из блока управления 6 попрограмме. Фотоматериал, закрепленный накоординатном столе 9, экспонируется с помощью световаго пучка, формируемого олти 30 чеокой головкой 2. Форма и оавещенность све505006 ЦНИИПИ Заказ 1079/8 Изд. М 1205 Тираж 575 Подписное Типография, пр. Сапунова, 2 тового пятна на поверхности фотоматериала зависят от формы и размера диафрагмы, выбираемой по программе, путем поворота,диафрагменного,диска в оптической голодовке 2. При повороте,диафрагменпого диска импульсы...

Копировальное устройство

Загрузка...

Номер патента: 532841

Опубликовано: 25.10.1976

Авторы: Кривошеев, Гройсман

МПК: G03F 7/20

Метки: копировальное

...на остове 1. На верхней раме имеются ось 9 и шар.нир 10 для крепления подпужиненной гиб-кой тяги 11. На остов 1 подвижно крепится винт 12 с гайкой 13 и упоры 14 и 15,К гайке 13 шарнирно прикреплены подпружиненная гибкая тяга 11 и шток 16, В:крайних йоложениях гайка останавливается,с помощью путевых выключателей 17, 18и 19, Для предварительного прижима верх 1 р ней рамы служит пружина 20.Копировальное устройство работает следу- юшим образом. Ходовой винт 12, вращаясьперемещает гайку 13, которая перемещаетшток 16, взаимодействующий с осью 9 верх .ней рамы, приподнимая ее. Для ограниченияподъема верхней рамы служит путевой выключатель 18. При перемещении гайки внизшток 16 опускается и верхняя рама 2 со:;прикасается с нижней рамой...

Приводное устройство цилиндраформодержателя, например, в установках для экспонирования печатных пластин

Загрузка...

Номер патента: 535546

Опубликовано: 15.11.1976

Авторы: Макаровский, Пехарев, Плисак

МПК: G03F 7/20

Метки: пластин, приводное, печатных, установках, например, экспонирования, цилиндраформодержателя

...и начем водило обгонной муфты мополнено с рукоятками.На фиг, 1 представлено описройство, общий вид; на фиг. 2,обгонной муфты по А - А и В - Вразрез фрикционной муфты по ия путем осуровки и ручрыва кинема б устройстве на ционная муфводилом обма которой нно на валу станине, прижет быть выываемое уст 3 - разрезь; на фиг. 4 -Б - Б. Приводное устройство теля 1 на валу 2 сос 1 илиндра-формодерит из установленных 30 Изобретение относится кления гибких фотополимерньтин.Известны приводные устрформодержателя, например,экспонирования печатных плщие закрепленный на станитель с редуктором и механивиде обгонной муфты (1).Недостатком известных уснеобходимость рассоединеницепи. и экспонировании печатнои пластины в 28...

Копировальное устройство

Загрузка...

Номер патента: 545962

Опубликовано: 05.02.1977

Авторы: Кривошеев, Гергиль, Гройсман

МПК: G03F 7/20

Метки: копировальное

...Г) Фото фо 3 сторон 80. При 0 11 и 12 и ПРИВОЛЯ В отволятся лля ее бесуклалыьа1. М,) 1роте рзмьчиваютсяжение ствтороцы соятствеццо рматоо стся цз поворО 1 н) 1 ПОВОЧЦЛЯСГСЯ:,1Вокруг оси 2 тяги вокруг шарнира 15, орки 4 и 5, которые ЗЛЗВЗЯ ВОЗЗОЖЦОСТЬ о прокола. пр ово ора Целью изоб конструкции ус,вусторон 0 ГЯне за креп отной Когда поноро устанавливаетсястворки панелицое положение.яют фиксировз10 м положе 1 из дву остове ней ра х ст и с двусторош зоцтальцое возвращаю вовесы И орки пзцсл ои п На чертеже изображецгхема копировального устро ствз. Ко 1, ось двустобретцц Провальное устроиств 2, на которой закре ронняя рама ), панел источниками света 6. у шарнирами 7, 8жц Ь 1 поворотнаях г во о; о сод плена ойство, сол РОНЦ 1010...

Способ переноса изображения с фотошаблона на подложку с фоточувствительным слоем

Загрузка...

Номер патента: 577506

Опубликовано: 25.10.1977

Автор: Алкин

МПК: G03F 7/20

Метки: слоем, переноса, фоточувствительным, подложку, фотошаблона, изображения

...илитемпературы, определяния:. ),с-с - сги н 7коэффициентошаблона итемпературодложки;ный размер изображени з ом.Вначале изображефотошаблона, изготоле, на фоточувствитложки, изготовленноражение имеет вид,шкалы,В результатеведенного при одФотошаблона и по77506 Составитель В.ИпполитовТехред И. Климко Корректор Л. Небола Редактор М.Рагова Заказ 36 81/35 Тираж 574 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035 д Москвад Жд Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патен, г, ужгород, ул, Проектная,4 работки измерения первых образцов шкалы устанавливают, что шлала имеет систематическую ошибку изготовления. Определяют коэффициенГы 3 е 11 ОГО расши - рения фотошаблона и подложки, после чего для...

Биметаллический трафарет

Загрузка...

Номер патента: 620936

Опубликовано: 25.08.1978

Авторы: Ситникова, Мелик-Оганджанян, Скопцова, Литваковский

МПК: G03F 7/20

Метки: биметаллический, трафарет

...резким краем, котор разрыв верхник проводнико Известны так же бимет трафареты, содержащие осн стием, размер которого бо прецизионного отверстия в металла 121,С целью повышения качслойных пленочных структу) ния рисунка межслоевой и проколов и с пологим краем устройстве размещена на фоУстройство показано на Устройство представляет таллический трафарет, состо новы 1 с отверстием 2, р ложку 6,Устоойствс раразом.Размер прецизионного отв в слое второго металла 4 оп границы слоя межслоевой иэ симальной толшины. Р зоне рого металла 4 над основой р вв изготовлены об едстввляет собой плвподложке. Нлатв имеие проводников и 160опоя. На ситвлловую ким напылением в медь с подслоем хроЗаказ 4653/43 Тираж 564 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета...

Установка для экспонирования гибких печатных плат

Загрузка...

Номер патента: 1068881

Опубликовано: 23.01.1984

Авторы: Бурмистров, Резник, Шрамко, Сеин

МПК: G03F 7/20

Метки: печатных, гибких, плат, экспонирования

...на валу, причем в полость между двойными стенками барабана помещена надувная резиновая оболочка с ниппелем.Надувная резиновая оболочка мо-. жет выполняться.в виде незамкнутого кольца с разъемом. вдоль оси барабана.Кроме того, надувная резиновая оболочка может быть выполнена в виде замкнутогО кольца из автономных секций, разделенных плоскими перемычками, причем каждая секция снабжена,ниппелем.5 О стекла, внутреннего. цилиндра 2 изтакого же материала, торцовогофланца 3, болтов 4 с резиновыми шайбами 5, которыми наружный 1 и внут ренний 2 цилиндры крепятся к торцовому фланцу 3, кольцевой надувнойоболочки б с .радиальными секциямии перемычками и ниппелями 7 - длямалогабаритных печатных плат (фиг.4.),незамкнутой кольцевой надувнойоболочки 8 с...

Копировальное устройство

Загрузка...

Номер патента: 1103193

Опубликовано: 15.07.1984

Авторы: Гройсман, Макаровский, Баран, Гергиль

МПК: G03F 7/20

Метки: копировальное

...и экранирующей светозащитной шторкой с планетарным механизмом ее перемещения, водило которого закреплено на раме, центральное колесо установлено неподвижно на остове, а выход этого механизма кинематически связан с бесконечной гибкой лентой, связанной с экранирующей шторкой, причем передаточное отношение указанного механизма таково, что при повороте рамы на 180 экранирующей шторке всегда обеспечивается верхнее положение.На фиг, 1 изображена принципиальная схема и редл ага емого устройства; на фи г. 2 - разрез А - А на фиг. 1.Копировальное устройство включает остов 1, на котором жестко закреплены полые полуоси 2. На последних свободно сидит поворотная рама 3, соединенная тягами 4 с панелями-створками 5, на которых смонтированы...

Фотокоординатограф

Загрузка...

Номер патента: 1142807

Опубликовано: 28.02.1985

Авторы: Кашин, Слипченко

МПК: G03F 7/20

Метки: фотокоординатограф

...привод 40набора сменных диафрагм, первый модулятор и блок управления, выполненный с элементами И, ИЛИ, одновибратором и задатчиком с выходами сигналов команд включения первого и второго приводных механизмов и выходомсиГнала команды смены диафрагм, подключенным к приводу набора сменныхдиафрагм, снабжен дополнительным модулятором повышенной мощности, а 50блок управления снабжен элементамизадержки, при этом выход сигнала команды включения первого приводногомеханизма подключен непосредственно кпервым входам первого, второго и третьего элементов И и через первый элемент задержки - к второму входу второго элемента И, выход сигнала ко-807 2 манды включения второго приводного .механизма подключен непосредственнок первым входам...

Установка для экспонирования полиграфических форм

Загрузка...

Номер патента: 1166049

Опубликовано: 07.07.1985

Авторы: Морозов, Морозова, Грибков

МПК: G03F 7/20, G03F 7/24

Метки: полиграфических, форм, экспонирования

...и экспонируемой пластиной достигается за счет центробежной силы, прижимающей пластину и фотоформу к внутренней поверхности цилиндра, в результате чего необходимость в покровном стекле отпадает.На фиг. 1 представлена схема установки для экспонирования полиграфических Аорм; на фиг 2 - цилиндр в положении установки; на Аиг. 3 - цилиндр в" положении съема форм; на фиг. 4 - разрез А-А на фиг. 2, зажим для крепления пластин на цилиндре.Установка состоит из цилиндра 1, который при помощи своего фланца 2 сопрягается со средством 3 фиксации, которое может быть выполнено в виде ряда свободно вращающихся роликов или в виде кольца подшипника, На другом торце цилиндра 1 имеется полумуфта 4, кинематически связанная с приводной полумуфтой 5,...

Устройство для проекционного экспонирования в микролитографии

Загрузка...

Номер патента: 1233091

Опубликовано: 23.05.1986

Авторы: Фаловский, Горский, Устинов, Сычев, Тер-Маркарян, Аникиев, Керимов

МПК: G03F 7/20, G03B 27/50

Метки: микролитографии, экспонирования, проекционного

...фиг. 1 изображено устройство,общий вид; на фиг. 2 - сечение полойтрубки устройства.Устройство содержит источник 1света ультрафиолетового диапазона,оригинал 2, расположенный между источником 1 света и устройством изменения масштаба изображения оригинала 2, которое выполнено в виде конусов 3 со стенками из материала, обладающего фотоэлектронной и вторичной электронной эмиссией. На торцовые поверхности конусов 3 нанесеныпроводящие электроды 4 и 5, связанные с источником б напряжения. Пучексужающихся конусов 3 расположен между оригиналом 2 и экспонируемой поверхностью 7 с нанесенной на нееэлектропроводящей пленкой 8, причемширокие торцовые поверхности набораконусов 3 обращены к оригиналу 2,а узкие - к экспонируемой поверхности 7....

Установка для экспонирования печатных плат

Загрузка...

Номер патента: 1282069

Опубликовано: 07.01.1987

Авторы: Патрикеев, Шрамко, Сеин, Федорова

МПК: G03F 7/20

Метки: печатных, плат, экспонирования

...(фиг. 3 - 4). Для плотного закрепления заготовок одной стандартной толщины печатных плат с фотошаблонами 28 верхняя рамка 23 из магнитного материала жестко соединена (запрессована или склеена) с верхней прозрачной пластиной 22, а нижняя рамка 23 из магнитного материала выполняется калиброванный с точностью по толщине +-0,03 мм, благодаря чему при закрытом узле закрепления заготовок верхние и нижние прозрачные жесткие пластины 22 плотно прижимаются к заготовке с фото- шаблоном 28, На каждый размер толщины плат заготовок имеется набор нижних рамок 23 с интервалом толщин через 0,03 мм.Установка работает следующим образом.Включает реверсивный электродвигатель 20, чтобы с помощью редуктора 19 шток 17, входящий в зацепление с выступом 16 узла...

Лазерное устройство растрового типа для изготовления фотошаблонов печатных плат

Загрузка...

Номер патента: 1610521

Опубликовано: 30.11.1990

Авторы: Яковлева, Буфан, Новиков, Нечаев, Виноградов, Иванов, Морозов

МПК: H01L 21/268, G03F 7/20

Метки: растрового, типа, лазерное, печатных, фотошаблонов, плат

...13. Поворотное зеркало 7направляет луч, прошедший фокусирующую систему 6, на вращающуюся зеркальную призму 8, которая обеспечивает его горизонтальную развертку каждой гранью, Развернутый луч направляется поворотным зеркалом 10 накадровое отклоняющее зеркало 11, обеспечивающее кадровую развертку лучана кассете с фотоматериалом 13. Вклю 40чение и выключение луча осуществляктоптическим затвором 4.В качестве технологического лазера в устройстве можно использоватьаргоновый лазер непрерывного действия(длина волны излучения 0,48 мкм,45 мощность 50 мВт), Оптическая система 3 представляет собой трубку Галилея, оптический затвор 4 выполнен на основе промышленного акустооптического модулятора МЛ, фокусирующая си "тема 6 включает в себя...

Способ получения рисунка спиральных элементов на фотошаблонах печатных плат

Загрузка...

Номер патента: 1674400

Опубликовано: 30.08.1991

Автор: Киселев

МПК: G03F 7/20, H05K 3/00

Метки: элементов, спиральных, печатных, рисунка, фотошаблонах, плат

...сектора -УО+Е,Дискретно увеличиваот радиус дуги доОзначения Вз =- В 2 + = в момент пересечеиния экспонирующим лучом оси +7, а центр дуги скачкообразно перемещают в точку С по окружности 4 в направлении стрелки 5 и перемещают экспонирующий луч по круговой дуге радиусом Вз в пределах сектора +70+Х и т,д. до достижения экспонируюдиус расположения центров дуг спирально,О,го элемента 1 из условия г =- - ; устанавлиивают экспонирующий луч в начальную точкуспирального элемента 1, расположенную напересечении окружности 2 радиуса г и первой оси (в данном случае - оси -Х), проходящей через центр спирального элемента,перемещают экспонирующий луч в каждомиз секторов по круговой дуге, при этомцентр дуги, формируемой между 1-й и +1-йосью,...

Устройство для совмещения проводящего рисунка на маске с рисунком подложки

Загрузка...

Номер патента: 1611158

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Самойлиди

МПК: H01L 21/312, G03F 7/20

Метки: подложки, рисунка, совмещения, проводящего, рисунком, маске

...поверхности другого совмещаемого обьекта ортогонально оси прецессии первого угол между плоскостями, а следовательно, и емкость конденсатора, будут постоянными по времени, цто позволяет использовать для измеоений мостиковую схему.Схема 9 узла контроля непараллельности рабочих поверхностей маски 1 и подложки 2 и микрозазора между ними постоянно следит за меняющейся емкостью конденсатора и совместно с блоком 3 обработки и управления вырабатывает и подает управляющие сигналы на двигатели б, добиваясь при этом такого положения подложки 2, когда величина электрической емкости конденсатора равна определенной наперед заданной велицине (эталонной емкости) и величина ее изменений отклонений от эталонной величины) за период прецессии ми...

Устройство для совмещения рисунка на маске с рисунком подложки

Загрузка...

Номер патента: 1618158

Опубликовано: 30.11.1991

Автор: Генцелев

МПК: H01L 21/31, G03F 7/20

Метки: рисунка, подложки, маске, рисунком, совмещения

...критическому углу, соответствующему явлению полного внутреннего отражения электромагнитного излученияот границы рабочая поверхность маски -вакуум зазора.Для получения максимальной интенсивности излучения на выходе каждого светопровода угол 3 между ограничивающимиплоскостями призм 8 определен из законаСнелла/3 = дГС 1 П (П 1/П 2 З 1 ПГХ)где п 1 и п 2 - соответственно показателипреломления материала маски 1 и подложки2.Нормальчое по отношению к входнымграням призм 7 направление хода электромагнитного излучения от источника 5 задают оптическим блоком 9, расположенным напути хода лучей от источника 5 к призмам 7.Устройство для совмещения рисунка намаске с рисунком подложки работает следующим образом,Излучение от источника 5 падает...

Установка для экспонирования фотополимеризующихся пластин

Загрузка...

Номер патента: 1781666

Опубликовано: 15.12.1992

Авторы: Макаровский, Генгало, Быков, Гридченко, Баран, Черная, Белицкий, Щерба, Горбань

МПК: G03F 7/20

Метки: экспонирования, пластин, фотополимеризующихся

...экран 2, вакуумный пластинодержатель 3, а также отражательныйэкран 4, размещенный надлюминесцентны ми лампами облучателя 1, и установленный под пластинодержателем 3 вакуумный насос 5 с вакуумметром 6. Светокорректирующий экран 2 включает в себя затвор 7,светорассеиватель 8, светофильтр 9 и осно вание 10.Установка работает следующим образом,На вакуумном пластинодержателе 3размещают фотопленку, накладывают на Указанная цель достигается тем, что установка для экспонирования фотополимеризующихся пластин, содержащая облучатель с люминесцентными лампами ультрафиолетового излучения, вакуумный 5 пластинодержатель и затвор, снабжена размещенным над вакуумным пластинодержателем перпендикуляррно. направлению светового потока...

Способ себежко в. н. получения скрытого изображения на пленочном фоторезисте и устройство себежко в. н. для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 2004083

Опубликовано: 30.11.1993

Авторы: Бутовецкий, Крупнов, Коломникова, Себежко

МПК: G03F 7/20, H05K 3/00

Метки: фоторезисте, пленочном, изображения, себежко, скрытого

...фотокомпозиции без видимойее вертикальной составляющей обьясняется, например, разницей более чем в два разалинейных размеров формируемого рисункаиз фоторезиста в этих плоскостях, т.е. в данном случае при толщине пленочного фоторезиста 50 мкм ширина формируемого изнего элемента составляет 125 мкм,Исходя из рассмотренной информации,возможности существующих сухих пленочных фоторезистов, например, по разрешающей способности могут быть расширены,если управлять величиной 2 Ьх. Для этогообратимся к фиг. 2.На фиг, 2 а показана известная совокупность элементов в вакуумной раме установки экспонирования перед формированием вфотокомпозиции скрытого изображения, Нафиг. 26 схематично показано начало усадкифотокомпозиции под...

Способ формирования микроизображений

Загрузка...

Номер патента: 1834530

Опубликовано: 20.05.1995

Авторы: Огурцов, Артемова, Кононов, Мещеряков, Поликарпов, Яковлев, Смоляницкий, Шульгин

МПК: G03F 7/20

Метки: формирования, микроизображений

...в масштабе "0:1). Максимально допустимым током луча, при котором обеспечивается возможность фор- " мирования изображений размером 0,2 мкм, является 0,25 мкА, При формировании изобракений в масштабе 10:1 требования к точности не будут удовлетворены, если ток превысит значение 10 мкА. Отсюда устанавливается требование ограничения площади сечения электронного луча в плоскости фокусировки таким образом, чтобы при выбранной на основании соотношения (1) плотности тока, общий ток луча не превышал значения иэ указанного выше диапазона.Известен способ экспонирования электронным лучом, согласно которому форми 1834530рование микроизображений обеспечивается облучением фигуры топопогического рисунка, прямоугольными штампами площадью, равной...