G01B 11/06 — для измерения толщины

Страница 2

Фотоэлектрическое следящее устройство

Загрузка...

Номер патента: 203942

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Николаев, Майоров

МПК: G01B 11/06

Метки: следящее, фотоэлектрическое

...реле Р 1, Р 2, Р 2 и Р 4 поляризованным реле Рб типа РПС, которо.срабатывает от тахогенератора 14 через транзистор 15 при уменьшении скорости электуопривода вдвое от максимальной.При отсутст 1 вии в,поле зрения фотоприемника 10 ооъекта слежения реле РР 2, Р, и Р 4 обесточены, а якорь реле Рб находится п исходном положении, т, е. в нижнем, что обеспечено действием разности токов 15 - 12)1 ораб1 л, тдгде 11 =, 12=; и 11)12,Лобм Иобм + 1)сгде 1 - сила тока, Ь - напряжение в цепи, Лоб - сопротивление обмотки реле, Р - дополнительное сопротивление на выходе цепи ввиду того, что транзистор 15 недостаточно Открыт из-за отсутствия ускорений во враще нии двигателя 9, отрабатывающего угловые рассогласования, При появлении ускорений во...

Способ измерения толщин тонких пленок в процессе их изготовления

Загрузка...

Номер патента: 205312

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Фурман, Кацнельсон

МПК: G01B 11/06, G02B 27/60

Метки: пленок, процессе, тонких, толщин

...образцом на пути напыляемого вещества устанавливают диафрагму 5, расположенную таким образом, что она экранирует часть образца, вследствие чего 30 пленка б образует на подложке ступеньку, вЫ- сота которой точно равна толщине пленки.Для измерения высоты ступеньки на эталонный образец проектируют объективом 7 изображение 8 растра 9, подсвечиваемого источником 10 с помощью конденсора 11. Оптическая ось проектирующсй системы расположена под углом 45" и больше к подложке. Поэтому, ч 1 обы изображение имело вид растра с постоянным шагом, необходимо растр устанавливать под углом к оптической оси, при этом шаг его должен меняться.После отражения от образца изображение растра проектируется объективом 12 в плос. кость, где установлен такой...

Устройство для контроля толщины пленки в процессе их нанесения на изделие

Загрузка...

Номер патента: 241700

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Сорока, Гребень, Траубе, Оранский, Кедра, Прудвиблох, Марец

МПК: G01B 11/06

Метки: изделие, толщины, пленки, нанесения, процессе

...ячейки 10 И соединен с выходом усилителя 9, другой - с,выходом задатчика 7, а выход - с иополнительным орга ном б.Источник 1 света .выполнен в виде ихопульсной лампы с приспособлением для ее завтуска, выключающим датчик 11 положения свидетеля и блок 12 задержки начала измерения, свя занный с этим,да,тчиком.Свидетель 8 и катод 18 установлены накассете 14, при вращении которой происходит нанесение пленки на них пульверизатором 15.Работает предлагаемое устройспво следую 25 щим образом.При прохождении овидетеля 8 возле источ,ника 1 света срабатывает датчик 11, запускающий источник света и одновременно,включающий блок 12. Из источника света выходят З 0 два потомака лучистой энергии один из кото241700 Предмет изобретений Составитель М. Б....

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения на изделие

Загрузка...

Номер патента: 241701

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Прудвиблох, Кедра

МПК: G01B 11/06

Метки: пленки, изделие, толщины, нанесения, процессе

...способу; на фиг. 2 - измерительный импульс; на фит. 3 - разностный импульс; на фиг. 4 - элементарный положительный импульс,Контроль толщины пленки в,процессе еенанесения,на катод согласно предложенному способу осуществляют следующим образом.Короткими периодическими вспышками 5 света освещают эталон и свидетель. Эталонный импульс (см, фпг. 1) является постоянньвм по величине и полярности. Измерительный импульс (см. фиг. 2), прошедший через свидетель, находится в противофазе эталон ному и уменьшается (по абсолютному значению),по мере увеличения оптической плотности (или толщины) наносимого слоя.Вследствие этого, разностный импульс (см.фиг. 3) также уменьшится. При каждой 15 вспышке производится измерение величиныразностного импульса...

Способ контроля толщины тонких пленок в процессе напыления в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 246085

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Кацнельсон, Фурман

МПК: G01B 11/06, G01B 11/02

Метки: пленок, процессе, толщины, тонких, вакууме, напыления

...на контролируемую пленку от источника света направляют световой поток, определяют величину интенсивности прошедшего через контролируемую пленку светового потока, по которой судят о толщине пленки. Однако эти способы имеют недостаточную точность контроля, когда оптические толщины слоев покрытия не кратны четверти одной и той же длины волны,Предлагаемый способ отличается от известных тем, что величину интенсивности прошедшего через контролируемую пленку светового потока в зависимости от длины волны определяют спектральным прибором в диапазоне длин волн, перекрывающем не менее половины октавы.Это позволяет повысить точность контроля толщины пленок.Описываемый способ заключается в с щем.Контроль толщины пленки в процессе напыления слоев...

Техническая библиотека

Загрузка...

Номер патента: 250466

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Захаров, Кузнецов

МПК: G01B 11/06, G01B 7/06

Метки: библиотека, техническая

...узкополосных интерференционных светофильтров, по предложенному способу используется источник 1 излучения светового потока, фотоэлектрический приемник 2 с контрольным светофильтром 3, 10 дпфференцирующий каскад 4, содержащийКС-цепочку, включенную в обратную связь усилителя 5 и гальванометра б.В предложенном способе контроль осуществляется следующим образом.15 Перед нанесением покрытия 7 пспарителем8 гальванометр б отключается от схемы и устанавливается на нуль, затем подключается на выход фотоэлектрического приемника 2.Подается сигнал величиной в 1000 делений 20 шкалы гальванометра б, после чего он с фотоприемника 2 подается на дифференцируюший каскад 4; гальванометр включается на выход усилителя 5 и поворотом зеркала...

Способ бесконтактного измерения толщиныпластин из

Загрузка...

Номер патента: 252624

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Владимирова, Мингалева, Коломийцов

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактного, толщиныпластин

...зеркал, Это отличие позволяет повысить 1 О точность измерения.Для упрощения процесса измерения через пластину пропускают сходящийся пучок лучей.Описываемый способ иллюстрируется черте жом.Бесконтактное измерение толщины пластины из прозрачного материала по предлагаемому способу производят следующим образом,Источником света 1 с помощью конденсор ной линзы 2 освещают диафрагму со щелью 3. Микрообъектив 4 при этом дает изображение щели 3 на поверхности вспомогательного зеркала 5. Наклонный сходящийся пучок лучей проходит через контролируемую пластину б, 25 расположенную вблизи поверхности зеркала 5, отражается от зеркала, еще раз проходит через пластину б и микрообъектив 7 и дает вторичное изображение 5, щели 3 в фокальной плоскости...

Способ определения статистических характеристик прозрачных диэлектрических пленок

Загрузка...

Номер патента: 252625

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Богословский, Усин

МПК: G01B 11/06

Метки: статистических, пленок, диэлектрических, прозрачных, характеристик

...микродвигатель 4,экран 5 с отверстием (апертурой) определенной геометрической формы, двояковыпуклуюлинзу б и регистрирующее устройство 7(фотоаппарат).Осуществляется предлагаемый способ следующим образом.Устанавливают в непосрести от экрана 5 испытуемый ной пленки 8 с известным по ломления и и с шероховатой водственных технологических п постыл. При этом падающая5 когерентного света генератора по фазе. Связь между изменен пленки и соответствующими ф гами выражается формулой Таким образом, дифракционная картина в 0 фокальной плоскости линзы б искажается. Если исследуемый образец пленки 8 привести во вращение, например, с помощью микродвигателя 4 так, чтобы за время экспонирования регистрирующего фотоаппарата 7 перед от верстием...

Способ контроля толщины тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 266223

Опубликовано: 01.01.1970

МПК: G01B 11/06, G01B 9/02

Метки: толщины, тонких, пленок

...свидетель попадает только одно вещество. На свидетели осаждение проводят столько раз, сколько раз наносят слои из определенного вещества на деталь. Вещество пспадает на свидетель, 20 когда он находится в рабочем положении,Остальные свидетели защищены от попадания вещества экр аном. Свидетелями могут служить разные участки одной и той же плоскопараллельной пластинки.25 Контроль толщины слоя на рабочем свидетеле осуществляется обычным фотометрическим способом. На свидетель направляют лучистый псток от источника света 1 лампы накаливания), Отраженный от свидетеля 1 либо 30 прошедший через свидетель) свет направляют266223 Составитель Л. ЛобзоваРедактор Л. Г. Герасимова Техред Л. Я, Левина Корректор В. Трутней Заказ 1646/11 Тираж 480...

Способ определения толщины тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 279975

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Ков, Долгов

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, толщины, тонких

...толщины тонкой пленки в любом заранее выбранном месте по пластине.Сущность описываемого способа состоит в 15 том, что в качестве индентора используют алмазный наконечник в виде пирамиды с ромбическим основанием и углами при вершине от 120 до 180 в плоскости большой диагонали и от 110 до 160 в плоскости малой диагонали, 20 с помощью микроскопа определяют разность длин больших диагоналей отпечатка на переходе пленка - подложка и на поверхности пленки, а затем вычисляют толщину пленки по известному уравнению 25/г = (Д 2 Д 1)где Дг - длина большей диагонали ромба на переходе пленка - подложка;Дс - длина большей диагонали ромба на поверхности пленки; 30 коэффициент, зависящий ри вершине пирамиды в иагонали.соб поясняется чертежом, ают...

Устройство для контроля толщины пленок

Загрузка...

Номер патента: 288307

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Хом, Ойленко, Лыткаринский, Астахов, Осиккин, Чеканов

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, толщины

...поочередного пропускання выходящих из монохроматора пучков света, фотоприемник о и измерительный 25 прибор 6. Устройство также снабжено двумя бипризмамн 7 и 8, из которых первая - светоделительная расположена после выходной щели монохроматора, а Вторая - перед фотоприемником, и цилиндрической линзой 9, рас положе;Ион в ходе световьх гуче между светоделительной прпзмон 7 и Дискох 1.Световой поток от источш 1 ка света, пройдя через контролируему 10 пленку 10, няпраВляе.ся оптической системой на входную щель 11 моюхроматора. Бипризма 7 разделяет вышедшей нз Выходной щелн 12 ыонохроматора спектр 2,1 ьныЙ интерВЯ;1 на двя у 31(нх хОнохрохЯтнчсских пучка с ве:ьма малой разностью длш вол л,1 и 1,2, симметрично расположенных относптельно...

Способ контроля толщины тонких пленок по

Загрузка...

Номер патента: 322608

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Андрющенко

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, толщины, тонких

...момент прекращения напыления даже при напылении первого слоя. Точность последующих слоев прогрессивно ухудшается.Цель изобретения - повысить точность контроля.Это достигается тем, что для контроля толщины напыляемой пленки фиксируют изменение интенсивности прошедшего через напыляемую пленку или отраженного от нее света длиной волны точек пересечения спектральных характеристик отражения или пропускания системы слоев с напыляемой пленкой и той же системы без нее. Например, для контроля толщины второго напыляемого слоя используют свет длиной волны точек пересечения спектральных характеристик пропускания или отражения одного и двух слоев, для контроля толщины третьего слоя - свет длиной волны точек пересечения спектральных...

Осеооюзная пйтуп;: -тх1ичска”: -библиотека

Загрузка...

Номер патента: 304429

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Качулис, Шаблов, Школьник, Жибицкий

МПК: G01B 11/00, G01B 11/06

Метки: осеооюзная, тх1ичска, пйтуп, библиотека

...подаю;его и приемного транспортеров, образу 1 ощих регулируемую в зависимости от длины измеряемого тела щель, через которую 15 направляются прошедшие сквозь пластину световые лучи.На чертеже показана принципиальная сх"- ма предлагаемого устройства.Устройство содержит источник 1 света, 20 светофильтр 2, зеркальные конденсоры 3 и 4, узел для базирования и подачи измеряемого тела, выполненный в виде подающего 5 и приемного 6 транспортеров, между которыми имеется регулируемая щель, фотоэлемент 7, 25 усилитель 8, исполнительный механизм 9, сортирующее устройство 10 и приводной двигатель 11.Предлагаемое устройство работает следующим образом. 30 Поток света от источника 1 направляется ца светофильтр, пропускающий лучи только определ иной части...

Устройство для измерения толщины тонких прозрачных пленок

Загрузка...

Номер патента: 311136

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Гусев, Урывский, Попов

МПК: G01B 11/02, G01B 11/06

Метки: тонких, пленок, прозрачных, толщины

...зависимостям между положением интерференционных экстремумов и толщиной пленки для различных порядков интерференции. Число токопроводящих кривых соответствует числу измеряемых интерференционных экстремумов, Приставка снабжена кареткой 12, несущей электрические контакты 13 и управляемый привод (на чертеже не показан) для перемещения этих контактов вдоль оси а.33ДругОЙ упраеляеъы привод (на черте)ке не показан) может перемещать каретю 12 вместе с контактами 13 вдоль коордипатноп оси д, па которой нанесена шкала 14, Градуированна 51 и значениях толщины пленки, 1 аретка несет указатель 15, позволяющий отсчитывать ее положение по шкале 14.Устройство работает следующим образом. Лспытуемьп образец устанавливают в держатель 2, расположенный на...

Прибор для измерения толщины прозрачныхдеталей

Загрузка...

Номер патента: 315016

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Шеве, Власов, Кан

МПК: G01B 11/02, G01B 11/06

Метки: толщины, прозрачныхдеталей, прибор

...которых определена каким-либо пригодным для этой цели прибором. Прибо деталей устройс прозрач 30 счет ц ыя измереццдержащийнапримерэлемент,ройством ц толцпгцы оптическое тсчетцьш стко связ расположево,цгпйст Изобретение относится к технике измерения толщины деталей.Известен прибор для измерения толщины прозрачных деталей, содержащий оптическое отсчетное устройство, цапример отсчетный микроскоп, прозрачный элемент, жестко связанный с отсчетным устройством и расположенный с одной из сторон измеряемой детали, и непрозрачную пластину.Предлагаемый прибор отличается от известного тем, что непрозрачная пластина установлена на противоположной стороне измеряемой детали, а прозрачный элемент выполнен в виде призмы, раздваивающей...

Устройство для контроля толщины

Загрузка...

Номер патента: 315019

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Ордена, Гавриш, Гродецкнй, Осечков

МПК: G01B 11/06

Метки: толщины

...в виде диска, установленного 30 в доп можн а осв допол их оп потокОп мере с возтвенной оси, ложены вне ры так, что рез паровой олнительнои стью вращен иеь и фо штельной ва ическая ось аку пя во тодатч двуми исываемое у ойство изобУстройство содержит рабочую вакууатнуто камеру 1, дополнительную вакуумную камеру 2, образец-свидетель 3, модуляционный диск 4, двигатель б, освгтптель 6, фотодатчик 7, усилитель 8 и измерительный прибор 9.Устройство работает следующим образом. Поток пара испаряемого вещества из рабочей вакуумной камеры попадает в дополнительную вакуумную камеру на образец-свидетель через отверстия в модуляционном диске. Пар осаждается на образце-свидетеле, покрывая его тонкой полупрозрачной пленкой, Образец-свидетель...

Бче. пиотекл

Загрузка...

Номер патента: 323650

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Егоров, Шевченко

МПК: G01B 11/06

Метки: пиотекл, бче

...1 ы тк 1 и, оумаг бы измерс 1 еся в том, количеству емой издсспосо люча удят поток, попадающий ца формацию о толщине ( ечецця) изделия, котора ектрцческцй сигнал фот руется регистрирующей систем тощадц преоб- элемец- аппарацзобретени исывае устройс изображ ого способа во, принциена на чер 2 д х Предлагаемый способ отличается от известных тем, что для повышения точности и чувствительности измерения листовых изделий, например тканей, используют астигматическцй сходящийся пучок двоякой симметрии и располагают изделие в его меридианальной плоскости.Для осуществления оп1может быть использовано тпиальцая схема котороготеже.Устройство содержит осветитель 1, оптическую систему двоякой симметрии, например, г виде положительной цилиндрической...

Способ измерения скорости образования и толщины пленок

Загрузка...

Номер патента: 325482

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: При, Пылаев, Биленко, Галишникова, Смирнов, Физики, Научно, Чернышевского

МПК: G01B 11/06

Метки: скорости, образования, толщины, пленок

...затем облучают указанную решетку внешним когерентным источником излучения и регистрируют из 3был бы порядка 10 - 100 Х, где Х - длина волны лазерного излучения. Кроме того, четкоеразделение максимумов и минимумов интенсивности в дифракционной картине зависит отчисла периодов решетки. Решетка, состоящаятолько из одной полоски окисла, окруженнойосновной подложкой кремния, дает достаточно четкую дифракционную картину распределения интенсивности.В процессе селективного эпитаксиальногонаращивания, когда пленка растет только наоткрытых участках кремниевой подложки и нерастет на окисле, будет происходить изменение фазы луча, отраженного от подложки. Фаза же луча, отраженного от окисленного участка, изменяться не будет. Таким...

Измеритель загрязненности поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: 326446

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Селиванов, Рудный, Клименко, Петроченко

МПК: G01B 11/30, G01B 11/06

Метки: загрязненности, поверхности, измеритель

...измеритель,Измеритель содержит ленту 1, систему направляющих ролцков 2 лентопротяжного механизма (на чертеже не показан), следящий ролик 3, редуктор 4, прижимной ролик 5, прижимной механизм б, вибратор 7, регистрирующее устройство 8, источник света 9, образцовую ленту 10, фотоприемники 11 - 12, измерительный блок 1 З и контролируемую поверхность 14.Измеритель загрязненности поверхности изделий работает следующим образом.Лента 1 с,помощью системы направляющих роликов 2 образует петлю и движется параллельно контролируемой поверхности 14. Следящий ролик 3, установленный перед лентой 1, находится в непосредственном контакте с контролируемой поверхностью 14, его линейная скорость немного меньше скорости движения контролируемой...

Устройство для спектроинтерференционногоконтроля толщины

Загрузка...

Номер патента: 337644

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Ионосффы, Распространени, Сибирский, Скоморовский

МПК: G01B 11/06

Метки: толщины, спектроинтерференционногоконтроля

...пластин.Устройство содержит осветительную систему, состоящую из источника света 1 и линзы 15 2, поляризатор, выполненный в виде поляризующей мозаики 3, анализатор, выполненный в виде анализирующей мозанки 4, оптическую систему, включающую коллиматор 5 и объектив б.20 Индексом 7 обозначена контролируемаяпластина, а индексом 8 - опорная пластина.Мозаики состоят из полосок поляроиднойпленки с плоскостью пропускания под углом 45 друг к другу.25 На фиг. 1 черточками показано положениеплоскостей пропускания полосок мозаики и оптических осей контролируемой и опорной пластин в плоскости, перпендикулярной плоф скости рисунка.30 Устройство работает следующим образом.337644 10 Фиг. 3 Фиг,Составитель ЛобзоваТехред Е, Борисова Редактор...

Устройство фотометрического контроля параметров диэлектрических покрытий, напыляемых в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 340883

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гаврилов, Московский, Гудков, Борисов, Бессольцев, Волков

МПК: G01B 11/06

Метки: вакууме, параметров, диэлектрических, фотометрического, покрытий, напыляемых

...диска 4 и оптически связанного с дополнительным источником 22 света, расположенным по другую сторону модулирующего диска. Кроме того, выход синхронного детектора соединен со входом блока 23 индикации с интегрирующей цепочкой, выход которого подключен ко входу измерителя 24 средней скорости нанесения покрытия.Устройство работает следующим образом. Луч света от,источника 1 проходит через конденсор 2 и объектив 3, модулирующий диск 4, иллюминатор 5, поворотные зеркала 9, 10, длиннофокусный объектив 11 и попадает на контролируемое покрытие 12. Отразившись от контролируемого покрытия, находящегося в фокусе объектива 11, луч света проходит через упомянутый объектив, поворотные зеркала 9, 10 и, пройдя через иллюминатор, попадает на...

Способ контроля толщины кристаллических

Загрузка...

Номер патента: 344265

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Скоморовский, Ионосферы, Распространени, Сибирский

МПК: G01B 11/06

Метки: толщины, кристаллических

...действии. На чертеже представлена схема, реализующая предлагаемый способ.Опорную пластину 1 и подгоняемую пластину 2 помещают между поляроидами 8 в 10 параллельный пучок света, создаваемый источником 4 монохроматического света и коллиматором б. Если толщины пластин приблизительно отличаются в два раза, их частично взаимно перекрывают, а оптические оси раз ворачивают на 90. С помощью кристаллического клина 6 получают интерференционные полосы на клине, на опорной пластине при совместном действии с клином и на общей части опорной и подгоняемой пластине 20 с клином при совместном действии с клином.Интерференционные полосы наблюдают через объектив 7. Доводку пластины ведут до тех пор, пока интер ференционные полосы на опорной пластине и...

Устройство для измерения толщины нанесенной на образец тонкой пленки

Загрузка...

Номер патента: 347564

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Кононов, Седов, Черников, Никишин, Попов, Урывскин

МПК: G01B 11/06

Метки: образец, пленки, толщины, нанесенной, тонкой

...цз того же материала, что и измеряемый образец.Работаег предлагаемое устройство следчо 10 гцим оооазом,,Чонохроматцческое излучение источника 7фокусируется системой 2 в плоскости измеряемого образца 5, помещенного на предметномстолике 4. Падающие на образец 5 лучи от 15 ражаются от наружной ц внутренней поверхности пленки, интерферцруют ц фокусируютсяв плоскости приемника 8 излучения с помсщью коцдецсора 7, увеличение которого выбрано таким образом, чтобы получить опреде 20 ленное линейное разрешение..Чодулятор 3 выполнен в виде зеркальногодиска с прорезью. Прц его вращении излучение с фокусцрующсц системы 2 надает попсременно то на измеряемый образец 5 через25 прорезь в диске ц далее на кондепсор 7, то назеркальную поверхность...

Датчик плотности пленки

Загрузка...

Номер патента: 357463

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Сорока, Марец, Кодра, Изобретсгш, Львовский

МПК: G01B 11/06

Метки: пленки, датчик, плотности

...плотности, отличатчто, с целью расширения дцапазшецця точности измерений, оц содматическую систему измерения тоную оптической системе, причемположенные на пути оптическогоиены прозрачными. окрытця, сотему измереои 1 ийся тем, оца ц повыержцт пцевлщцны, соосчастки, раслуча, выполла 1 через воздухомеру) 2 попадает в 2 Изобретение относится к технике измеренпленок или покрытий, нанесенных ца прзрачцый свидетель,Известцыс датчики, содержащие фотоэлектрическую систему измсрения оптическойплотности, позволяют измерять толщину пленок фотоэлектрическими методами только вслучае прозрачных пленок.11 рсдлагасмый датчик позволяет измерятьтолщину как прозрачных, так и непрозрачных 1покрытий и пленок, для чего в цем оптическаяось...

Устройство для бесконтактного измерения с •; -•. толщины прозрачной пластины-•

Загрузка...

Номер патента: 357464

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Кривоконь, Ладиев, Плесконос, Копонко, Китраков, Киевский

МПК: G01B 11/06

Метки: пластины, толщины, бесконтактного, прозрачной

...смещспие луча, прошедшего через прозрачную пластину при изменеисиии толцины последней.Однако смещение луча, по которому судят о толщине, весьма невелико и поэтому пе обеспечивает высокую чувствительность изме- РС 5151,и рсвсрспвный двнугатель 8 и самописец 9. Зеркало 8, лииза 4 и фотоприемиик 5 укреплены на поворотном основании б, ось вращения которого совпадает с осью цилиндрического зеркала ), Основание б связано кицематически с реверсивным двигателем 8,Устройство работает следующим образом.Осветитель 1 с помощью диафрагмы 2 формирует узкий пучок света, который, проходя 10 под углом через измеряемую прозрачнуюпластину 10, смещается и попадает на цилиндрическое зеркало 3. Последнее направляет луч через линзу 4 па сдвоенный...

Устройство для контроля толщины напыляемыхпленок

Загрузка...

Номер патента: 358613

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Лихтман, Толдов

МПК: G01B 11/06

Метки: напыляемыхпленок, толщины

...поясняется чертежом.Устройство состоит из фотометрической измерительной системы 1 и камеры 2 со смотровым окном 3. Внутри камеры напротив напылителей 4 расположены обрабатываемые детали 5, неподвижный экран б с регулируемой щелью 7, над которым закреплены вращающийся диск 8, призма 9 закрыта экраном 1 О.Устройство работает следующим образом.Напылители 4 наносят пленку на обрабатываемые детали 5 и одновременно через щель 7 экрана б - на вращающийся стеклянный диск 8. Контрольная пленка на диске 8 настолько тонка, что остается прозрачной до конца напыления.Фотометрическая измерительная система 1по изменению светового потока, проходящего 5 через смотровое окно 3 камеры 2 и стеклянный диск 8 с контрольной пленкой и отражаемого призмой...

Устройство для контроля толщины пленки в процессе напыления

Загрузка...

Номер патента: 359509

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Высочин, Концур

МПК: G01B 11/06

Метки: процессе, напыления, толщины, пленки

...4 на небольшой участок контрольной подложки 3, которая может при подаче определенной команды сдвигаться на величину, 15 достаточную для того, чтобы расположитьпод отверстием неподвижной диафрагмы часть контрольной подложки, а напыленную сдвинуть в защищенное от напыления место.Источник света расположен так, что свето вой поток, проходя через отверстие и черезконтрольную подложку, попадает на фотоприемник. Амплитудный дискреминатор с регулируемым порогом срабатывания, реагирующим на амплитуду сигнала, равную амплитуде пер ного интерференционного максимума, установлен за фотоприемником. При постоянной длине волны излучателя света н определенной толщине пленки амплитуда первого максимума всегда будет равна Х/4. При достижении 30 этой...

Фотоимпульсное устройство для измерения ширины горячего раската

Загрузка...

Номер патента: 384006

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Кутафин

МПК: G01B 11/06

Метки: горячего, фотоимпульсное, ширины, раската

...в барабане напротив фотоприемников под углом к образующим и расположенными установочно подвижно вдоль осибарабанов,Такое выполнение устройства повышаетточность измерения. 20На чертеже показана схема предлагаемогоустройства.Устройство содержит два одинаковых барабана 1 и 2 со щелями 3 и 4 по образующей,установленные жестко на одной оси, два фотоприемника 5 и б, установленные по продольной оси барабанов, два зеркала 7 и 8,находящиеся внутри барабанов 1 и 2 каждоепротив соответствующего фотоприемника 5 иб под углом к образующим, и масштабные 30 метки ерхности барабанов.Устройство работает следующим образом.При вращении барабанов 1 и 2,продольная ось которых параллельна продольной оси раскатного поля 10, на фотоприемник б приходит...

Фотоэлектрический способ измерения толщины пластин из прозрачного л1атериала

Загрузка...

Номер патента: 399723

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Бплик, Проектно

МПК: G01B 11/06

Метки: фотоэлектрический, пластин, прозрачного, толщины, л1атериала

...прохождения луча между точками, располо жецными в поле сканирования про:педшегочерез пластину светового луча, которая обратно пропорциональна величине временного интервала. Составители А. Лобзоваехрел Л. Богданова КорректоГп А. Никола и Л. КороРедакто нар Подппсо Год 1 инистров ССС Изд.42 Ти огуларственного комитета Совпо делам изобретений и отк Москва, Ж, Раунскан пас Заказ 2228Ц 11 И И П акта Ьрытийг ипографии, пр. Сапунова, 2 3Измерение временного интервала и блоке 6 осуществляют путем счета импульсов высскостабильцого генератсра 7, запуск когорого производят импульсом напряжения с фотоприемника 5, а выклю сцис - импу.ц сом с фотоприемника 4. Счетчик 8 считасг количество нхгпульсов и по окончании счета вьщаст сигнал ца цифровое...

Способ измерения перемещения непрозрачной поверхности объекта в направлении ее нормали

Загрузка...

Номер патента: 362184

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Гринац, Витковский, Виноградов

МПК: G01B 11/02, G01B 11/06

Метки: нормали, поверхности, направлении, непрозрачной, перемещения, объекта

...панели взо 35 40 45 отсутствии конденсата, 4 - тень от нити на поверхности конденсата, 5 - нить, натянутая параллельно панели, б - направление подсвета, 7 в направление наблюдения, Н - расстояние от нити до панели, Ьо - видимое расстояние от нити до тени на поверхности панели, Ь - видимое расстояние от нити до тени на поверхности конденсата, Х - толщина слоя конденсата.Устройство содержит вакуумную камеру 8 источника 9 света, вакуумный насос 10, холодильную станцию 11, тубус с оптическим стеклом 12 и фотоаппарат 13.Способ реализуется следующим образом, Перед установкой препарированной криогенной панели 1 в вакуумную камеру 8 параллельно поверхности панели на державках натягивают нить 5 и любым известным способом измеряют расстояние...