Елункина

Способ управления процессом ректификации хлорсиланов

Номер патента: 980311

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Лобов, Синчук, Левин, Иванов, Соболева, Елункина

МПК: B01D 3/42

Метки: ректификации, процессом, хлорсиланов

Способ управления процессом ректификации хлорсиланов путем измерения разности температур абгазов на выходе и охлаждающей воды на входе конденсатора, регулирования расхода охлаждающей воды в конденсаторе в зависимости от его нагрузки по конденсируемым продуктам, регулирования расхода абгазов, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода готового продукта высокого качества за счет повышения точности регулирования, расход охлаждающей воды корректируют по ее температуре на входе конденсатора и по разности температур абгазов и охлаждающей воды, а расходы абгазов и инертного газа, дополнительно вводимого в колонну, регулируют в зависимости от давления в колонне.

Способ управления процессом регенерации водорода из парогазовой смеси

Номер патента: 1067642

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Владимирский, Капралова, Иванов, Лобов, Соболева, Синчук, Елункина

МПК: B01D 5/00, G05D 27/00

Метки: смеси, процессом, регенерации, водорода, парогазовой

Способ управления процессом регенерации водорода из парогазовой смеси в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода хладагента в зависимости от температуры парогазовой смеси на выходе вымораживателя, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода регенерированного водорода, дополнительно измеряют рН раствора в смесителе, по величине которого определяют общую концентрацию хлористого водорода в смеси, определяют по температуре смеси, измеряемой на выходе вымораживателя, концентрацию хлористого водорода, соответствующую состоянию насыщения при данной температуре, по разности указанных концентраций...

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси

Номер патента: 1464638

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Синчук, Тимощенко, Капралова, Елункина, Иванов, Шепель, Лобов, Соболева

МПК: G05D 27/00, F25J 3/08

Метки: смеси, непрерывной, водорода, процессом, парогазовой, регенерации

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и распределении общего потока хладагента регенерированного водорода перед вводом его в очередной теплообменный аппарат на два потока, один из которых пропускают через теплообменник, а другой направляют по обводному каналу в зависимости от температуры конденсации компонентов регенерируемой парогазовой смеси, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени очистки регенерированного водорода, в поток регенерированного водорода, пропускаемого через теплообменник при температуре окружающей среды дополнительно вводят высокочистый водород,...

Способ контроля герметичности теплообменного аппарата в процессе ректификации хлорсиланов

Номер патента: 702565

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Иванов, Бронштейн, Соболева, Лобов, Елункина, Синчук

МПК: B01D 3/42, G01M 3/04

Метки: хлорсиланов, герметичности, аппарата, процессе, ректификации, теплообменного

Способ контроля герметичности теплообменного аппарата в процессе ректификации хлорсиланов путем измерения технологического параметра на входе и выходе аппарата, в который подают охлаждающий агент, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь готового продукта и предотвращения загрязнения его примесями, измеряют рН охлаждающего агента на входе и выходе теплообменного аппарата, по разности значений рН определяют изменение кислотности охлаждающего агента, по величине которой судят о степени герметичности аппарата.

Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси

Номер патента: 1153492

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Дюнов, Гуржий, Лобов, Соболева, Иванов, Резниченко, Капралова, Елункина

МПК: C01B 33/04

Метки: парогазовой, смеси, выделения, дихлорсилана

1. Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси производства полупроводникового кремния путем двухступенчатой низкотемпературной конденсации хлорсиланов при температуре на первой ступени -65 oC -70oC с выводом целевого продукта с второй ступени, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения дихлорсилана в конденсируемый продукт и повышения в нем концентрации дихлорсилана, парогазовую смесь предварительно барботируют через смесь жидких хлорсиланов, состав которой соответствует соотношению хлорсиланов в исходной парогазовой смеси, причем температуру на второй ступени поддерживают равной -75,5 oC -115oC.2. Способ по п.1,...

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния

Номер патента: 1137860

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Красовицкий, Резниченко, Волынский, Иванов, Гуржий, Дюнов, Синчук, Зотов, Татаринов, Казакевич, Елункина, Лобов

МПК: G05D 27/00, F25J 3/08

Метки: регенерации, производстве, непрерывной, печей, парогазовой, восстановления, водорода, водородного, кремния, процессом, отходящей, полупроводникового, смеси

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода исходного хладагента, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода регенерированного водорода, увеличения извлечения трихлорсилана в основной конденсируемый продукт и уменьшения энергозатрат, испаренный азот, выходящий из теплообменника-вымораживателя и направляемый последовательно по теплообменникам процесса регенерации навстречу парогазовой смеси, перед вводом его в очередной теплообменник распределяют в зависимости...

Способ автоматического управления процессом ректификации хлорсиланов

Номер патента: 803162

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Елункина, Иванов, Лобов, Соболева, Синчук, Полохина, Бронштейн

МПК: B01D 3/42

Метки: хлорсиланов, ректификации, процессом

Способ автоматического управления процессом ректификации хлорсиланов путем регулирования расхода охлаждающей воды в конденсаторе в зависимости от его нагрузки по конденсируемым продуктам и регулирования расхода абгазов, выходящих из конденсатора, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь хлорсиланов с абгазами, выходящими из конденсатора, за счет точности регулирования, расход абгазов регулируют в зависимости от отношения парциального давления конденсируемого компонента к давлению абгазов на выходе из конденсатора, а заданное значение указанного отношения корректируют по температуре охлаждающей воды, подаваемой в конденсатор.

Способ управления процессом ректификации

Номер патента: 729882

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Елункина, Левин, Синчук, Бронштейн, Соболева, Сивошинская, Лобов

МПК: B01D 3/42

Метки: ректификации, процессом

Способ управления процессом ректификации в процессах очистки хлорсиланов путем регулирования расхода охлаждающей воды в дефлегматоре в зависимости от суммарного расхода флегмы и дистиллята, удаления абгазов из дефлегматора и отбора их в смеситель, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь хлорсиланов за счет повышения точности регулирования, расход удаляемых из дефлегматора абгазов изменяют в зависимости от величины разности значений рН, измеряемых на входе воды в смеситель и в смесителе, и корректируют расход охлаждающей воды по расходу абгазов, удаляемых из дефлегматора, при этом расходы абгазов и воды, подаваемых в смеситель, поддерживают постоянными.

Способ управления процессом конденсации хлоридов кремния

Загрузка...

Номер патента: 1018673

Опубликовано: 23.05.1983

Авторы: Резниченко, Иванов, Синчук, Лобов, Соболева, Елункина

МПК: B01D 5/00

Метки: конденсации, процессом, хлоридов, кремния

...компонентов системыв различных агрегатных состояниях(например, жидкость-газ), посколькУ 45учесть количество растворенных инерастворениых в жидкости газообраз.ных веществ весьма, затруднительно,что приводит к снижению извлеченияценных компонентов. 56.Целью изобретения является поВЫшение извлечения трихлорсилана вконденсируеьий продукт и предотвращение попадания полихлоридов в аппарат последующих ступеней эа счетповьанения точности регулирования.Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу управления процессом конденсации хлоридовкремния, заключающемся в ступенчатом ниэкотемпературном охлаждении60парогазовой смеси (ПГС) и регулировании расхода,хладаГента в конденсаторе н зависимости от составапарогазовой смеси на входе...

351918

Загрузка...

Номер патента: 351918

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Государственный, Елункина, Синчук, Лобов, Адлер, Любимов, Скитин, Проектный

МПК: C22B 59/00

Метки: 351918

...исчезновения сигнала разбаланса. УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРА Изобретение можно использовать в цветной металлургии, а именно для управления процессом регенерации комплексона при экстракции редкоземельных элементов для поддержания заданной кислотности раствора 5 путем регулирования расхода кислоты.Известно устройство для управления расходом кислоты, включающее датчик рН, преобразователь сигналов датчика, записывающий прибор величины рН, исполнительный 10 механизм и трубопровод для подачи кислоты. Недостатком такого устройства является неточность поддержания кислотности раствора ввиду флуктуации скорости потока кислоты в условиях специфики протекания про цесса регенерации комплексона. Цель изобретения - повышение точности регулирования кислотности...