Елункина

Способ управления процессом ректификации хлорсиланов

Номер патента: 980311

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Елункина, Синчук, Левин, Иванов, Соболева, Лобов

МПК: B01D 3/42

Метки: хлорсиланов, ректификации, процессом

Способ управления процессом ректификации хлорсиланов путем измерения разности температур абгазов на выходе и охлаждающей воды на входе конденсатора, регулирования расхода охлаждающей воды в конденсаторе в зависимости от его нагрузки по конденсируемым продуктам, регулирования расхода абгазов, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода готового продукта высокого качества за счет повышения точности регулирования, расход охлаждающей воды корректируют по ее температуре на входе конденсатора и по разности температур абгазов и охлаждающей воды, а расходы абгазов и инертного газа, дополнительно вводимого в колонну, регулируют в зависимости от давления в колонне.

Способ управления процессом регенерации водорода из парогазовой смеси

Номер патента: 1067642

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Лобов, Владимирский, Елункина, Соболева, Капралова, Иванов, Синчук

МПК: G05D 27/00, B01D 5/00

Метки: водорода, процессом, регенерации, парогазовой, смеси

Способ управления процессом регенерации водорода из парогазовой смеси в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода хладагента в зависимости от температуры парогазовой смеси на выходе вымораживателя, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода регенерированного водорода, дополнительно измеряют рН раствора в смесителе, по величине которого определяют общую концентрацию хлористого водорода в смеси, определяют по температуре смеси, измеряемой на выходе вымораживателя, концентрацию хлористого водорода, соответствующую состоянию насыщения при данной температуре, по разности указанных концентраций...

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси

Номер патента: 1464638

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Синчук, Лобов, Шепель, Иванов, Капралова, Соболева, Тимощенко, Елункина

МПК: G05D 27/00, F25J 3/08

Метки: парогазовой, водорода, смеси, процессом, регенерации, непрерывной

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и распределении общего потока хладагента регенерированного водорода перед вводом его в очередной теплообменный аппарат на два потока, один из которых пропускают через теплообменник, а другой направляют по обводному каналу в зависимости от температуры конденсации компонентов регенерируемой парогазовой смеси, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени очистки регенерированного водорода, в поток регенерированного водорода, пропускаемого через теплообменник при температуре окружающей среды дополнительно вводят высокочистый водород,...

Способ контроля герметичности теплообменного аппарата в процессе ректификации хлорсиланов

Номер патента: 702565

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Соболева, Елункина, Синчук, Лобов, Бронштейн, Иванов

МПК: G01M 3/04, B01D 3/42

Метки: теплообменного, аппарата, герметичности, процессе, ректификации, хлорсиланов

Способ контроля герметичности теплообменного аппарата в процессе ректификации хлорсиланов путем измерения технологического параметра на входе и выходе аппарата, в который подают охлаждающий агент, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь готового продукта и предотвращения загрязнения его примесями, измеряют рН охлаждающего агента на входе и выходе теплообменного аппарата, по разности значений рН определяют изменение кислотности охлаждающего агента, по величине которой судят о степени герметичности аппарата.

Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси

Номер патента: 1153492

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Дюнов, Елункина, Гуржий, Лобов, Резниченко, Иванов, Капралова, Соболева

МПК: C01B 33/04

Метки: дихлорсилана, парогазовой, выделения, смеси

1. Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси производства полупроводникового кремния путем двухступенчатой низкотемпературной конденсации хлорсиланов при температуре на первой ступени -65 oC -70oC с выводом целевого продукта с второй ступени, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения дихлорсилана в конденсируемый продукт и повышения в нем концентрации дихлорсилана, парогазовую смесь предварительно барботируют через смесь жидких хлорсиланов, состав которой соответствует соотношению хлорсиланов в исходной парогазовой смеси, причем температуру на второй ступени поддерживают равной -75,5 oC -115oC.2. Способ по п.1,...

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния

Номер патента: 1137860

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Дюнов, Резниченко, Лобов, Синчук, Елункина, Волынский, Иванов, Татаринов, Гуржий, Зотов, Красовицкий, Казакевич

МПК: G05D 27/00, F25J 3/08

Метки: процессом, непрерывной, смеси, производстве, водородного, кремния, полупроводникового, печей, водорода, отходящей, регенерации, восстановления, парогазовой

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода исходного хладагента, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода регенерированного водорода, увеличения извлечения трихлорсилана в основной конденсируемый продукт и уменьшения энергозатрат, испаренный азот, выходящий из теплообменника-вымораживателя и направляемый последовательно по теплообменникам процесса регенерации навстречу парогазовой смеси, перед вводом его в очередной теплообменник распределяют в зависимости...

Способ автоматического управления процессом ректификации хлорсиланов

Номер патента: 803162

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Лобов, Иванов, Полохина, Синчук, Бронштейн, Елункина, Соболева

МПК: B01D 3/42

Метки: процессом, хлорсиланов, ректификации

Способ автоматического управления процессом ректификации хлорсиланов путем регулирования расхода охлаждающей воды в конденсаторе в зависимости от его нагрузки по конденсируемым продуктам и регулирования расхода абгазов, выходящих из конденсатора, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь хлорсиланов с абгазами, выходящими из конденсатора, за счет точности регулирования, расход абгазов регулируют в зависимости от отношения парциального давления конденсируемого компонента к давлению абгазов на выходе из конденсатора, а заданное значение указанного отношения корректируют по температуре охлаждающей воды, подаваемой в конденсатор.

Способ управления процессом ректификации

Номер патента: 729882

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Елункина, Синчук, Лобов, Левин, Сивошинская, Бронштейн, Соболева

МПК: B01D 3/42

Метки: ректификации, процессом

Способ управления процессом ректификации в процессах очистки хлорсиланов путем регулирования расхода охлаждающей воды в дефлегматоре в зависимости от суммарного расхода флегмы и дистиллята, удаления абгазов из дефлегматора и отбора их в смеситель, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь хлорсиланов за счет повышения точности регулирования, расход удаляемых из дефлегматора абгазов изменяют в зависимости от величины разности значений рН, измеряемых на входе воды в смеситель и в смесителе, и корректируют расход охлаждающей воды по расходу абгазов, удаляемых из дефлегматора, при этом расходы абгазов и воды, подаваемых в смеситель, поддерживают постоянными.

Способ управления процессом конденсации хлоридов кремния

Загрузка...

Номер патента: 1018673

Опубликовано: 23.05.1983

Авторы: Синчук, Лобов, Елункина, Иванов, Резниченко, Соболева

МПК: B01D 5/00

Метки: конденсации, хлоридов, кремния, процессом

...компонентов системыв различных агрегатных состояниях(например, жидкость-газ), посколькУ 45учесть количество растворенных инерастворениых в жидкости газообраз.ных веществ весьма, затруднительно,что приводит к снижению извлеченияценных компонентов. 56.Целью изобретения является поВЫшение извлечения трихлорсилана вконденсируеьий продукт и предотвращение попадания полихлоридов в аппарат последующих ступеней эа счетповьанения точности регулирования.Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу управления процессом конденсации хлоридовкремния, заключающемся в ступенчатом ниэкотемпературном охлаждении60парогазовой смеси (ПГС) и регулировании расхода,хладаГента в конденсаторе н зависимости от составапарогазовой смеси на входе...

351918

Загрузка...

Номер патента: 351918

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Адлер, Любимов, Синчук, Елункина, Государственный, Скитин, Лобов, Проектный

МПК: C22B 59/00

Метки: 351918

...исчезновения сигнала разбаланса. УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРА Изобретение можно использовать в цветной металлургии, а именно для управления процессом регенерации комплексона при экстракции редкоземельных элементов для поддержания заданной кислотности раствора 5 путем регулирования расхода кислоты.Известно устройство для управления расходом кислоты, включающее датчик рН, преобразователь сигналов датчика, записывающий прибор величины рН, исполнительный 10 механизм и трубопровод для подачи кислоты. Недостатком такого устройства является неточность поддержания кислотности раствора ввиду флуктуации скорости потока кислоты в условиях специфики протекания про цесса регенерации комплексона. Цель изобретения - повышение точности регулирования кислотности...