Патенты с меткой «углеродсодержащими»

Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы

Номер патента: 1507132

Опубликовано: 20.11.1999

Автор: Елисеев

МПК: H01L 21/306

Метки: атмосферы, углеродсодержащими, загрязнений, кремния, защиты, компонентами, поверхности

Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы, включающий снятие окисла во фтористоводородной кислоте и формирования защитного окисла в растворе, содержащем соляную кислоту, перекись водорода и воду в соотношении 3 : 1 : 1, отличающийся тем, что, с целью снижения уровня углеродных загрязнений в защитном окисле, после снятия окисла во втористоводородной кислоте образец кремния обрабатывают электрохимически в водном растворе соляной кислоты в соотношении 1 : 3 в течение 45 - 60 мин, причем образец кремния используют в качестве катода, при плотности тока на образце 50 - 100 мА/см2, после электрохимической обработки в раствор добавляют...