Патенты с меткой «ионно-лучевой»

Устройство для ионно-лучевой обработки деталей

Загрузка...

Номер патента: 1758086

Опубликовано: 30.08.1992

Авторы: Даныш, Обухов, Лобанов

МПК: C23C 14/46

Метки: ионно-лучевой

...5, а при использовании установки для нанесения на обрабатываемую поверхность покрытия в нее введены источники 10 потока атомов мате-. риалов покрытия, например, испарительного типа.Магнит 6 в роли тормозящего электрода может быть выполнен из магнито-твердо1758086 30 35 50 55 из диэлектрического магнитного материала, при этом он заключается в кожух 13 из злектропроводного немагнитного материала,Устройство; например, при ионном травлении кристаллов арсенида галлия работает следующим образом,При достижении вакуума 10 П а включается источник 2 ионного потока, Обычный уровень параметров потоков известных ионных источников; энергия ионов е 00 200 зВ, плотность ионного тока 1-2 мА/см,Однако для обработки кристаллов арсенида галлия требуется...

Устройство для ионно-лучевой обработки

Номер патента: 1210607

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Герловин, Журавлев, Фурман, Ярмолюк, Никитинский

МПК: H01J 37/08, H01J 27/04

Метки: ионно-лучевой

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ, содержащее источник ионов, образованный газоразрядной камерой, профилированными эмиссионным и ускоряющим электродами, установленными с постоянным зазором между их рабочими поверхностями, в которых выполнены соосные отверстия равного диаметра, а также подложкодержатель плоских обрабатываемых деталей, при этом источник ионов установлен под углом к поверхности подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности обработки деталей с линейными размерами, превышающими характерный линейный размер пучка ионов, форма рабочих поверхностей эмиссионного и ускоряющего электрода удовлетворяет условию

Способ ионно-лучевой обработки режущего инструмента из твердых сплавов

Загрузка...

Номер патента: 1707997

Опубликовано: 20.01.1997

Авторы: Полещенко, Пучкарева, Полетика

МПК: C23C 14/48

Метки: режущего, сплавов, твердых, ионно-лучевой, инструмента

...диапазоне скоростей резания (подача 5 = 0,14 мм/об, глубина резания= 1,5 мм). Снижение адгезионно-диффузионных процессов после+ +, +упрочнения ионами г фд г подтверждается результатами исследования изношенных поверхностей режущего инструмента. Изношенная площадка контакта имплантированного инструмента характеризуется меньшим количеством адгезионных вырывов.Исследование режимов имплантации и испытаний обработанных твердосплавных пластин позволило выбрать оптимальные режимы облучения по дозе и энергии ионов (см. табл. 1). Указанный нижний порог дозы 510 ион/см при энергии свыше 30 кэВ1 б 2обеспечивает некоторое повышение износостойкости. Однако уже при этой дозе при низких энергиях (25 кэВ) эффекта не наблюдается, поэтому снижение дозы...

Способ ионно-лучевой обработки изделий

Номер патента: 1777391

Опубликовано: 10.04.1998

Авторы: Гриценко, Рузаев, Костерина, Черный

МПК: C23C 14/48

Метки: ионно-лучевой

Способ ионно-лучевой обработки изделий, включающий имплантацию из одного источника ионов металла и неметалла, выбираемых из группы элементов, образующих твердое соединение, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости изделий, сначала проводят имплантацию ионами с энергией 50-20 кэВ и дозой 2 1016 - 2 1017 ион/см2, образующими либо нитриды, либо карбиды, либо бориды, а затем ионами молибдена с энергией 20-50 кэВ и с той же дозой.

Способ ионно-лучевой обработки инструмента из сталей и твердых сплавов

Номер патента: 1483979

Опубликовано: 20.06.1998

Авторы: Янчук, Колобов, Чесноков, Савостиков, Савченко, Чернова, Коротаев, Афанасьев

МПК: C23C 14/48

Метки: инструмента, ионно-лучевой, твердых, сплавов, сталей

Способ ионно-лучевой обработки инструмента из сталей и твердых сплавов, включающий имплантацию в приповерхностные слои ионов металла и неметалла, отличающийся тем, что, с целью повышения твердости и износостойкости инструмента при одновременном сокращении времени обработки, имплантацию осуществляют импульсами с частотой (Гц) и длительностью (c), выбираемых из выражения = 2