Механизм совмещения масок с подложками

Номер патента: 465445

Авторы: Шуберт, Гаврилов

Скачать ZIP файл.

Текст

Смотреть

п 11 465445 Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 05.09.72 (21) 1826128/26-9 М. Кл. С 23 с 1 исоединением за и Государственный комитет 2) Приоритет Совета Министров СССло делам изобретеиийи открытий Опубликовано 30.03,75. Бюллетень1Дата опубликования описания 22,08.75 о 3) Ъ,цК 621.д 96.0.002(фиг. 1) тянущего мшлюзу выгрузки 4скафандр 22 смом 23 съема сми. ами 16, пазами ями 18, которые ами 19 (фиг. 2) с выступами 20 21. К щелевомупылезащитный в нем механизтовыми изделияжен роли и отверстис выступ елей 11 еханизма крепится ещенным иков с го разм пути. 1 изображен предлагаещий вид; на фиг. 2 - фаз мый меха-совмещеИзобретение относится к технологии производства радиоэлектронной аппаратуры, в частности к устройствам для изготовления тонкопленочных микросхем,Известны механизмы совмещения масок сподложками, преимущественно для вакуумнойнапылительной установки непрерывного действия, состоящие из корпуса, в котором размещены неподвижные направляющие, передвижных касет с закрепленными на них масками и цепочки соединенных последовательнопередвижных кассет с закрепленными наних подложками.Недостатком известных устройствто, что осаждение производится на нные подложки через неподвижно усные совмещенные с ними маски.Цель изобретения - обеспечение возможности совмещения маски с подложкой во времябезостановочного движения последней. 20Предлагаемый механизм выполнен в видебесконечной цепи, звеньями которой являютсякассеты с прикрепленными к ним масками,снабженные роликами, взаимодействующимис неподвижными направляющими, кинематически связанной с цепочкой соединенных последовательно передвижных кассет с подложками.На фигнизм, об ь 30 ния механизмом кассет с подложками и масками; на фиг. 3 - кассета-спутник с подложками.Механизм совмещения масок с подложками, размещенный в установке, содержит соединенные последовательно с помощью щелевого шлюза 1, рабочие камеры 2, из которых к крайним подсоединяются щелевой шлюз загрузки 3 и щелевой шлюз выгрузки 4, снабженные вакуумной системой откачки 5. Внутри каждой рабочей камеры 2 размещается испаритель 6 и направляющие 7 и 8 механизма (фиг, 2), по которым с помощью роликов 9 и 10 перемещаются входящие в состав механизма составленные в беоконечную цепь кассетымаскодержатели 11 с масками. Перед шлюзом загрузки 3 в пылезащитном скафандре 12 (фиг. 1) размещается механизм подачи 13 многоместных спутников 14 (фиг. 3) с закрепленными на них подложками 15.Механизм совмещения масок с подложками работает следующим образом.Многоместный спутник 14 с закрепленными на нем подложками 15 устанавливается в пылезащитном скафандре 12, из которого он с помощью механизма подачи 13 и рокилов 16 при движении вверх входит в зацепление с пазами 17 предыдущего спутника 14, с помощью тянущего механизма 21 через шлюз загрузки 3, имеющий вакуумную систему откачки 5, спутники 14 попадают в рабочую камеру 2.Попав в рабочую камеру 2, спутники 14 и подложки 15 прогреваются до заданной температуры. Одновременно, двигаясь вдоль рабочей камеры 2, спутники 14 отверстиями 18 через выступы 19 перемещают кассеты-маскодержатели 11, которые составлены в бесконечную цепь механизма совмещения, Переместившись на верхний горизонтальный участок (фиг.2), кассеты-маскодержатели своими роликами 9 и 10 ориентируются по пазам 7 и 8 в горизонтальной плоскости. Затем, двигаясь с помощью спутников 14, кассета по пазам 7 и 8 задающим ей параллельное самой себе перемещение в вертикальной плоскости входит выступами 19 в отверстия 18 спутника 14,Таким образом происходит предварительная ориентация спутника 14 и кассет-маскодержателей 11. При дальнейшем их синхронном движении происходит совмещение масок с подложками 15. После совмещения происходит напыление слоя покрытия. Пройдя зону над испарителем 6 и перемещаясь по пазам 7 и 8 параллельно самой себе вперед и вниз, кассета выходит из зацепления со спутника.ми 14.5 После нанесения всех слоев подложка 15 намногоместном спутнике 14,поступает в щелевой шлюз выгрузки 4, пройдя который, она попадает на механизм съема спутников 14, откуда поступающие спутники 14 извлекают ся по мере накопления. Предмет изобретения15Механизм совмещения масок с подложками,преимущественно для вакуумной напылительной установки непрерывного действия, состоящий из корпуса, в котором размещены не подвижные направляющие, передвижных кассет с закрепленными на них масками и цепочки соединенных последовательно передвижных кассет с закрепленными на них подложками, отличающийся тем, что, с целью 25 обеспечения возможности совмещения маски сподложкой во время безостановочного движения последней, он выполнен в виде бесконечной цепи, звеньями которой являются кассеты с прикрепленными к ним масками, снаб женные роликами, взаимодействующими снеподвижными направляющими, кинематически связанной с цепочкой соединенных последовательно передвижных кассет с подложками.

Заявка

1826128, 05.09.1972

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2438

ГАВРИЛОВ РУДОЛЬФ АНДРЕЕВИЧ, ШУБЕРТ МИХАИЛ МИХАЙЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C23C 13/00

Метки: механизм, подложками, масок, совмещения

Опубликовано: 30.03.1975

Код ссылки

<a href="http://patents.su/3-465445-mekhanizm-sovmeshheniya-masok-s-podlozhkami.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Механизм совмещения масок с подложками</a>

Похожие патенты