Двухзахватная головка манипулятора

Номер патента: 1634491

Автор: Колпаков

Скачать ZIP файл.

Текст

Смотреть

(51)5 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Со. Р976.ЛОВКА МАк общему мавухзахватным ема и укладки в в производборов. Целью ние надежносГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(57) Изобретение относитсяшиностроснию, в частности к дголовкам манипулятора для съполупроводниковых кристаллосгве полупроводниковых приизобретения является повыше я 0163449 515/00, 9/08, Н 01 ( 2/ ти переноса хрупких изделий После установки схватов 2 и 3, выполненных в виде шарнирно сочлененных из упругих пластин параллелограммов и опорных элементов в видс эластичных четырехгранников, над координатным столом с кристаллами и кассетной под кристаллы механизм подкола подает один из кристаллов в схват 3 до опорного элемента. Затем срабатывает привод, который с помощью штока 8, воздействуя на вер шины параллелограммов схватов 2 и 3, сжи. мает схват 3 и разжимает схват 2, причем первый захватывает своими губками подведенный кристалл, а второй укладывает другой кристалл в кассету. 4 ил.Изобретение относится к общему машиностроению, в частности к двухзахватным головкам манипулятора для съема и укладки полупроводниковых кристаллов в производстве полупроводниковых приборов,Цель изобретения - повышение надежности переноса хрупких изделий путем улучшения динамических свойств захватов.На фиг. 1 изображена двухзахватная головка манипулятора; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг. 1; на фиг. 4 - манипулятор, общий вид.Двухзахватная головка выполнена в виде корпуса 1 с размещенными на его концах схватами 2, 3, выполненными в виде шарнирно сочлененных из упругих пластин параллелограммов 4 и опорных элементов в виде эластичных четырехгранников 5, которые удерживаются в параллелограммах 4 за счет предварительного сжатия перед их установкой и сверху базируются по плоскости корпуса 1.Вершины 6 параллелограммов 4 шарнирно установлены на корпусе 1, а вершины 7 шарнирно связаны со штоком 8, имеющим привод от соленоида 9 и возвратной пружины 10. На других вершинах параллелограммов закреплены губки 11. Корпус 1 установлен на поворотной оси 12 манипулятора, содержащего основание 13, координатный стол 14, на котором установлен спутник 15, на клейкой поверхности диафрагмы 16 которого закреплены кристаллы 17, второй координатный стол 18 с кассетой для укладки выбранных кристаллов, механизм 19 подкола с опорными пальцами 20 и центральным пальцем 21. Двухзахватная головка манипулятора работает следующим образом.Схваты 2 и 3 для отработки заданной программы выводятся с помощью поворотной оси 12 манипулятора на требуемые позиции. Механизм 19 подкола освобождает один из кристаллов 17 от липкого контакта с диафрагмой 16 посредством опорных пальцев 20, выталкивающих захваченный участок диафрагмы 16 снизу до тех пор, пока ее примыкающие участки не выйдут из контакта с кристаллом 17. При этом кристалл 17 не имеет возможности разориентироваться, так как центральный палец 21, выталкивающий его от контакта с опорными пальцами 20 утапливает кристалл в эластичном элементе 5, базируя его в схвате 3.При срабатывании привода шток 8 вытягивает параллелограмм 4 схвата 3 вдоль его вершин 6 и 7, его губки 11 сходятся и схватывают кристалл 17. В то же время параллелограмм 4 схвата 2 укорачивается вдоль вершин 6 и 7, его губки 11 разжимают другой кристалл, который опускается в свободную ячейку кассеты координатного стола 18. При повороте захватной головки на 180 схваты 2 и 3 меняются местами, и после 20 срабатывания пружины 10 происходит захват следующего кристалла.формула изобретенияДвухзахватная головка манипулятора,содержащая установленный на поворотной оси корпус, схваты с губками, привод, с помощью тяги связанный со схватами, и опорные элементы схватов, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности пере- ЗО носа хрупких изделий за счет улучшениядинамических свойств захватов, каждый схват выполнен в виде шарнирно сочлененного из упругих пластин параллелограмма, одна вершина которого шарнирно связана с корпусом, а противоположная - с тягой, З 5 причем губки закреплены на двух другихвершинах внутри параллелограмма, при этом опорный элемент схвата выполнен в виде эластичного четырехгранника, закрепленного на пластинах также внутри параллелограмма.Составитель С. Новик Редактор А. Маковская Техред А. Кравчук Корректор Т Малец Заказ 722 Тираж 474 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Заявка

4650677, 28.11.1988

П В Колпаков

КОЛПАКОВ ПАВЕЛ ВАЛЕНТИНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B25J 15/00, H01L 21/68, B25J 9/08

Метки: головка, двухзахватная, манипулятора

Опубликовано: 15.03.1991

Код ссылки

<a href="http://patents.su/3-1634491-dvukhzakhvatnaya-golovka-manipulyatora.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Двухзахватная головка манипулятора</a>

Похожие патенты