Патенты опубликованные 20.08.2006

Страница 2

Опорный узел турбомашины

Загрузка...

Номер патента: 1324368

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Юшкин, Некрасова, Шильман, Хомутов, Адлер

МПК: F25B 11/00, F01D 25/16

Метки: турбомашины, опорный, узел

Опорный узел турбомашины, преимущественно турбохолодильника, содержащий корпус, в котором установлен вал с подшипниками качения, имеющими наружные и внутренние кольца, размещенные вокруг подшипников упругие кольца и упорные втулки, воспринимающие осевые усилия на подшипники, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности путем уменьшения динамических нагрузок на подшипники, каждая упорная втулка на торце, обращенном к соответствующему подшипнику, выполнена с гнездом, в котором установлены с возможностью радиального перемещения шарики, контактирующие с торцовой поверхностью наружного кольца подшипника.

Способ получения адамантан-1-карбоновой кислоты

Загрузка...

Номер патента: 1767839

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Куликов, Моисеев, Кумеров, Хлебников, Трофимов, Климочкин

МПК: C07C 51/235, C07C 61/135

Метки: кислоты, адамантан-1-карбоновой

Способ получения адамантан-1-карбоновой кислоты обработкой адамантанового производного муравьиной кислотой в среде серной кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества целевого продукта, упрощения процесса и улучшения его экологических характеристик, в качестве адамантанового производного используют адамантол-1 или смесь адамантанола-1 с 1-нитроадамантаном с содержанием до 30% последнего и процесс проводят с использованием муравьиной кислоты 80-100%-ной, серной кислоты 90-100%-ной концентрации в присутствии соединения одновалентной меди при массовом соотношении исходное : муравьиная кислота : серная кислота : соединение меди, равном 1:(0,5-1,5):(5-12):(0,001-0,02)...

Установка для определения герметичности многоконтурного блока тепломассообменных аппаратов

Загрузка...

Номер патента: 1389384

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Лейкин, Марков, Малышев, Северцев

МПК: G01M 3/32, F28F 27/00

Метки: тепломассообменных, многоконтурного, герметичности, аппаратов, блока

Установка для определения герметичности многоконтурного блока тепломассообменных аппаратов по авт.св. № 1282673, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности, к коллекторам нагнетания и разрежения каскада высокого вакуума параллельно турбомолекулярным насосам подключен дополнительный вакуумный агрегат со скоростью откачки, превышающей не менее, чем в два раза, суммарную скорость откачки упомянутых насосов, снабженный гидродинамическим приводом и подсоединенный посредством вакуумных затворов к каскаду низкого вакуума.

Влагоотделитель

Загрузка...

Номер патента: 1390845

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Попов, Гальперин, Гуслянников

МПК: B01D 45/12

Метки: влагоотделитель

Влагоотделитель, содержащий входной и выходной патрубки, лопаточный завихритель, влагосборную камеру с дренажной трубкой и размещенным снаружи ее подогревательным элементом, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы влагоотделителя при отрицательных температурах, подогревательный элемент выполнен в виде конической камеры с тангенциальным патрубком ввода горячего воздуха, размещенным у днища влагосборной камеры, и коническим экраном, установленным на дренажной трубке на уровне нижней стенки патрубка ввода горячего воздуха.

Лепестковый подшипник скольжения

Загрузка...

Номер патента: 1391246

Опубликовано: 20.08.2006

Автор: Брагин

МПК: F16C 27/02

Метки: подшипник, лепестковый, скольжения

1. Лепестковый подшипник скольжения, содержащий закрепленные в корпусе перекрывающие друг друга опорные лепестки, упруго охватывающие рабочими участками вал, отличающийся тем, что, с целью улучшения динамических характеристик путем ограничения амплитуды колебаний вала, лепестки выполнены с переменным поперечным сечением, увеличивающимся от охватывающих вал рабочих участков к участкам, закрепленным в корпусе.2. Подшипник по п.1, отличающийся тем, что увеличение поперечного сечения лепестка выполнено дискретным.

Многоступенчатый компрессор

Загрузка...

Номер патента: 1327634

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Степанова, Чуркин, Власов, Никулина

МПК: F04D 17/12

Метки: многоступенчатый, компрессор

Многоступенчатый компрессор, содержащий герметичный корпус и расположенные в нем высокооборотные центробежные ступени давления, вал которых кинематически связан с электроприводом через планетарную передачу, включающую солнечную и венечную шестерни и сателлиты, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия при одновременном уменьшении габаритов, он снабжен жестко связанной с венечной шестерней планетарной передачи выходной низкооборотной ступенью давления роторного типа, при этом вал высокооборотных ступеней давления выполнен заодно с солнечной шестерней, а электропривод выполнен в виде симметрично расположенных внутри корпуса нескольких электродвигателей по числу сателлитов,...

Способ получения 1, 3-диацетил-аминопроизводных адамантанового ряда

Загрузка...

Номер патента: 1623130

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Ширяев, Матвеев, Моисеев, Климочкин

МПК: C07C 231/06

Метки: ряда, адамантанового, 3-диацетил-аминопроизводных

Способ получения 1,3-диацетиламинопроизводных адамантанового ряда общей формулы где R1, R2-(I) H, H; (II) CH3, H; (III) C2H5, H, (IV)CH 3, CH3.взаимодействием соответствующего адамантанового углеводорода с ацетонитрилом в присутствии концентрированной азотной кислоты, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода целевого продукта и сокращения времени процесса, используют 94-100%-ную азотную кислоту, затем добавляют 90-100%-ную серную кислоту при молярном соотношении адамантанового углеводорода, ацетонитрила, азотной...

Способ получения нитратов монои дикарбоновых оксикислот адамантанового ряда

Загрузка...

Номер патента: 1329119

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Ширяев, Моисеев

МПК: C07C 201/02, C07C 203/08

Метки: дикарбоновых, нитратов, оксикислот, монои, ряда, адамантанового

Способ получения нитратов моно- и дикарбоновых оксикислот адамантанового ряда общей формулы где R1 - (CH2)n COOH;R2 - H, R1;n=0-1, основанный на взаимодействии кислоты адамантанового ряда с азотной кислотой, отличающийся тем, что, с целью расширения ассортимента целевых продуктов и упрощения технологии процесса, реакцию моно- или дикарбоновой кислоты адамантанового ряда с 98-100%-ной азотной кислотой ведут в присутствии безводной неорганической кислоты и/или ее ангидрида - серной, фосфорной кислот, олеума или фосфорного ангидрида в...

Система регулирования давления воздуха на самолете

Загрузка...

Номер патента: 1392789

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Лебедев, Петраков, Ловцова, Завьялов

МПК: B64D 13/04

Метки: давления, воздуха, самолете

1. Система регулирования давления воздуха на самолете, содержащая выпускной клапан с пневмоприводом и измерители атмосферного давления и давления воздуха в гермокабине, связанные с управляющим устройством, включающим программатор и ограничитель, соединенные последовательно, и выходной электропневмопреобразователь, выполненный с проточной камерой между электроприводными клапанами в каналах питания и сброса, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности регулирования, в управляющее устройство введены первый и второй кусочно-линейные аппроксиматоры и сумматор-коммутатор, а также два аналого-цифровых и два цифроаналоговых преобразователей, таймер и делитель частоты, причем один из...

Устройство для отделения влаги в трубопроводе

Загрузка...

Номер патента: 1213821

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Набока, Леончик, Гальперин, Попов

МПК: F24F 3/14

Метки: отделения, трубопроводе, влаги

1. Устройство для отделения влаги в трубопроводе, содержащее подсоединенную к трубопроводу влагоулавливающую камеру с щелевым влагоотборником и лопастной завихритель, установленный в трубопроводе перед влагоулавливающей камерой, отличающееся тем, что, с целью регулирования эффективности влагоотделения при изменении расходов воздуха, лопастной завихритель выполнен в цилиндрическом кожухе, снабжен фиксатором и установлен с возможностью осевого перемещения в трубопроводе.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что фиксатор выполнен в виде прижимной тарели с уплотнителем и стопорного винта, ввернутого в кожух завихрителя, а в трубопроводе выполнен паз для перемещения по нему...

Система управления подогревом топлива газотурбинного двигателя

Загрузка...

Номер патента: 1331184

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Олейников, Салугин

МПК: F02C 7/22

Метки: газотурбинного, топлива, двигателя, подогревом

Система управления подогревом топлива газотурбинного двигателя, снабженного воздушной магистралью, топливной магистралью с фильтром, переливным клапаном, воздушно-топливным теплообменником, размещенным в топливной магистрали перед фильтром и соединенным с воздушной магистралью, содержащая пневмозаслонку, установленную в воздушной магистрали, выполненную в виде первого и второго электромагнитных клапанов, датчик температуры топлива на выходе из теплообменника, датчик температуры топлива на входе в теплообменник, датчик предельной температуры топлива, устройство управления, выполненное в виде первой, второй и третьей последовательных цепей, включающих каждая реле температуры, реле времени...

Центробежный вентилятор

Загрузка...

Номер патента: 1331191

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Егоров, Ельчанинова, Сорокин, Стрельцов

МПК: F04D 17/18

Метки: вентилятор, центробежный

Центробежный вентилятор, содержащий корпус и установленное в нем рабочее колесо, выполненное заодно с входным патрубком, установленным с зазором относительно корпуса, отличающийся тем, что, с целью снижения уровня шума, корпус снабжен камерой с подводящим патрубком, расположенным соосно входному патрубку и на расстоянии от него, составляющем 0,3 ...0,45 диаметра подводящего патрубка.

Замкнутая кислородная система летчика

Загрузка...

Номер патента: 1334424

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Давыдов, Авилушкина

МПК: A62B 7/14

Метки: летчика, кислородная, замкнутая

1. Замкнутая кислородная система летчика, содержащая дыхательный контур с последовательно установленными побудителем циркуляции, блоком очистки, обратным клапаном и кислородным прибором, соединенным с гермошлемом или маской, линию подпитки с редуктором, подключенную к дыхательному контуру на входе кислородного прибора, линию подачи вохдуха, в которой установлены высотный прерыватель подачи с пневмоприводом и воздухозаборником, подключенным к дыхательному контуру на входе побудителя циркуляции, линию сброса с предохранительным клапаном, подключенную к дыхательному контуру за блоком очистки и сообщенную с атмосферой, и байпасную линию с перепускным клапаном, соединяющую дыхательный контур...

Электролюминесцентный индикатор

Загрузка...

Номер патента: 1825278

Опубликовано: 20.08.2006

Автор: Гурин

МПК: H05B 33/22

Метки: индикатор, электролюминесцентный

1. Электролюминесцентный индикатор, содержащий светопроницаемую диэлектрическую пластину, на поверхности которой расположены светопроницаемые электроды, дополнительную диэлектрическую пластину с размещенными на ее поверхности электродами, соединенную посредством прокладки со светопроницаемой диэлектрической пластиной, и электролюминесцентный слой, причем пространство между светопроницаемой и дополнительной диэлектрическими пластинами заполнено жидким диэлектриком, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности индикатора, электролюминесцентный слой расположен на внутренней поверхности дополнительной диэлектрической пластины, на внешней поверхности которой...

Электролюминесцентный индикатор

Загрузка...

Номер патента: 1777539

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Гурин, Бригаднов

МПК: H05B 33/22

Метки: электролюминесцентный, индикатор

1. Электролюминесцентный индикатор, содержащий светопроницаемую диэлектрическую пластину, на поверхности которой последовательно расположены светопроницаемые электроды, диэлектрический и электролюминесцентный слои, и дополнительную диэлектрическую пластину с размещенными на ее поверхности дополнительными электродами, соединенную по периметру посредством прокладки со светопроницаемой диэлектрической пластиной, причем пространство между светопроницаемой и дополнительной диэлектрическими пластинами заполнено жидким диэлектриком, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и яркости свечения, в жидкий диэлектрик введен порошкообразный материал с диэлектрической проницаемостью...

Электролюминесцентный индикатор

Загрузка...

Номер патента: 1833113

Опубликовано: 20.08.2006

Автор: Гурин

МПК: H05B 33/12

Метки: электролюминесцентный, индикатор

1. Электролюминесцентный индикатор, содержащий светопроницаемую диэлектрическую пластину, на поверхности которой последовательно расположены светопроницаемые электроды, диэлектрический и электролюминесцентный слои, и дополнительную диэлектрическую пластину с размещенными на ее поверхности электродами, соединенную по периметру посредством прокладки со светопроницаемой диэлектрической пластиной, причем зазор между ними заполнен композиционным жидким диэлектриком, отличающийся тем, что, с целью устранения искажения и повышения резкости контуров воспроизводимого изображения, на поверхности диэлектрической пластины с электродами размещен слой диэлектрика с отверстиями, расположенными в...

Переключающее устройство

Загрузка...

Номер патента: 1342143

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Пильнов, Кузнецов, Мауэрман, Шпак

МПК: F16H 59/02

Метки: переключающее

Переключающее устройство подвижного в осевом направлении блока, состоящего из большого и малого зубчатых колес, содержащее валик, размещенную на нем втулку с вилкой, взаимодействующий с ней рычаг и блокировочный механизм с конечными выключателями, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы, оно снабжено неподвижным зубчатым сектором, установленным в среднем положении относительно хода большого зубчатого колеса блока и предназначенным для взаимодействия с ним, а на втулке выполнены скосы для взаимодействия с конечными выключателями.

Способ определения герметичности теплообменных аппаратов

Загрузка...

Номер патента: 1282672

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Михайлов, Малышев, Симонов, Моисеев

МПК: F28F 27/00, G01M 3/02

Метки: герметичности, аппаратов, теплообменных

Способ определения герметичности теплообменных аппаратов путем вакуумирования их полостей, наддува последних индикаторным газом и определения его утечки, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени процесса при испытании нескольких аппаратов, имеющих трубную и межтрубную полости, все аппараты подсоединяют к общей линии индикаторного газа поочередно трубной и межтрубной полостями, при этом после наддува первой полости первого аппарата и до начала наддува первой полости второго аппарата в первом аппарате определяют утечку газа и сбрасывают давление, затем подают давление в первую полость второго аппарата, определяют утечку газа и сбрасывают давление, а затем эти операции повторяют с...

Способ определения герметичности многоконтурного блока тепломассообменных аппаратов и установка для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 1282673

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Малышев, Северцев

МПК: G01M 3/32, F28F 27/00

Метки: тепломассообменных, герметичности, многоконтурного, аппаратов, блока

1. Способ определения герметичности многоконтурного блока тепломассообменных аппаратов путем помещения последних в вакуумный объем, наддува контуров индикаторным газом и замера его утечек в вакуум, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, контуры блока в вакуумный объем помещают одновременно, а наддувают их поочередно, при этом после замера утечек из наддуваемого контура сначала сбрасывают индикаторный газ в атмосферу, а затем этот контур подсоединяют к индивидуальной вакуумной линии для дальнейшего снижения давления.2. Установка для определения герметичности многоконтурного блока тепломассообменных аппаратов, содержащая вакуумную систему со средствами...

Способ определения герметичности многосекционных теплообменных аппаратов

Загрузка...

Номер патента: 1282674

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Сарафасланян, Кулаков, Малышев, Желтов

МПК: F28F 27/00, G01M 3/32

Метки: герметичности, аппаратов, многосекционных, теплообменных

Способ определения герметичности многосекционных теплообменных аппаратов путем первоначального наддува смежных секций индикаторным газом с различным, соответственно большим и меньшим давлением с заданным перепадом, последующей выдержки и замера утечек, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений и определения перетоков между секциями, после выдержки и замера утечек в секциях с большим давлением уменьшают его значение сначала до первоначальной величины меньшего давления и проводят вторичную выдержку и вторичный замер, а затем давление снова уменьшают на величину заданного перепада с проведением очередной выдержки и очередного замера, при этом время всех выдержек выбирают...

Способ получения адамантан-1-ола

Загрузка...

Номер патента: 1527847

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Жилкина, Юдашкин, Кумеров, Климочкин, Моисеев, Ошис

МПК: C07C 35/22, C07C 29/12

Метки: адамантан-1-ола

Способ получения адамантан-1-ола взаимодействием адамантана с концентрированной азотной кислотой с последующим гидролизом при кипячении, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода и качества целевого продукта, обеспечения взрывоопасности и упрощения процесса, адамантан суспендируют в ледяной уксусной кислоте, добавляют 96-100%-ную азотную кислоту при 20-40°С в массовом соотношении 1:(1,4-2,5):(4-7) соответственно, добавляют 1-5%-ный раствор мочевины в 10-30%-ной водной уксусной кислоте при объемном соотношении реакционной смеси и раствора мочевины 1:(1-2) и полученную массу кипятят 0,5-1 ч.

Опорный узел турбохолодильника

Загрузка...

Номер патента: 1289167

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Данильченко, Баранов, Требухин, Москаленко, Брагин

МПК: F16C 17/00, F25B 11/00

Метки: опорный, узел, турбохолодильника

1. Опорный узел турбохолодильника, содержащий вал, установленный в подшипниках скольжения, снабженный втулками, опирающимися на цапфы и образующими с валом кольцевые камеры, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационной надежности путем увеличения демпфирующей способности и диссипации энергии колебаний при перетоках смазки, вал выполнен с продольными выступами, разделяющими каждую кольцевую камеру на сегменты, сообщающиеся через зазоры между гребнями выступов и внутренней поверхностью соответствующей втулки. 2. Узел по п.1, отличающийся тем, что кольцевая камера заполнена материалом из упругого пористого металла.3. Узел по п.1, отличающийся тем, что кольцевая...

Опорный узел турбохолодильника

Загрузка...

Номер патента: 1289168

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Горбатенко, Баранов, Редикульцев, Требухин, Данильченко

МПК: F25B 11/00, F16C 17/00

Метки: опорный, узел, турбохолодильника

Опорный узел турбохолодильника, содержащий корпус, размещенный в нем вал, на цапфах которого укреплены тонкостенные втулки, образующие с валом кольцевые камеры и опирающиеся на лепестковые газовые подшипники, имеющие зоны низкого и высокого давления, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационной надежности путем увеличения демпфирующей способности и создания внутреннего демпфера на цапфах вала, в каждой тонкостенной втулке за пределами опорной поверхности соответствующего подшипника выполнены по крайней мере два ряда радиальных отверстий, суммарная площадь которых в зоне высокого давления равна 1,1-4,5 суммарной площади отверстий в зоне низкого давления подшипников.

Установка для охлаждения объекта

Загрузка...

Номер патента: 1289169

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Зараев, Просвирнин, Рудько, Пронин, Ловцова

МПК: F25B 11/00

Метки: объекта, охлаждения

Установка для охлаждения объекта, содержащая магистраль охлажденного воздуха, в которой установлены турбина, обратный клапан и устройство контроля параметров воздуха, и линию горячего воздуха с запорным органом, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности путем предотвращения обледенения воздушной магистрали, линия горячего воздуха подключена к магистрали охлажденного воздуха за турбиной, причем устройство контроля параметров воздуха выполнено в виде пневматического сигнализатора обледенения с двумя датчиками давления, установленными в магистрали до и после обратного клапана, и электрически соединено с запорным органом посредством реле задержки времени.

Герметичное устройство громкоговорящей связи

Загрузка...

Номер патента: 1840201

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Теняев, Калинин, Катанович, Сухарев

МПК: H04R 1/44

Метки: герметичное, связи, громкоговорящей

1. Герметичное устройство громкоговорящей связи, содержащее защитный кожух, электроакустический преобразователь, размещенный в защитном кожухе, переключатель режимов прием-передача и кабель, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы в условиях воздействия высокого гидростатического давления, в него введен индукционный разъем, первая обмотка которого электрически связана с электроакустическим преобразователем, а вторая - с кабелем, защитный кожух выполнен в виде механически связанных между собой фиксаторами съемного негерметичного блока и стационарного герметичного блока, а переключатель режимов прием-передача выполнен в виде магнитоуправляемого герконового реле и постоянного управляющего магнита, механически связанного...

Электролит для анодного окисления полупроводников типа а iiiвv

Загрузка...

Номер патента: 1840202

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Емельянов, Алехин, Лаврищев

МПК: H01L 21/306

Метки: электролит, полупроводников, окисления, типа, iiiвv, анодного

1. Электролит для анодного окисления полупроводников типа АIIIВV, содержащий органический растворитель, кислородосодержащую и электропроводную составляющую, отличающийся тем, что, с целью улучшения параметров границы раздела полупроводник - анодный окисел, электролит дополнительно содержит четыреххлористый углерод в количестве 5-15 вес.%.2. Электролит по п.1, содержащий органический растворитель, пирофосфорную кислоту, отличающийся тем, что электролит дополнительно содержит четыреххлористый углерод при следующем соотношении компонентов, вес.%:Пирофосфорная кислота 0,3-3,0Четырехлористый углерод 5-15Растворитель остальное

Способ анодного окисления полупроводниковых пластин в галогенсодержащих электролитах

Загрузка...

Номер патента: 1840203

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Алехин, Лаврищев, Емельянов

МПК: H01L 21/316

Метки: электролитах, пластин, анодного, галогенсодержащих, окисления, полупроводниковых

1. Способ анодного окисления полупроводниковых пластин в галогенсодержащих электролитах путем подачи положительного напряжениян на окисляемую пластину, отли-чающийся тем, что, с целью повышения качества окисления, перед подачей положительного напряжения на пластину в непосредственной близости от нее генерируют галоген-радикалы путем подачи отрицательного напряжения 3-10 В на пластину или на дополнительно вводимый электрод.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что отрицательное напряжение, поданное на пластину, выдерживают в течение 5-60 с, после чего полярность меняют.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что отрицательное напряжение на дополнительно вводимый электрод подают в...

Способ получения диэлектрических пленок для мдп-структур на основе полупроводниковых соединений aiiibv

Загрузка...

Номер патента: 1840204

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Алехин, Емельянов

МПК: H01L 21/316

Метки: основе, полупроводниковых, мдп-структур, пленок, соединений, диэлектрических, aiiibv

1. Способ получения диэлектрических пленок для МДП-структур на основе полупроводниковых соединений AIIIBV путем анодного окисления полупроводниковой пластины, погруженной в электролит, отличающийся тем, что, с целью получения диэлектрических пленок с заданным по величине и знаку встроенным зарядом, полупроводниковую пластину погружают последовательно в два электролита, первый из которых характеризуется величиной вводимого в пленку заряда на 0,5-10 В меньше заданной, второй - на 0,5-10 В больше заданной. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для МДП структур на основе JnSb в качестве первого электролита используют электролит состава, вес.%:Аммоний...

Способ анодного окисления полупроводников типа аiii вv

Загрузка...

Номер патента: 1840206

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Алехин, Емельянов

МПК: H01L 21/316

Метки: окисления, типа, aiii, анодного, полупроводников

1. Способ анодного окисления полупроводников типа АIII ВV путем электрохимической полировки полупроводниковых пластин с последующим анодированием, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических параметров границы раздела полупроводник-анодный окисел, полировку и анодирование проводят в электролите одного качественного состава, не вынимая пластин из электролита,2. Способ анодного окисления по п.1, отличающийся тем, что полировку пластин антимонида индия проводят в 10N растворе КОН при токе 0,75-3,0 мА/см2 в течение 10-30 минут, затем разбавляют раствор водой до концентрации 0,1N и анодирование проводят при том же токе.3. Способ...