Устройство для дозированной подачи паров

Номер патента: 209416

Авторы: Тарасов, Иноземцев, Мартынов, Кузьмин, Килин

Скачать ZIP архив.

Текст

94 6 Союз СоветскизСОциалистически Реслублик ависимое от авт, свидетельства12 д, 17/ 966 ( 1075077/22 влен исоединением заявкиВ 0 риоритетпубликовано 26,1,1968, Бюллетень 5 Комитет оо дел зобретений и открытий 669.094,28.5(088,8) 8.0 ри Совете МинноСССР Дата опубликования описания 25.111.19 Авторыизобретениаявитель УСТРОЙСТ ОЗИРОВАННОЙ ПОДАЧИ ПАРО подачи паровв аппарат ровой фазы, еру с отверенную нагрееся тем, что,дозирования, тверстие для ого профиляатчиком давИзвестны устройства для дозированной подачи паров исходных соединений металлов в аппараты для осаждения металлов из паровой фазы, состоящие из испарительной камеры с отверстием для выхода паров, снабженной нагревателем, и устройства для регулирования расхода паров.Особенностью предложенного устройства является то, что оно выполнено с соплом нормального профиля, встроенным в отверстие для выхода паров, и с датчиком давления, введенным в полость камеры. Это позволяет повысить точность дозирования подаваемых паров соединений,На чертеже схематически изображено устройство для дозированной подачи паров.Устройство состоит из герметичной иопарительной камеры 1 с отверстием 2 для выхода паров испаряемого соединения и нагревателя 3, Отверстие 2 камеры перекрыто игольчатым вентилем 4 и снабжено соплом 5 нормального профиля, В полость испарительной камеры введен датчик 6 давления, Полость воронки и трубки, находящихся в камере, заполнена сплавом Вуда.Устройство работает следующим образом, Исходное твердое соединение металла загружают в камеру до заполнения ее на две трети, после чего камеру герметизируют и присоединяют к рабочей камере аппарата для осаждения металлов. Затем включают нагреватель испарительной камеры и создают в камере давление, превышающее давление рабочей камеры не менее чем в два раза. Пары в камеру подают при полностью открытом вентиле.При поддержании в испарительной камередавления, превышающего давление в рабочей камере не менее чем в два раза, скорость 0 истечения пара через сопло равна скоростизвука в данной ореде и расход подаваемых паров зависит только от давления в испарителе и температуры пара и не зависит от давления в рабочей камере. Давление в испари тельной камере измеряют датчиком, в зависимости от показаний которого регулируют подаваемую на нагреватель мощность. Предмет изобрете 20 Устройство для дозированной соединений металлов, например для осаждения металлов из па включающее иопарительную кам стием для выхода паров, снабж 25 вателем, и дозатор, отличающе с целью повышения точности оно выполнено со встроенным в о выхода паров соплом нормальн и введенным в полость камеры д 30 ленпя.Составитель Т. Г. ФирсоваТекред Л, Я, Бриккер Корректоры: В. В. Крылован С. П. Усова Редактор И. С. Грузова Типография, пр. Сапунова, д. 2 Заказ 500/10 Тираж 530 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д. 4

Смотреть

Заявка

1075077

Н. Н. Иноземцев, В. С. Килин, А. Г. Кузьмин, С. Мартынов, Ю. С. Тарасов

МПК / Метки

МПК: B01J 4/00

Метки: дозированной, подачи, паров

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="http://patents.su/2-209416-ustrojjstvo-dlya-dozirovannojj-podachi-parov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для дозированной подачи паров</a>

Похожие патенты