Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме

Номер патента: 1531522

Авторы: Ивашнёва, Мрочек, Мочайло, Левченко, Иванов, Эйзнер

Скачать ZIP архив.

Описание

Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме, включающий напуск в технологический объем реакционного газа, генерирование плазменного потока наносимого материала катодным пятном вакуумной дуги, приложение ускоряющего потенциала к подложке и конденсацию потока на подложке, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытий за счет образования дисилицидов металлов и снижения капель, генерирование плазменного потока осуществляют из материала катода, содержание кремния, мас.%, в котором определяется выражением

где - процентное содержание (по массе) кремния в дисилициде тугоплавкого металла, а конденсацию потока осуществляют при давлении реакционного газа (6-8)·10-2 Па и ускоряющем потенциале, не превышающем 100 В.

Заявка

4403789/21, 01.02.1988

Физико-технический институт АН БССР

Мрочек Ж. А, Эйзнер Б. А, Иванов И. А, Ивашнёва В. И, Мочайло Е. В, Левченко Т. С

МПК / Метки

МПК: C23C 14/00

Метки: тугоплавких, нанесения, вакууме, покрытий, силицидов, металлов

Опубликовано: 27.12.2013

Код ссылки

<a href="http://patents.su/1-1531522-sposob-naneseniya-pokrytijj-iz-silicidov-tugoplavkikh-metallov-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме</a>

Похожие патенты