Способ изготовления тиристоров

Скачать ZIP файл.

Описание

1. Способ изготовления тиристоров, включающий диффузию акцепторных примесей в шлифованную поверхность кремния, высокотемпературное окисление, фотолитографию, диффузию фосфора, повторное высокотемпературное окисление и обработку структуры для получения заданного времени жизни неосновных носителей заряда в n-базе, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных приборов и упрощения технологического процесса, обе операции высокотемпературного окисления проводят в хлорсодержащей среде, упомянутую обработку структуры осуществляют при проведении повторного высокотемпературного окисления путем изменения концентрации хлорсодержащей компоненты, определяемой по градуировочной кривой зависимости времени жизни неосновных носителей заряда в n-базе от концентрации хлорсодержащей компоненты в окислительной среде.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве хлорсодержащей среды используют смесь кислорода и четыреххлористого углерода с молярной концентрацией 0,2-3,0%.

Заявка

3447541/25, 10.06.1982

Ордена Ленина физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе

Боронин К. Д, Елисеев В. В, Крюкова Н. Н, Панкратов В. С, Соболев Н. А, Челноков В. Е, Шек Е. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/332

Метки: тиристоров

Опубликовано: 10.06.2007

Код ссылки

<a href="http://patents.su/1-1082229-sposob-izgotovleniya-tiristorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления тиристоров</a>

Похожие патенты