Способ определения толщин многослойных покрытий

Номер патента: 102941

Авторы: Борзов, Ильина

Скачать ZIP архив.

Текст

ВПЕЗВЭБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТБЛЩИН МЪЭГОСЕВР-ЬЯС ПОНРЫТИЕПредлагаемый способ спектрального определеигги тотнцнны слоев многослоигилх покрытий на изделггях имеет целого новысить точность и объентгтвность определения толпигны покрытий по сравнению с ранее извссгньтми спектральными снособани.нособ основан на использовании зависимости тносителънойй пнтеггсптзноетн пары спектральных линий (по которых одиа является линией элемента покрытия,а другая в зависимости от расположения слояверхний, средний или глицинии-т линией элемента основы или верхнего подставного электрода) от толгцпггы слоя. Определение толщины каждого слоя производится при помощи постоянных градуировочмях ирнвьгк, которые строятся заранее по специально изготовленным дли этого эталоном (по 34 эталона для наиддого слоя, путем измерения времени,прогсиагощего от момента зазниганггя ра 2 ряда до того згомента, когда наступает равенство интенсивностей рассматриваемой пары линггй. При этом равенство интенсивностей может устанавливаться при иомонги мхшрофотоьтетра.Последовательное возбуждение спектра слоев покрытия производится дшпиЫм или исгоровьгтг разридом небольшой мощности(сила тона до 1,5 а). Порча поверхности образца при опредолеигги нс 31 аЧ:тгслтннадиаметр поражаемого участка соечаилъгет 23 мм.Определение толпгииы крогогцих слоев но иредггонаснноагу способу глоэчгио удобно сочет 2 ъгг с определением их химического состава. Пл: этого будет пригодна обычная аппаратура, применяемая для спонтралъного анализа.Предмет изобретения Способ определения толщин многослойных покрытий на изделиях посредством спентроскопа, о т л п ч а ю щ и й с я тем,что, с Целью понынхенггя точности и объективности определения толщины слоев игоьгтггя, производят последовательное возбуэндгенгге спектра гсроготгггтх слоев,сравниваюгг интенсивность спектральной линии элемента требуемого слоя с интенсивностью спенггргъльной ллтнитг основы или подслоя и по градуировочной кривойопределяют толишну слои покрытия.

Смотреть

Заявка

452028, 05.02.1953

Борзов В. П, Ильина Е. В

МПК / Метки

МПК: G01B 11/06, G01J 3/36

Метки: многослойных, покрытий, толщин

Опубликовано: 01.01.1956

Код ссылки

<a href="http://patents.su/1-102941-sposob-opredeleniya-tolshhin-mnogoslojjnykh-pokrytijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения толщин многослойных покрытий</a>

Похожие патенты