Способ определения степени амортизации кристаллических материалов

Номер патента: 597291

Авторы: Тихонов, Постников, Коршунов

Описание

1. Способ определения степени аморфизации кристаллических материалов, например полупроводниковых, происходящей при облучении их ускоренными ионами, по разности оптических величин, измеренных для облученного и необлученного образцов материала, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения, образцы перед облучением легируют акцепторной примесью с концентрацией носителей заряда от величины, достаточной для компенсации доноров, образующихся при облучении, до величины, определяемой предельной растворимостью акцепторной примеси, а в качестве оптических величин измеряют на длине волны, соответствующей краю полосы собственного поглощения измеряемого образца, арктангенс отношения амплитуд комплексных коэффициентов отражения Френеля для компонент электрического вектора световой волны, параллельных и перпендикулярных плоскости падения света.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что образцы кремния легируют до концентрации носителей заряда от 1012 до 1021 см-3.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что образцы германия легируют до концентрации носителей заряда от 1011 до 1021 см-3.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что образцы антимонида индия легируют до концентрации носителей заряда от 1012 до 6 1021 см-3.

Заявка

2349259/25, 21.04.1976

Коршунов А. Б, Постников И. В, Тихонов В. Г

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: амортизации, степени, кристаллических

Опубликовано: 20.09.2001

Код ссылки

<a href="http://patents.su/0-597291-sposob-opredeleniya-stepeni-amortizacii-kristallicheskikh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения степени амортизации кристаллических материалов</a>

Похожие патенты