Способ измерения деформации кристаллической структуры поверхностных слоев

Номер патента: 1533496

Авторы: Ерохин, Никулин, Аристов, Снигирев

Описание

Способ измерения деформации кристаллической структуры поверхностных слоев в контролируемом образце, включающий измерение угловой зависимости дифрагированной волны многокристальным рентгеновским дифрактометром и определение деформации по этой зависимости, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, изготавливают тестовый образец из того же материала и по технологии, полностью соответствующей контролируемому образцу, деформирующим воздействием на поверхности исследуемого образца формируют периодическую структуру из чередующихся с постоянным периодом из интервала значений от 0,1 мкм до 2 длин экстинкции рентгеновского излучения областей с нарушенной и ненарушенной структурой, определяют деформацию в тестовом образце по интенсивности сателлитных пиков, возникающих при дифракции рентгеновского излучения на периодических нарушениях поверхности, и по ней судят о деформации контролируемого образца.

Заявка

4336309/25, 03.12.1987

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Аристов В. В, Ерохин Ю. Н, Снигирев А. А, Никулин А. Ю

МПК / Метки

МПК: G01N 23/20

Метки: деформации, кристаллической, структуры, поверхностных, слоев

Опубликовано: 20.02.2000

Код ссылки

<a href="http://patents.su/0-1533496-sposob-izmereniya-deformacii-kristallicheskojj-struktury-poverkhnostnykh-sloev.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения деформации кристаллической структуры поверхностных слоев</a>

Похожие патенты