Способ нанесения тонких пленок плазменным напылением

Номер патента: 1412367

Авторы: Щеголев, Калинкин, Елисеев, Гусев

Описание

Способ получения тонких пленок плазменным напылением по авт.св. N 1225273, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей процесса при изготовлении ГИС, перед нанесением токопроводящего слоя формируют диэлектрический слой путем подачи в плазменную струю смеси испаряемого порошка и кислорода при степени двухфазности потока (0,3 - 0,5), причем в качестве испаряемого порошка используют кермет.

Заявка

4060657/21, 07.01.1986

Гусев А. В, Елисеев А. В, Калинкин И. П, Щеголев И. Н

МПК / Метки

МПК: C23C 14/32

Метки: тонких, плазменным, напылением, нанесения, пленок

Опубликовано: 27.08.2000

Код ссылки

<a href="http://patents.su/0-1412367-sposob-naneseniya-tonkikh-plenok-plazmennym-napyleniem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ нанесения тонких пленок плазменным напылением</a>

Похожие патенты